专利名称：电路图案检查装置及电路图案检查方法
技术领域：
本发明涉及一种可检查形成在基板上、如用于液晶显示面板的玻璃基板上的导电图案的是否完好的电路图案检查装置和电路图案检查方法。
背景技术：
在制造在基板上形成导电图案的电路基板时，有对形成在基板上的导电图案进行是否有断线和短路的检查的必要。
以往，作为导电图案的检查方法，例如，如专利文献1所示，已知的是一种使针脚接触在导电图案的两端而从一端侧的针脚对导电图案供给电信号，而从另一端侧的针脚接受该电信号，以进行导电图案的导通测试等的接触式的检查方法(针脚接触方式)。电信号的供电是通过将金属探针立设在全端子上，并从此处对导电图案流动电流所进行的。
该针脚接触方式，因为直接使探针接触，因此具有S/N比高的优点。
但是，例如，在形成于液晶显示面板所使用的玻璃基板的电路配线图案等中，却有图案厚度薄、基板上的黏固力少，且在使针脚接触的过程中伤及图案的问题点。
而且，在行动电话用的液晶面板等中，配线间距也细密化，因此为制作狭小间距且多根数的探针有花费大量劳力和成本的必要。
另外，同时必须制作符合用于每一不同配线图案(依每一检查对象)时的新探针。因此，检查成本更为增高而对电子零件的低成本化产生大的障碍。
另外，液晶面板所使用的配线图案，如后述般，以相互的行状导电图案部变得互异的方式，来配设端部配设为行状且基部相互连接的两组梳齿状导电图案，再在其周围配设导电图案，而对电路而言均为短路状态。因此迄今为止尚无适合的检查装置。
(专利文献1)日本专利特开昭62-269075号公报然而，要求一种能完成电路图案对基板的黏固力弱的液晶显示面板所用的电路图案的检查要求强、但又不伤及图案的检查装置。
发明内容
本发明的目的在于，解决上述先前技术中的问题，提供一种可不伤及电路图案，而对电路图案的基板的黏固力弱的液晶显示面板所用的电路图案进行检查的电路图案检查装置和电路图案检查方法。作为实现上述目的的一个手段，例如，本发明的一个实施例具有如下的构成。
也就是说，其提供一种电路图案检查装置，用于检查将多个末端部被配设为行状且基端部相互连接的两组梳齿状导电图案以相互的末端部变得互异的方式配设而成的电路基板的导电性图案的状态，其特征为具备两个检测机构，具有检测电极用以检测来自上述梳齿状导电图案的信号；检查信号供给机构，在上述梳齿状导电图案的一端供给交流检查信号；低电压控制机构，将上述梳齿状导电图案的另一端控制为至少比上述检查信号供给机构所供给的交流检查信号电位低的低电压电位；和移动机构，以离开指定距离且与相互相同的上述末端部成为电容耦合状态的方式进行位置定位的状态，以横过上述末端部的方式使上述两个检测机构移动；且上述移动机构以横过供给上述检查信号的末端部的基部侧与低电压电位的末端部的前端侧的方式使上述一端的检测机构移动，同时以横过控制在上述低电压电位的末端部的基部侧与供给检查信号的末端部的前端侧的方式使另一端的检测机构移动，以来自上述各检测机构的检查信号为基础可辨识上述末端部是否完好。
而且，例如，其特征为上述低电压控制机构将上述梳齿状导电图案的另一端控制为接地电位。
另外，例如，其特征为上述图案的至少末端部为具有指定的电阻值的导电图案，上述移动机构将2个上述检测机构分别定位在上述末端部的各个前端与基部附近位置，以横过上述末端部的方式使上述两个检测机构移动。
另外，其提供一种图案检查方法，用于检查将多个末端部配设为行状且基端部相互连接的两组梳齿状导电图案以相互的末端部变得互异的方式配设，且包含具有检测电极用于检测来自上述梳齿状导电图案的信号的两个检测机构的电路基板的导电性图案的状态，其特征为在上述梳齿状导电性图案的一端供给交流检查信号，同时将上述梳齿状导电性图案的另一端控制在至少比上述梳齿状导电性图案的一端所供给的交流检查信号电位低的低电压电位，以横过供给上述检查信号的末端部的基部侧与控制在低电压电位的末端部的前端侧的方式使上述两个检测机构的一端的检测机构移动，同时以横过控制在上述低电压电位的末端部的基部侧与供给检查信号的末端部的前端侧的方式使上述两个检测机构的另一端的检测机构移动，并以来自上述各检测机构的检测信号为基础可辨识上述末端部是否完好。
