技术特征：
1.一种流体平衡器(18)，通过压缩流体减轻设置成能够沿着在重力方向以及与重力方向相反的方向上延伸的引导轴(14)移动的滑块(16)的重量，其特征在于，该流体平衡器(18)具备：轴(30)，其沿着所述引导轴设置；缸(34)，其供所述轴插入；基座部件(32)，其具有所述轴插通的贯通孔(32o)且固定所述缸；间隔件(50)，其设置于所述轴与所述基座部件之间，在与所述轴相对的表面上，在所述轴的周向上隔开间隔地形成有多个沿着所述轴的轴向延伸的槽(52)；以及弹性支承部(60)，其具有弹性，并且相对于所述基座部件支承所述间隔件，所述轴或所述缸与所述滑块连结。2.根据权利要求1所述的流体平衡器，其特征在于，所述弹性支承部具备：第一密封部件(62)，其设置于与所述间隔件的所述重力方向相反的方向上的与所述间隔件之间的间隙；以及第二密封部件(64)，其设置于所述间隔件的所述重力方向上的与所述间隔件之间的间隙。3.根据权利要求1或2所述的流体平衡器，其特征在于，所述弹性支承部具有弹性部件(66)，该弹性部件设置于沿着与所述轴交叉的方向的所述间隔件与所述基座部件之间的间隙。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体平衡器，其特征在于，所述轴固定在基台(12)上，所述缸与所述滑块连结。5.根据权利要求4所述的流体平衡器，其特征在于，所述缸经由所述基座部件与所述滑块连结。6.根据权利要求1至3中任一项所述的流体平衡器，其特征在于，所述缸固定于基台，所述轴与所述滑块连结。7.一种机床(10)，其特征在于，该机床(10)具备：权利要求1至6中任一项所述的流体平衡器；所述引导轴；所述滑块；以及用于使所述滑块沿所述引导轴移动的电动机(20)。8.根据权利要求7所述的机床，其特征在于，所述电动机是线性电动机。
技术总结
本发明提供一种能够使滑块顺畅地移动的流体平衡器以及机床。流体平衡器(18)具备：轴(30)；缸(34)；基座部件(32)，其具有轴(30)插通的贯通孔(32O)；间隔件(50)，其设置在轴(30)与基座部件(32)之间，在与轴(30)对置的表面，在轴(30)的周向上隔开间隔地形成有多个沿着轴(30)的轴向延伸的槽(52)；以及弹性支承部(60)，其相对于基座部件(32)支承间隔件(50)。其相对于基座部件(32)支承间隔件(50)。其相对于基座部件(32)支承间隔件(50)。
技术研发人员：川濑裕也 见波弘志
受保护的技术使用者：发那科株式会社
技术研发日：2021.06.10
技术公布日：2023/3/3