一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽的制作方法

文档序号:18318052发布日期:2019-07-31 22:30阅读:608来源:国知局
一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽的制作方法

本实用新型属于单晶硅生产领域,具体涉及一种连接于单晶炉石墨加热器的电极螺帽。



背景技术:

本实用新型应用于单晶硅生产领域,具体说是一种直拉单晶炉加热用的不锈钢电极螺帽。CG6000型单晶炉是国内使用较多的一种单晶炉,在不影响生产能力的情况下,单晶炉轻便小巧,使用及维修极为方便。但仍有一些缺陷之处,例如此型单晶炉的电极就是一个不足之处。CG6000型单晶炉的电极设计方法为,在炉底盘上加工四个孔如图1所示,将电极装上绝缘密封套后穿入安装孔内,然后在电极的上部穿出底盘的位置安装绝缘用的云母环(如图2所示)然后套上调节高度的不锈钢环,最后装上电极螺帽,拧紧即可。但是在单晶炉生产中,会出现电极打火现象,情况如下,不锈钢电极上部的螺纹与石墨加热器的连接件接触通电,长时间的生产会在电极的螺纹上附着一层挥发物,导致电极与石墨连接件的接触越来越不好,一旦到达一定的临界值,在通电时就会出现打火现象,使电极的螺纹出现熔化变形。这样以来,就必须更换掉电极,而电极的螺纹已经熔化变形,这样拆下电极的螺帽就成为困难的工作,现在的处理方式是,用电动切割机将电极上部熔化的螺纹部位切掉,这样既费时费力,有污染工作环境,产生大量的金属屑,飞溅到设备内部会造成故障隐患,同时还对操作者有安全隐患,更重要的是需要数小时的工作,影响了生产效率。



技术实现要素:

为解决上述问题,本实用新型提供了一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽,电极通过电极螺帽固定于单晶炉底盘上,避免产生电极因出现电极打火不易拆卸的情况。

为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为:

一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽,设置于单晶炉电极的螺纹上,其特征在于:电极螺帽包括螺帽壳和设置于螺帽壳上的连接螺栓,所述螺帽壳包括第一螺帽壳和第二螺帽壳,所述第一螺帽壳和所述第二螺帽壳为对称设置的两个梯形柱体,所述第一螺帽壳和所述第二螺帽壳还分别通过一侧侧面在对称面上相接触;第一螺帽壳和第二螺帽壳还分别沿中轴线方向设有安装槽,所述安装槽内还设有螺纹,安装槽的开口方向还朝向对称面;第一螺帽壳安装槽开口处的两侧分别设有内螺纹孔,第二螺帽壳安装槽开口处的两侧分别设有通孔,所述连接螺栓设置为两个,两个连接螺栓还分别通过螺纹端穿过所述通孔螺纹连接于所述内螺纹孔。

进一步的,所述第一螺帽壳和所述第二螺帽壳的顶面和底面为大小形同的梯形,所述顶面和底面还相互平行。

进一步的,所述安装槽为半圆柱型,第一螺帽壳的安装槽还与第二螺帽壳的安装槽合围成一圆柱型通道。

进一步的,两个安装槽中的螺纹尺寸相同,且第一螺帽壳安装槽内的螺纹与第二螺帽壳安装槽内的螺纹相互连通。

进一步的,所述第一螺帽壳和所述第二螺帽壳上还分别设有相互匹配的凸条和凹槽,所述凸条和凹槽均设置为两个,两个凸条分别设置于第一螺帽壳凹槽的两侧,两个凹槽分别设置于第二螺帽壳凹槽的两侧。