而且，例如，该图案检查方法，其特征为上述图案的末端部为具有指定的电阻值的导电图案，上述检测机构的移动控制，将2个上述检测机构分别定位在上述末端部的各个前端与基部附近位置，并以横过上述末端部的方式使上述两个检测机构移动。
另外，例如，该图案检查方法，其特征为将上述梳齿状导电性图案的另一端控制为低电压电位。或是，该图案检查方法，其特征为上述梳齿状导电性图案的上述检测机构的检测结果，在来自上述一端的检测机构和上述另一端的检测机构的检测结果均横过供给有检查信号的末端部时为高电位，而在横过控制在低电压电位的上述末端部时为低电位的检测信号时，则辨识为正常图案。
另外，该图案检查方法，其特征为上述梳齿状导电图案的上述检测机构的检测结果，在来自上述一端的检测机构和上述另一端的检测机构的检测结果均横过控制在低电压电位的上述行状图案时为高电位的检测信号时，则辨识在检测信号供给侧的梳齿状图案的基部附近部位有短路；在来自上述一端的检测机构和上述另一端检测机构的检测结果均横过供给有检查信号的末端部时为低电位的检测信号时，则辨识在低电压电位侧的梳齿状图案的基部附近部位有短路。
另外，例如，该图案检查方法，其特征为在横过均控制在低电压电位的末端部时的上述一端的检测机构的检测结果电位比横过其它的检查信号供给侧末端部时的检测结果电位高，在上述另一端的检测机构的检测结果电位比横过控制在其它的低电压电位的末端部时的检测结果电位低的情况，则辨识在该低电压电位的末端部具有断线，在横过均供给检查信号的末端部时的上述一端的检测机构的检测结果电位比横过供给其它的检查信号的末端部时的检测结果电位高，在上述另一端的检测机构的检测结果电位比横过控制在其它的低电压电位的上述末端部时的检测结果电位低的情况，则辨识在该检查信号供给侧的行状图案具有断线。
图1是用于说明本发明实施例的图案检查原理的说明图；图2(A)和图2(B)是用于说明本实施例的图案是否完好的辨识原理的说明图；图3是用于说明本实施例的检查装置的检查控制的流程图。
(附图标记说明)10 玻璃制基板15a 梳齿状导电图案15b 梳齿状导电图案15c 屏蔽图案20 第一传感器25 感测电极30 第二传感器35 感测电极50 模拟信号处理电路51 放大器52 带通滤波器53 整流电路54 平滑电路60 控制部
61 计算机(CPU)62 ROM63 RAM64 A/D变换器65 信号供给部66 显示部70 机器人控制器80 标量机器人具体实施方式
以下，参照图式详细说明本发明的实施例。在以下的说明中，是以一种电路图案检查装置为例进行说明，该装置检查作为待检查的图案而形成液晶显示面板的点矩阵显示用面板的黏贴前的点矩阵图案是否完好。
但是，本发明并不限于以下所说明的例子，只要是至少在检查对象区域的两端附近形成为行状的检查对象图案，便无任何的限定。
(第一发明的实施例)图1是用于说明本发明实施例的图案检查原理的说明图。
图1中，附图标记10是本实施例的配设有待检查的导电性图案的基板，本实施例中，使用液晶显示面板用的玻璃制基板。
在玻璃制基板10的表面配设有形成由本实施例的电路图案检查装置所检查的点矩阵显示面板用的导电图案。
在检查对象基板，以相互的行状导电图案部(末端部)变得互异的方式配设如端部配设为行状且基端部相互连接的两组梳齿状导电图案15a、15b，而且，配设以包围图案周围的方式所配设的屏蔽图案15c。
在图1所示的用于液晶显示面板的导电图案例中，各梳齿状导电图案15a、15b的图案宽度大致相同，各梳齿状导电图案15a、15b的行状导电图案部(末端部)具有指定的电阻值。
本实施例中，梳齿状导电图案的各行状导电图案间隔成为大致相等的间隔。但是，即便各图案间隔不为等间隔也同样可进行检查。
