技术总结
一种排气连接管，排气连接管的一端为密封连接端，另一端为液体回收端，密封连接端的内壁上设有密封结构，液体回收端的内壁上设有液体回收面和环形凸起部，环形凸起部设于液体回收面的轴向外侧，且向排气连接管的径向内侧凸出，环形凸起部的内侧边缘朝排气连接管的轴向内侧凸出，从而液体回收面与环形凸起部配合形成液体回收区，液体回收端设有与液体回收区相连通的排液孔。该排气连接管不易泄漏，且安装方便。
技术研发人员：姬丹丹;张豹
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2018.06.07
技术公布日：2019.02.05