1.一种滚动轴承,包括:
内环;
外环;以及
多个滚动元件,所述多个滚动元件介入在所述内环与所述外环之间,
其中所述内环和所述外环由不锈钢制成;并且
其中在所述内环和所述外环中的每一个中设置滚道表面,所述滚动元件与所述滚道表面滚动接触,并且所述滚道表面是超精整表面,并且在所述超精整表面上形成由固体润滑膜制成的涂层。
2.根据权利要求1所述的滚动轴承,
其中在所述内环和所述外环中,接触表面是喷丸表面,所述接触表面是除了所述滚道表面之外的表面,并且所述接触表面与另一构件接触,并且在所述喷丸表面上通过固体润滑膜形成涂层。
3.根据权利要求1或2所述的滚动轴承,
其中所述涂层包括二硫化钼膜或二硫化钨膜。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的滚动轴承,
其中所述超精整表面的表面粗糙度ra是0.1以上且0.8以下。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的滚动轴承,
其中所述滚动轴承是用于涡轮分子泵的触地轴承。
6.一种用于制造滚动轴承的方法,所述滚动轴承包括内环、外环以及介入在所述内环与所述外环之间的多个滚动元件,所述方法包括:
加工步骤,从环形不锈钢材料通过车削获得将作为所述内环或所述外环的中间产品,并加工所述中间产品;以及
组装步骤,将在完成所述加工步骤之后制造的所述内环及所述外环与所述滚动元件一起组装,
其中所述加工步骤包括:
对所述中间产品的表面执行抛光加工的步骤;
对在完成所述抛光加工之后所述中间产品中提供的且将作为滚道表面的表面执行超精整加工的步骤,所述滚动元件与所述滚道表面滚动接触;以及
在所述超精整表面上用固体润滑膜形成涂层的步骤。