附图标记20为第一传感器；30为第二传感器；在各传感器的至少前端部表面，各自配设有感测电极2535。感测电极25和35由金属、如铜(Cu)所形成。此外，也可覆盖用于被保护电极的绝缘材料。此外，例如，虽也可将半导体作为电极使用，但这是因为通过金属形成电极，可增大与导电图案间的静电电容的缘故。
附图标记50是处理来自第一传感器20、第二传感器30的感测电极25、35的检测信号并输出于控制部60的模拟信号处理电路；附图标记60是管理本实施例的检查装置全体控制的控制部；附图标记70是控制标量机器人80的机器人控制器；附图标记80是将液晶面板10定位在检查位置并予以保持，同时，根据机器人控制器70的控制，以第一传感器20、第二传感器30的各感测电极25、35顺序横过液晶面板10的检查对象的导电图案的各行状图案的端部附近的所有连接端子的方式进行扫描的标量机器人。
本实施例中，标量机器人80用于将检查对象基板(液晶面板)10定位在指定的检查位置，而构成为可三维定位。相同地，将第一传感器20、第二传感器30的感测电极25、35与检查对象基板10的表面保持指定的距离同时在检查对象图案上移动，而构成为可三维定位控制。
又，在实际的检查控制中，在移动感测电极25、35的情况，有必要控制为使相互的移动距离同步，至少将两电极大致同时搬运至相同的行状图案的上部，大致同时从相同行状图案离开。仅利用如此的控制，即便双端部的图案间隔如有差异，仍可只以标量机器人的两电极移动速度的控制进行对应。
第一传感器20和第二传感器30，是通过标量机器人80以横过检查对象配线图案的各行状图案的端部附近的方式移动，定位控制为维持与各配线图案的电容耦合状态并可检测各配线图案的信号的状态。前端部的感测电极25、35的宽度，最好在例如检查对象图案的图案间距以下(检查图案的图案宽度和图案间隙以下的大小)。由此，可成为以一根检查对象图案的检查信号为主进行检测的状态。
但是，不一定要为检查对象图案的图案间距以下，只要可把握多个的检查对象图案与邻接该图案的图案，便可进行检查。
来自第一传感器20和第二传感器30的检测信号被送至模拟信号处理电路50，以进行模拟信号处理。通过模拟信号处理电路50模拟信号处理的模拟信号，被送至控制部60以判断检查基板10的配线图案是否完好。另外，控制部60还进行将检查信号供给梳齿状图案其中之一的控制。
模拟信号处理电路50具有各个分别放大第一传感器20和第二传感器30的检测信号的放大器51；除去由放大器51所放大的检测信号的噪声成份，以使检查信号通过所用的带通滤波器52；对来自带通滤波器52的信号作全波整流的整流电路53；将通过整流电路53作全波整流的检测信号作平滑处理的平滑电路54。此外，并不一定要具备进行全波整流的整流电路53。
控制部60用于管理本实施例检查装置全体的控制，包括计算机(CPU)61；存储CPU61的控制顺序等的ROM62；暂时存储CPU61的处理经过信息等的RAM63；将来自模拟信号处理电路50的模拟信号变换为对应的数字信号的A/D变换器64；将检查信号供给梳齿状图案之一的基部的信号供给部65；以及显示检查结果与操作指示导引等的显示部66。
信号供给部65例如作为检查信号生成交流200KHz、200V的正弦波信号，供给梳齿状图案之一的基部。在此情况下，带通滤波器52作为使该检查信号的200KHz通过的带通滤波器。
另一方面，未被供给检查信号的另一方的梳齿状图案的基部，被维持在接地电位。此外，该另一方的梳齿状图案的基部，不一定是接地电位，而只要供给来自一方的梳齿状图案的基部所供给的检查信号的低电位信号便足够。如此，若供给来自一方的梳齿状图案的基部所供给的检查信号的低电位信号的话，因为在第一传感器20的检测结果和第二传感器30的检测结果产生差异，只要辨识该差异的检测结果，即可完全相同地辨识图案是否完好。
以下，参照图2说明具备以上构成的本实施例的图案是否完好的辨识原理。图2(A)显示具有短路图案的情况，图2(B)显示具有断线的情况的检查装置的传感器检测信号的例子。