进一步的,所述连接螺栓为内六角螺栓。

进一步的,所述通孔为沉头孔。

本实用新型的有益效果为:电极螺帽包括第一螺帽壳、第二螺帽壳和连接螺栓,且第一螺帽壳和第二螺帽壳经由连接螺栓于两个螺帽壳的对称面连接,第一螺帽壳和第二螺帽壳的两个安装槽也随螺帽壳在对称面处合围,电极螺帽通过合围的两个安装槽套设于电极的外螺纹上,起到对单晶炉电极的固定作用,当单晶炉电极由于通电时出现的打火现象造成电极外螺纹熔化变形时,可以首先将电极螺帽的连接螺栓拆除,然后再分别将第一螺帽壳和第二螺帽壳从电极的外螺纹上拆卸下来,便于电极的拆卸及更换,提高生产效率。

附图说明

图1为单晶炉底盘的结构示意图;

图2为单晶炉底盘与电极的配合图;

图3为本实用新型的结构示意图;

图4为第二螺帽壳的结构示意图;

图5为第一螺帽壳的结构示意图。

其中,图中各标号为:1、安装孔;2、云母环;3、不锈钢环;4、原螺帽;5、单晶炉底盘;6、电极;7、电极螺纹;8、第一螺帽壳;9、第二螺帽壳;10、安装槽;11、螺纹;12、内螺纹孔;13、通孔;14、连接螺栓;15、凸条;16、凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本实用新型将原来的一体电极螺帽,设计加工成由两个单独的螺帽壳组成的六边形的螺帽,该电极螺帽还用内六方的连接螺栓14固定成一个整体,当出现电极6打火不易拆卸是,可将连接螺栓14拆成两瓣,则可轻松的将电极6从单晶炉底盘5上拆下更换。

图3为本实用新型的结构示意图,一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽,设置于单晶炉电极6的螺纹11上,包括螺帽壳和设置于螺帽壳上的连接螺栓14,所述螺帽壳包括第一螺帽壳8和第二螺帽壳9,所述第一螺帽壳8和所述第二螺帽壳9为对称设置的两个梯形柱体,所述第一螺帽壳8和所述第二螺帽壳9还分别通过一侧侧面在对称面上相接触;第一螺帽壳8和第二螺帽壳9还分别沿中轴线方向设有安装槽10,所述安装槽10内还设有螺纹11,安装槽10的开口方向还朝向对称面;第一螺帽壳8安装槽10开口处的两侧分别设有内螺纹孔12,第二螺帽壳9安装槽10开口处的两侧分别设有通孔13,所述连接螺栓14设置为两个,两个连接螺栓14还分别通过螺纹11端穿过所述通孔13螺纹11连接于所述内螺纹孔12。

第一螺帽壳8和所述第二螺帽壳9的顶面和底面为大小形同的梯形柱体,所述顶面和底面还相互平行。梯形柱体的顶面和底面为相互平行的等腰梯形,其余侧面均为长方形,其中,等腰梯形的下底长度为上底长度的2倍,由这样的梯形柱体构成的第一螺帽壳8和第二螺帽壳9在对称面处合围后,又因安装槽10为半圆柱型,第一螺帽壳8的安装槽10还与第二螺帽壳9的安装槽10合围成一圆柱型通道内部为凹槽16构成的圆柱型孔,圆柱型孔内有螺纹11,可套设于电极6的外螺纹11上,起到对单晶炉电极6的固定作用,外部为两个螺帽壳组成的正六角柱体,便于电极6未烧坏时,实用扳手对电极螺帽的拆卸。

所述第一螺帽壳8和所述第二螺帽壳9上还分别设有相互匹配的凸条15和凹槽16,所述凸条15和凹槽16均设置为两个,两个凸条15分别设置于第一螺帽壳8凹槽16的两侧,两个凹槽16分别设置于第二螺帽壳9凹槽16的两侧,两个螺帽壳上的凹槽16和凸条15分别配合,保证两个螺帽壳的契合度,便于连接螺栓14的安装和拆卸,同时,连接螺栓14为内六角螺栓,连接螺栓14安装处的安装通孔为沉头孔,连接螺栓14通过沉头孔隐藏于螺帽壳内也是便于电极螺帽的正常拆卸。

对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型,且本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

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