一种真空烘箱在线湿度测试装置制造方法

专利名称:一种真空烘箱在线湿度测试装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空烘箱在线湿度测试装置，现有真空烘箱没有在线湿度测试。本实用新型的真空烘箱在线湿度测试装置是在真空烘箱上增加一个测试仓阀门形成一个测试仓。通过测试仓阀门的开关，平衡真空烘箱和测试仓的气压，达到真空烘箱与测试仓的湿度平衡。在测试仓中进行湿度测试，以达到真空烘箱湿度在线测试的目的。
【专利说明】一种真空烘箱在线湿度测试装置

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空烘箱在线湿度测试装置。

【背景技术】
[0002]目前真空烘箱没有在线湿度测试，由于现有的测量湿度的湿度仪不能在真空状态下测试湿度，所以湿度仪无法内置在真空烘箱内部实现在线湿度测试。


【发明内容】

[0003]本实用新型要解决的技术问题和提出的技术任务是通过增加阀门和测试仓实现真空烘箱的在线湿度测试。
[0004]本实用新型的技术方案为:
[0005]一种真空烘箱在线湿度测试装置，包括6个部分，真空阀、氮气阀、真空烘箱、测试仓阀、测试仓、湿度仪。此6部分通过管道相连。
[0006]实用新型通过测试仓阀(d)的开关，平衡真空烘箱(C)和测试仓(e)的气压，达到真空烘箱(C)与测试仓(e)的湿度平衡。在测试仓(e)中进行湿度测试，以达到真空烘箱湿度在线测试的目的。

【附图说明】

[0007]图1是包含本实用新型的真空烘箱在线湿度测试装置的示意图。
[0008]图中标号说明:a_真空阀，b-氮气阀，C-真空烘箱，d-测试仓阀，e_测试仓，f_湿度测试仪。

【具体实施方式】
[0009]以下结合说明书附图对本实用新型做进一步说明。
[0010]本实用新型的真空烘箱在线湿度测试装置，包括6个部分，真空阀、氮气阀、真空烘箱、测试仓阀、测试仓、湿度仪。此6部分通过管道相连。通过测试仓阀的开关，平衡真空烘箱(C)和测试仓(e)的气压，达到真空烘箱(C)与测试仓(e)的湿度平衡。在测试仓(e)中进行湿度测试，以达到真空烘箱湿度在线测试的目的。
【权利要求】
1.一种真空烘箱在线湿度测试装置，其特征是包括6个通过管道相连的部分，真空阀(a)、氮气阀(b)、真空烘箱(C)、测试仓阀(d)、测试仓(e)、湿度测试仪(f)，通过测试仓阀(d)的开关，平衡真空烘箱(C)和测试仓(e)的气压，达到真空烘箱(C)和测试仓(e)的湿度平衡。2.如权利要求1所述的一种真空烘箱在线湿度测试装置，其特征在于真空烘箱(c)与测试仓(e )通过测试仓阀(d)平衡气压。
【文档编号】G01N33-00GK204269624SQ201420573967
【发明者】张庆, 张登峰, 徐鲲, 李树军, 黄怡兰, 陈守位 [申请人]东莞市振华新能源科技有限公司