本实施例，因为检查对象图案具有某一程度的电阻成份；第一传感器20、第二传感器30均为与检查对象图案电容耦合状态，因此检查结果即使不是数字形式而是在图案与图案之间，仍可检测出某一程度的检测结果。
其结果，如图2的箭头所示，通过标量机器人80将第一传感器20和第二传感器30定位在梳齿状图案的行状图案部的各个端部附近，如箭头所示，在与图案电容耦合的状态以横过各行状图案的方式进行移动控制。此时，第一传感器20和第二传感器30以响应图案间距的速度同步移动，以大致相同时序移动于行状图案的上部，并以大致相同时序驱动离开行状图案。
其结果，在正常图案的部分，从信号供给部65所供给的检查信号的大部分的电流，通过短路图案(短路状部)15c流入接地侧。
在该状态，如如图2(A)所示，在接地侧的行状图案端部侧与检查信号供给侧的行状图案的基部侧的一部分具有短路部位的情况，重新成为通过图2(A)中粗图案所示部分的电流通路所产生的该结果下段所示的检查信号输出，较粗线显示的图案的电位随着接近于接地侧而比例减少。
为此，成为图2(A)所示(①的电位②的电位③的电位)，而②和③的电位通过短路位置①的位置，成为大致指定的值。短路位置①的越接近检查信号供给侧梳齿状图案的基部侧(高电压侧)的②和③的电位变高，而短路位置①的越接近另一侧的梳齿状图案的基部侧(低电压侧)的②和③的电位变低。
因此，在②和③的电位高的情况，可辨识在接近检查信号供给侧梳齿状图案的基部的行状图案部位的短路，而在②和③的电位均低的情况，可辨识在接近接地侧(低电压电位侧)梳齿状图案的基部侧的行状图案部位的短路。
事实上，因为该检测电位与短路部位为对应关系，因此可从检测电位特定大致的短路部位，即使在进行微细图案的检查的情况，仍可容易特定短路部位。
在行状图案为正常的情况，流动于检查信号供给侧(高电压图案侧)的检查信号的交流电流，通过与邻接图案的电容成份，经常流入接地侧(低电压电位侧)的图案。但是，在行状图案的一部分为断线的情况，则成为图2(B)所示的检测结果。
例如，当检查信号供给侧的行状图案成为断线(打开)状态时，流入接地侧(低电压电位侧)的电流减少，第一传感器20的检测电位上升。由此，来自第一传感器20的检测输出也增加。另一方面，因为从断线部位至前面的粗线所示的图案未流过电流，因此低电压侧的第二传感器的输出降低。
因此，检查信号供给侧的行状图案的第一传感器20的输出，成为比来自另一图案的检测信号高电位的检测结果，在第二传感器的输出为比来自其它的图案的检测信号低电位的情况，则辨识在检查信号供给侧的行状图案的断线。
另一方面，在正常图案的情况，电流通过与邻接图案的电容成份而经常流入接地侧的梳齿状图案侧。在接地侧的行状图案为断线的情况，由粗线所示的图案的电位不是接地状态而成为流动状态，因为来自邻接图案的影响变大而使得检测电位上升。由此，第一传感器20的输出增加。因为，从另一断线部至前面的粗线所示的图案的影响未波和第二传感器30位置上的图案，因此来自邻接图案的影响变小而使得第二传感器的输出降低。
从该情况，在接地侧的行状图案的第一传感器20的输出比其它的传感器输出上升，第二传感器30的输出比其它的传感器输出降低的情况，则辨识接地侧行状传感器的断线。
此外，在行状图案的断线的情况，因为依行状图案的断线部位来决定各传感器输出电位，因此可从检测电位大致特定断线部位。
以上的断线部位的特定，可利用预先保持标准图案、种种的断线、或取代短路部位的基准检测结果，并比较所保持的基准检测结果与检查结果，以特定不良部位。
以下，参照图3的流程图，说明具备以上构成的本实施例的导电图案的检查控制。图3是用于说明本实施例的检查装置的检查控制的流程图。
在通过本实施例的检查装置进行检查时，形成检查对象导电图案的玻璃基板，在未显示的搬运路上被搬运至本实施例的电路图案检查装置位置(工件位置)。为此，首先在步骤S1，将作为检查对象的液晶面板10设定在检查装置。这可通过未显示的搬运机器人将自动搬运来的检查对象基板设定在检查装置，或是可由操作者来直接设定。控制部60是在检查装置设定检查对象时，起动机器人控制器70以控制标量机器人80，将检查对象定位于检查位置。
