专利名称：发光二极管外延片电致发光无损检测方法
技术领域：
本发明涉及发光二极管(LED)外延片的检测方法，属检测仪器领域。
当前LED的主要工作是降低生产成本，提高效率和扩展有用颜色范围。从生产而言，由于LED的市场竞争十分激烈，其生产过程必须十分重视成品率和质量，所以在生产过程中LED半导体外延片的在线检测和质量控制十分重要。目前我国各企业缺乏必要的检测设备，尤其是生产过程中的高速、无损在线检测。
目前LED外延片的发光检测有光致荧光和电致发光两种方法。光致荧光检测方法是用一个短波长的激光照射LED外延片检测其发光效果。但是这是一种间接的检测方法，不能直接反映LED外延片的电致发光效果，同时由于短波长激光器价格昂贵，蓝绿LED外延片检测成本很高。电致发光检测是在LED外延片的p、n结上施加正向偏压，使其发光来检测发光效果，常用的方法是在外延片表面打孔，将一个电极接在p型层上。所以这种检测方法是破坏性的而且也不是连续的。
因此本发明的内容可表达如下在LED外延片的表面安置正、负两个电极。将一高压恒流源接在正、负两极，使LED外延片中p型层、n型层组成的二极管击穿导通从而使整个电路接通引发LED发光层发光，达到检测的目的。这种测量方法直接、无损、便捷，相对于光致荧光而言还可以得到正向导通电压、反向漏电流等对于LED外延片而言非常重要的电学参数。
图1为LED外延片结构及检测状态示意图。
权利要求
1.一种发光二极管外延片的检测方法，其特征是在发光二极管外延片的表面安置正负两个电极，将一个高压恒流源接在正负两极，使发光二极管外延片中的p型层、n型层组成的二极管被击穿导通，使整个电路导通，引发发光二极管外延片的发光层发光，从而达到检测的目的。
全文摘要
一种发光二极管外延片的检测方法，属检测仪器领域。本发明是在发光二极管外延片的表面安置正负两个电极，将一个高压恒流源接在正负两极，使发光二极管外延片中的p型层、n型层组成的反向二极管被击穿。使整个电路导通，引发发光二极管外延片的发光层发光，从而达到检测的目的。这种测量方法直接、无损、便捷，相对于光致荧光而言还可以得到正向导通电压、反向漏电流等对于LED外延片而言非常重要的电学参数。
文档编号G01R31/26GK1395305SQ0212364
公开日2003年2月5日 申请日期2002年7月5日 优先权日2002年7月5日
发明者韩立, 董占民, 苏哲, 陈皓明 申请人:清华大学