专利名称：手动供气气体柜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气体拒，尤其涉及一种带手动供气功能的气体拒。#絲术
目前的气体柜在进行供气时，采用的是用电子盘进行自动控制气动阀打开，
24小时不间断的给机台提供气体。 一侧进行供应， 一侧进行备用。 一侧气瓶用空时，进行自动切换。在自动切换的过程中，为了保证工作人员有个安全环境，以免危险气体散出，气体拒由连续运转的排风系统将危险气体送至安全处理系统。对于用量比较大的气体例如q《或者A^，如果仅仅停止1-2分钟的供应，就会造成机台的断气，造成机台的芯片的报废，影响生产造成经济损失。例如当气柜的电子盘面发生故障，或者电源发生故障而掉电时，在这种状态下，电子盘面将控制气动阀处于关闭装态，停止供气，相应的工厂的生产也将随着而停止。由于目前的气体是通过电子盘面控制3个气动阀门同时打开而进行正常的供气的，如图1中的三个气动阀门21,三个气动阀门21相互之间为串联的关系，由气体输送管线22连接，因此要使得气体拒处于供气状态，三个气动阀门21必须都处于打开状态，而要使得气动阀门处于打开状态，则与气动阀门21通过气动管线相连的电子盘(图中未示)控制气体进入气动管线，通过压力至少是80psi (磅/平方英寸)的气体沖击气动阀门21,使得气动阀门21打开。假设此时的气动阀门21的和电子盘相连的气动管线内，充有80psi的氮气使气动阀门21打开，处于供气状态，如果气体盘面出现问题，电子盘面控制的80psi的氮气停止供应，气动阀门21将关闭，供气也将停止。为了恢复供气，在这种情况下，我们一般采取普通的强制供气设备进行供气，将三个气动阀门21的气动管线(图中未示)拔下，插到强制供气设备上，充80psi的氮气进行强制供气，使三个气动阀门21打开，这样的一个过程要花费较长的时间，正如上面提到的，长时间停止供气,就会造成机台的断气，尤其是用量比较大的气体例如q《或者iV《，甚至有可能造成机台芯片的报废，影响生产的正常进行，同时也给工
厂带来巨大的经济损失，因此，必须缩短气动阀门恢复供气的时间。
实用新型内容
为了解决现有技术中，气动阀门恢复供气时间过长从而容易引起生产事故的问题，本实用新型提出一种能使得气动阀门快速恢复供气的可以手动供气的气体拒。
为了实现上述目的，本实用新型提供一种手动供气气体拒，包括至少三个气动阀门，所述气动阀门之间由气体输送管线连接，所述气动阀门皆通过气动管线和一手动阀门相连，所述手动阀门通过气动管线和供气设备相连。
可选的，所述气动阀门之间的连接关系为串联。
可选的，所述气动阀门至少加压力为80psi气体的情况下开启。可选的，所述供气设备供应的气体为压力等于或大于80psi的气体。可选的，所述气体为氮气。
可选的，所述气动阀门和电子盘通过气动管线相连，且由所述电子盘控制所述气动阀门的开或关。
与传统气体拒相比，本实用新型提供的手动供气气体拒通过增设一连接供气设备的手动阀门，在出现故障而气动阀门关闭时，避免了将气动阀门的气动管线拔下，插到强制供气设备上充气的过程，大大减少了重开气动阀门的时间，迅速的给机台恢复供气，从而保护了机台的芯片的正常生产，避免给工厂带来不必要的经济损失。
图l是现有技术的示意图2是本实用新型手动供气气体拒的示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型的手动供气气体拒作进一步的详细i兌明。在现有的气体拒的设计中，当发生故障时，和气动阀门相连接的电子盘面会控制气动阀处于关闭状态，要恢复气动阀门的工作状态，就需要将气动阀门