接着，在步骤S3，将第一传感器20的感测电极25定位在检查对象(液晶面板10)的检查对象行状配线图案15a的端部侧的初期位置(离开指定距离的最端部的配线图案位置)，同时，将第二传感器30的感测电极35搬运定位在检查对象行状配线图案15b的端部侧的初期位置(离开指定距离的最端部的配线图案位置)。
此外，在本实施例中，与基板表面的间距被保持为例如100μm～200μm。但是，间距并不限于以上的例子，本实施例中，检查对象配线图案与电极间的距离(间距)，依检查对象配线图案的尺寸所决定，若图案的尺寸增大时则间距也增大，而在图案的尺寸小的情况间距也变窄。
在将图案强固地黏接在基板表面等情况中，可在电极表面由绝缘材料形成覆被，而以无直接接触的方式形成图案与电极，介由绝缘材料将第一传感器20或第二传感器30直接密接在基板上，以间距大致成为绝缘材料的厚度的方式进行控制，可容易且正确地将检查对象图案与电极间的距离保持为一定距离以进行检查，或是，在移动的情况，也可使基板与传感器离开一定距离，而在信号检测时使基板与传感器密接。由此，可获得容易且正确的检查结果。
接着，在步骤S5，于信号供给部65作指示而开始对检查信号供给侧梳齿状图案的基部侧供给检查信号。
接着，进入步骤S7，将图案与电极间的距离保持为一定，以使第一传感器20与第二传感器30的各电极25、35同步横过检查对象行状图案的方式，且以与检查对象图案表面的离开距离保持为一定的方式开始边控制边移动的控制。由此，在其后，感测电极25、35通过与行状图案的电容耦合以检测来自行状配线图案的信号电位。
也就是说，在感测电极25位于行状图案的位置的情况，感测电极35也位于相同的行状图案的位置，这些均控制为在一感测电极移动在行状图案的1个间距期间，另一感测电极也移动行状图案的1个间距量的状态。
为此，在步骤S10，起动模拟信号处理电路50，进行分别处理来自感测电极25、35的检测信号而输出在控制部60的控制。在信号处理电路50中，如上述，由放大器51将来自第一传感器20的感测电极25的检测信号与来自第二传感器30的感测电极35放大至必要的电位，将由放大器51所放大的检测信号传输至使检查信号频率的信号通过的带通滤波器52，以除去噪声成份，其后，由整流电路53将来自带通滤波器52的信号作全波整流，由平滑电路54将被全波整流的检测信号作平滑处理，并传输至控制部60的A/D变换器64。
CPU61起动A/D变换器64而将所输入的模拟信号变换为对应的数字信号，并作为数字值读取由感测电极25、35所检测的检查信号。
CPU61在后续的步骤S12，调查所读取的检测信号是否在预先设定的临限值范围内。在此，若检测结果在指定的临限值内的话，则认为读取图案正常而进入步骤S16。
另一方面，在步骤S12，若所读取的检测信号不在预先指定的临限值范围内而为此以外的值情况，则判断供给该检查信号的配线图案与邻接图案处于短路中、或途中有断线，而将此配线图案的状态作为不良予以存储。然后，进入步骤S16。
行状图案为断线中或短路的行状图案的不良部位，依据上述的原理来辨识。
在步骤S16中，判断该配线图案的检查是否有结束，例如判断感测电极25是否有移动至超过检查对象配线图案的最后图案的位置(调查该配线图案的检查是否结束)。
在检查只进行至该配线图案的途中的情况，进入步骤S18，继续电极的扫描，将检查信号供给下一图案。然后，返回步骤S10，继续读取处理。
另一方面，在步骤S16中，在对所有的配线图案的检查结束的情况，进入步骤S20，在信号供给部65作指示，以使检查信号的供给停止，同时，使信号处理电路50、A/D变换器64的动作停止。
然后，最后在步骤S22，使检查对象离开检查位置，定位并搬运至下一搬运位置，以进行必要的后处理。
通过如上述的控制，进行完全不与检查对象的配线图案接触等的液晶显示图案的检查。为此，即使是配线图案的强度少的液晶显示面板基板，仍可进行完全无问题的检查。
