用于高传导性阀的控制板的制作方法

文档序号:36966040发布日期:2024-02-07 13:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于高传导性阀的控制板,包括:

2.如权利要求1所述的控制板,其中,所述控制板本体由金属材料制成。

3.如权利要求2所述的控制板,其中,所述至少一个柱状体由聚合物材料制成。

4.如权利要求1所述的控制板,其中,所述至少一个柱状体由聚合物材料制成。

5.如权利要求1所述的控制板,进一步包括插入件盘,所述插入件盘与所述至少一个柱状体相互连接,所述插入件盘和所述至少一个柱状体一起形成阀座插入件。

6.如权利要求5所述的控制板,其中,所述插入件盘和所述至少一个柱状体由聚合物形成。

7.如权利要求6所述的控制板,其中,所述至少一个开口包括限定在所述控制板本体中并从所述第一侧延伸穿过所述控制板本体至所述第二侧的多个开口,其中所述至少一个柱状体包括多个柱状体,每一个相应的柱状体被接纳在所述多个开口的相应的开口中并通过所述插入件盘相互连接。

8.如权利要求7所述的控制板,其中,形成在相应的柱状体中的每个流体通道延伸穿过所述相应的柱状体并穿过所述插入件盘中相应的孔,以限定多个流体通道,用于流体从所述第一侧通过到所述第二侧。

9.如权利要求8所述的控制板,其中,所述插入件盘填满在所述控制板主体中形成的圆形凹槽,所述插入件盘包括设置在所述多个流体通道径向内侧的第一连续不间断平坦部分和设置在所述多个流体通道径向外侧的第二连续不间断平坦部分。

10.如权利要求5所述的控制板,其中,所述至少一个开口包括多个开口并且所述至少一个柱状体包括多个柱状体,其中在相应的柱状体中形成的每个流体通道延伸穿过所述相应的柱状体并穿过所述插入件盘中的相应的孔,以限定多个流体通道用于流体从所述第一侧穿过到所述第二侧。

11.如权利要求10所述的控制板,其中,所述多个流体通道围绕所述控制板本体的径向外部部分设置并且大致笔直地延伸穿过所述相应的柱状体。

12.如权利要求1所述的控制板,进一步包括

13.如权利要求12所述的控制板,其中,所述至少一个插入件孔包括在所述中央插入件中限定的多个插入件孔。

14.如权利要求12所述的控制板,其中,所述中央插入件包括用于将流体从每个插入件孔引导至所述控制板通孔的凹入的底部浮雕结构。

15.一种阀组件,包括:

16.如权利要求15所述的阀组件,所述控制板进一步包括插入件盘,所述插入件盘与所述至少一个柱状体相互连接,所述插入件盘和所述至少一个柱状体一起形成阀座插入件。

17.如权利要求16所述的阀组件,其中所述至少一个柱状体包括通过所述插入件盘相互连接的多个柱状体。

18.如权利要求17所述的阀组件,其中,每个柱状体从所述插入件盘延伸,并且其中每个流体通道延伸穿过相应的柱状体和所述插入件盘。

19.如权利要求18所述的阀组件,其中,所述控制板本体由金属材料制成,并且所述至少一个柱状体和所述插入件盘由聚合物材料制成。

20.如权利要求15所述的阀组件,其中,所述至少一对相邻的孔口凸脊段包括两个相邻的孔口凸脊段,所述孔口凸脊段是大致圆形的,并且进一步限定了设置在所述两个相邻的孔口凸脊段外侧的外部阀室部分和设置在所述两个相邻的孔口凸脊段内侧的内部阀室部分。


技术总结
一种高纯度流体控制阀包括可移动的控制板,该控制板具有流通通道以增强内部阀体积的流体扫掠。该阀为喷射式和阀座式的,其使用嵌套设置的孔口凸脊,以在较小的致动器移动的情况下实现高传导。通过选择性地将比构成孔口凸脊的材料更软的材料引入到控制板中,可以额外地提高阀阻断状态下的密封性。控制板特别适用于高传导、快速动作和比例控制的应用,比如半导体制造中的气体输送。

技术研发人员:乌金玉
受保护的技术使用者:伊利诺斯工具制品有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/6
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