的气动管线拔下，插到强制供气设备上，充80psi的氮气进行强制供气，使气动阀门打开，这样的过程则要花费较长的时间，而长时间的停止供应气体，就会造成机台的断气，造成机台的芯片的报废，影响生产造成经济损失，针对这样的问题，发明人才考虑到改进气体柜，本实用新型提供的一种手动供气气体拒，包括至少三个气动阀门32,所述气动阀门32之间由气体输送管线41连接，连接关系为串联，所述气动阀门32至少加压力为80psi气体的情况下才能开启，一般采用的气体为氮气，因为三个气动阀门32之间为串联，因此，只有在三个气动阀门32都开启的情况下，供气气体拒才开始工作，所述气动阀门32和电子盘(图中未示)相连，且由所述电子盘控制所述气动阀门32的开或关，当电子盘出现故障，或者电源发生故障而掉电时，电子盘会自动的关闭所述气动阀门32，以免意外的情况发生，而在气体拒正常供气时，电子盘控制的气动阀门32是一直开着的，所述气动阀门32皆通过气动管线31和一手动阀门33相连，所述手动阀门33通过气动管线31和供气设备34相连，所述供气设备34供应的气体为压力为等于或大于80psi的氮气，且不间断的供气，为的是能够在手动阀门33打开时，及时的为气动阀门32供气且打开气动阀门32，以保证整个气体拒正常的工作。
实际操作时，手动阀门33—般都是处于关闭状态，电子盘控制三个气动阀门32呈开启的状态，气体拒正常供气，当发生故障时，或者气拒的电子盘发生故障，或者电源发生故障而掉电，此时电子盘控制三个气动阀门32迅速关闭，使得整个控制气体拒停止供气，避免意外的情况发生，在情况了解清楚且采取了必要的措施的情况下，就要迅速的恢复供气，因为长时间停止供气，就会造成机台的断气，尤其是对于用量比较大的气体影响更大，甚至有可能造成机台芯片的报废，影响生产的正常进行，此时，为了能够迅速的打开三个气动阀门32恢复供气，将连接供气设备34的手动阀门33打开，此时供气设备34中的气体瞬时沖击三个气动阀门32,当供气设备34中的气体的压力大于或者等于80psi时，三个气动阀门32将会被强制打开，而整个气体拒瞬间也恢复了供气，一般情况下，供气设备34中选择的是等于或大于80psi的氮气。增设了一连接供气设备的手动阀门，在出现故障而气动阀门关闭时，避免了将气动阀门的气 动管线拔下，插到强制供气设备上充气的过程，大大减少了重开气动阀门的时 间，迅速的给机台恢复供气，从而保护了机台的芯片的正常生产，避免给工厂 带来不必要的经济损失。
虽然本实用新型已以4支佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。 本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范 围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求 书所界定者为准。
权利要求1.一种手动供气气体柜，包括至少三个气动阀门，所述气动阀门之间由气体输送管线连接，其特征在于所述气动阀门皆通过气动管线和一手动阀门相连，所述手动阀门通过气动管线和供气设备相连。
2. 根据权利要求1所述手动供气气体拒，其特征在于所述气动阀门之间的 连接关系为串联。
3. 根据权利要求1所述手动供气气体拒，其特征在于所述气动岡门至少加 压力为80psi气体的情况下开启。
4. 根据权利要求3所述手动供气气体拒，其特征在于所述供气设备供应的 气体为压力等于或大于80psi的气体。
5. 根据权利要求3或4所述手动供气气体拒，其特征在于所述气体为氮气。
6. 根据权利要求1所述手动供气气体拒，其特征在于每个所述气动阀门和 电子盘通过气动管线相连，且由所述电子盘控制所述气动阀门的开或关。
专利摘要本实用新型提出一种手动供气气体柜，包括至少三个气动阀门，所述气动阀门之间由气体输送管线连接，所述气动阀门皆通过气动管线和一手动阀门相连，所述手动阀门通过气动管线和供气设备相连，本实用新型提供的手动供气气体柜通过增设一连接供气设备的手动阀门，在出现故障而气动阀门关闭时，能快速的给气动阀门供气，避免整个机台发生断气。
文档编号F17D3/01GK201322188SQ20082015689
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月10日 优先权日2008年12月10日
发明者涛 王 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司