因此，即使是用于无法充分取得图案强度的小型行动电话所用的液晶显示面板的液晶显示面板用玻璃基板，仍可不伤及配线图案而确实检查。
根据如上述说明的本实施例，可容易且确实实现图案状态的检查。
(其它发明的实施例)以上的说明中，说明了以非接触且横过检查对象配线图案的端部的方式使感测电极25和35移动，以检测不良图案的例子。但是，本发明并不限于以上的例子，例如，在具有检查对象图案的强度，并确保摩擦强度等的情况，也可以是在第一传感器20和第二传感器30下部的图案侧安装由导电材料形成的电刷，使该刷子以扫描的方式移动在检查对象图案的表面以检测图案的信号的构成。在该情况，可更为明确地检测是否短路或断线。
而且，以上的说明中，说明了通过标量机器人80而主要在X-Y方向以二维控制感测电极25、35的移动控制的例子。这是因为检查对象基板为液晶面板，且为玻璃基板而平滑度高的缘故。而在检查图案厚度厚、或检查基板为大型而无法无视表面凹凸的影响的基板的情况，可以是不仅进行以上的二维控制，还在上下方向(Z方向)进行控制的构成，只要是即使具有检查对象基板的凹凸仍可获得良好的检查结果的构成即可。
在不仅进行二维控制，还进行上下方向(Z方向)的控制的情况，将标量机器人80构成为除可二维控制第一传感器20和第二传感器30外，还可在图的表背方向(上下方向)进行位置定位控制。
然后，在第一传感器20和第二传感器30安装激光变位计，由控制部60取入来自安装在各传感器的变位计的检测结果，测定第一传感器20、第二传感器30与检查对象基板的表面的距离，控制标量机器人80而由激光变位计23、33将各电极与检查对象基板表面的距离控制为一定。
在进行该Z轴方向的控制时，在控制部60中，将电极移动一定距离的期间的测定距离的测定结果平均化，以平均化的距离成为一定的方式来控制电极与图案间的距离。
例如，根据检查对象图案的3根量的距离的平均来控制电极、基板表面间的距离。
如此将距离平均化，是为了将急剧的Z方向控制设为稍缓的控制以减轻噪声、测定误差等的影响的目的。
如此，不仅在X-Y方向还在Z方向进行控制，尤其对大型基板的检查很有效。例如，在大型平板显示器面板表面的配线图案的检查等中，无论如何总无法避免基板表面的弯曲产生，在如此的情况，可有效防止电极与图案接触的情况。
另外，在图案的厚度厚的情况，只要是通过减窄平均化的测定距离的范围而可进行高强度的检测者即可。
此外，以上的说明中，主要说明了检查液晶显示面板的例子，但是，本发明并不限于以上的基板，例如，只要是梳齿状图案便可应用在任意的基板图案。
(发明效果)根据如上述说明的本发明，可确实检测检查对象图案的不良。
而且，即使是具有检查对象图案的损伤的问题的图案，仍不伤及检查对象图案，而可进行可靠度高的图案检查。
权利要求
1.一种电路图案检查装置，其用于检查将多个末端部配设为行状且基端部相互连接的两组梳齿状导电图案以相互的末端部变得互异的方式配设而成的电路基板的导电性图案的状态，其特征为具备两个检测机构，具有检测电极用以检测来自上述梳齿状导电图案的信号；检查信号供给机构，在上述梳齿状导电图案的一端供给交流检查信号；低电压控制机构，将上述梳齿状导电图案的另一端控制为至少比上述检查信号供给机构所供给的交流检查信号电位低的低电压电位；以及移动机构，在以离开指定距离且与上述末端部成为电容耦合状态的方式进行位置定位的状态，以横过上述末端部的方式使上述两个检测机构移动；且上述移动机构以横过供给上述检查信号中的末端部的基部侧与低电压电位的末端部的前端侧的方式使一端的检测机构移动，同时以横过控制在上述低电压电位中的末端部的基部侧与供给检查信号的末端部的前端侧的方式使另一端的检测机构移动，以来自上述各检测机构的检查信号为基础辨识上述梳齿状导电图案是否完好。
2.如权利要求1所述的电路图案检查装置，其中，上述低电压控制机构将上述梳齿状导电图案的另一端控制为接地电位。
3.如权利要求1或2所述的电路图案检查装置，其中，上述图案的至少末端部是具有指定的电阻值的导电图案，上述移动机构将两个上述检测机构分别定位在上述末端部的各个前端与基部附近位置，以横过上述末端部的方式使上述两个检测机构移动。
4.一种图案检查方法，其用于检查将多个末端部配设为行状且基端部相互连接的两组梳齿状导电图案以相互的末端部变得互异的方式配设，且包含具有检测电极用以检测来自上述梳齿状导电图案的信号的两个检测机构的电路基板的导电性图案的状态，其特征为在上述梳齿状导电性图案的一端供给交流检查信号，同时将上述梳齿状导电性图案的另一端控制在至少比上述梳齿状导电性图案的一端所供给的交流检查信号电位低的低电压电位；以横过供给上述检查信号的末端部的基部侧与控制在低电压电位的末端部的前端侧的方式使上述两个检测机构的一端的检测机构移动，同时以横过控制在上述低电压电位的末端部的基部侧与供给检查信号的末端部的前端侧的方式使上述两个检测机构的另一端的检测机构移动，并以来自上述各检测机构的检测信号为基础辨识上述梳齿状导电图案是否完好。
5.如权利要求4所述的图案检查方法，其中，上述图案的末端部是具有指定的电阻值的导电图案，上述检测机构的移动控制，将两个上述检测机构分别定位在上述末端部的各个前端与基部附近位置，并以横过上述末端部的方式使上述两个检测机构移动。
6.如权利要求4或5所述的图案检查方法，其中，将上述梳齿状导电性图案的另一端控制为低电压电位。
7.如权利要求4或5所述的图案检查方法，其中，上述梳齿状导电性图案的上述检测机构的检测结果，在来自上述一端的检测机构和上述另一端的检测机构的检测结果均横过供给检查信号的末端部时为高电位，而在横过控制在低电压电位的上述末端部时为低电位的检测信号时，则辨识为正常图案。
8.如权利要求7所述的图案检查方法，其中，上述梳齿状导电图案的上述检测机构的检测结果，在来自上述一端的检测机构和上述另一端的检测机构的检测结果均横过控制在低电压电位的上述行状图案时为高电位的检测信号时，则辨识在检测信号供给侧的梳齿状图案的基部附近部位有短路；在来自上述一端的检测机构和上述另一端的检测机构的检测结果均横过供给检查信号的末端部时为低电位的检测信号时，则辨识在低电压电位侧的梳齿状图案的基部附近部位有短路。
9.如权利要求7所述的图案检查方法，其中，在横过均控制在低电压电位的末端部时的上述一端的检测机构的检测结果电位，比横过其它的检查信号供给侧末端部时的检测结果电位高，在上述另一端的检测机构的检测结果电位比横过控制在其它的低电压电位的末端部时的检测结果电位低的情况，则辨识在该低电压电位的末端部具有断线，在横过均供给检查信号的末端部时的上述一端的检测机构的检测结果电位比横过供给其它的检查信号的末端部时的检测结果电位高，在上述另一端的检测机构的检测结果电位比横过控制在其它的低电压电位的上述末端部时的检测结果电位低的情况，则辨识在该检查信号供给侧的行状图案具有断线。
全文摘要
本发明的目的在于，提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段，本发明是在至少端部被配设为行状且基部相互连接的两组梳齿状导电图案的一端(15a)供给交流检查信号，并将另一端(15b)接地，检查以相互的行状导电图案部变得互异的方式配设而成的电路基板(10)的导电性图案的状态的电路图案检查装置，其特征在于具备两个检测机构(20、30)，具有检测来自上述梳齿状导电图案(15a、15b)的信号的检测电极；并在与相互相同的上述行状导电图案成为电容耦合状态进行定位的状态，以横过行状导电图案的方式而利用标量机器人(80)使检测机构(20、30)移动，以上述两检测机构(20、30)的检测电位为基础可辨识行状图案部是否完好。
文档编号G01R31/28GK1720457SQ20038010461
公开日2006年1月11日 申请日期2003年11月28日 优先权日2002年11月30日
发明者山冈秀嗣, 羽森宽, 石冈圣悟 申请人:Oht株式会社