专利名称：一种微电流测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成电路器件和电路的微电流测试，尤其指一种微电流测试装置。
背景技术：
随着集成电路的快速发展进展，对于集成电路器件的微电流测量已达到了很高的要求，有时甚至需要精度达到小于10-12安培。
传统的针对器件的微电流测试，其方法往往过于繁琐，设备也较为复杂，同时需要专用电源和校准装置等等，而且功耗较大，不利于正常使用。
而对于大规模集成电路器件的微电流测试装置，一般同时要求较高的电流精度和功耗，而当前通用的设备很难达到所需指标，尤其不能满足某些特殊集成电路的设计、测试和应用需要。
发明内容
本发明的目的在于提供一种校准简单、使用方便、功耗很小、精度高的微电流测试装置。
本发明所提供的一种微电流测试装置，其特征在于，包括多级滤波电路、调零补偿模块、检测电流极性转换电路和分别与这些电路相连的皮安级电流放大模块，所述多级滤波电路还分别与所述的检测电流极性转换电路和调零补偿模块相连，其中检测电流极性转换电路，用于测试特定管脚的输入或者输出漏电流，满足微电子电路测试的对称性和灵敏度；多级滤波电路，用于确保抗干扰能力，满足测试的精度；调零补偿模块，包括调零电路和与之相连的漏电补偿电路，用于满足被测件测试时进行调零和漏电补偿，确保测试的极限灵敏度；皮安级电流放大模块，用于确保测试的输入稳定性。
在上述的微电流测试装置中，皮安级电流放大模块采用了放大集成电路和高阻输入。
在上述的微电流测试装置中，检测电流极性转换电路采用一选择开关。
在上述的微电流测试装置中，调零电路是由若干电阻、二个二极管、二个可调电阻和一放大器所组成。
在上述的微电流测试装置中，漏电补偿电路是由若干电阻、一个可调电阻和一放大器所组成。
采用了上述的技术解决方案，即在本发明微电流测试装置的输入端采用专门的放大集成电路和高阻输入，对称性和灵敏度均达到了远高于一般的微电流测试仪，并采取了多级滤波设计，使得噪声指标＜0.001mV，同时采用了漏电补偿电路，使得其极限灵敏度可达10-15安培，功耗仅为0.1mW，远远低于同类产品。本发明解决了某些条件下的集成电路的微电流高精度静态测试，具有校准简单、使用方便、功耗很小、精度达到了10-14安培，同时可以进行极性反转测试的特点。
图1是本发明微电流测试装置的电路框图；图2是本发明微电流测试装置的原理图。
具体实施例方式
如图1所示，本发明微电流测试装置连接在被测件、稳压电源和皮安(PA)级电流显示装置之间，包括二级滤波电路1、调零补偿模块2、检测电流极性转换电路3和分别与这些电路相连的皮安(PA)级电流放大模块4，所述二级滤波电路1还分别与所述的检测电流极性转换电路3和调零补偿模块2相连。
参见图2，检测电流极性转换电路3，用于测试特定管脚的输入或者输出漏电流，满足微电子电路测试的对称性和灵敏度。可采用一选择开关S1来担当。
二级滤波电路1，用于确保抗干扰能力，满足测试的精度。
调零补偿模块2，包括调零电路和与之相连的漏电补偿电路，用于满足被测件测试时进行调零和漏电补偿，确保测试的极限灵敏度，其中调零电路是由电阻R31、R32、R33、R34、R35、R36、二极管D1、D2、可调电阻W31、W32和一放大器U3所组成；漏电补偿电路是由若干电阻R42、R43、R44、R45、可调电阻W41和一放大器U4所组成。
皮安级电流放大模块4，用于确保了测试的输入稳定性。采用了专门的放大集成电路(型号INA116)和高阻输入，确保了测试的输入稳定性。
综上所述，本发明微电流测试装置主要针对集成电路的测试特点设计了极性反转电路，可以方便的测试特定管脚的输入或者输出漏电流。同时设计了多级滤波电路，确保了抗干扰能力，来满足测试的精度。
虽然本发明微电流测试装置已参照当前的具体实例进行了描述，但是本技术领域的普通技术人员应该认识到，以上的实例仅是用来说明本发明，在没有脱离本发明精神的情况下还可作出各种等效的变化和修改。因此，只要在本发明的实质精神范围内对上述实例的变化，变型都将落在本发明的权利要求书的范围内。
权利要求
1.一种微电流测试装置，其特征在于，包括多级滤波电路、调零补偿模块、检测电流极性转换电路和分别与这些电路相连的皮安级电流放大模块，所述多级滤波电路还分别与所述的检测电流极性转换电路和调零补偿模块相连，其中检测电流极性转换电路，用于测试特定管脚的输入或者输出漏电流，满足微电子电路测试的对称性和灵敏度；多级滤波电路，用于确保抗干扰能力，满足测试的精度；调零补偿模块，包括调零电路和与之相连的漏电补偿电路，用于满足被测件测试时进行调零和漏电补偿，确保测试的极限灵敏度；皮安级电流放大模块，用于确保测试的输入稳定性。
2.根据权利要求要求1所述的微电流测试装置，其特征在于所述皮安级电流放大模块采用了放大集成电路和高阻输入。
3.根据权利要求要求1或2所述的微电流测试装置，其特征在于所述检测电流极性转换电路采用一选择开关。
4.根据权利要求要求1所述的微电流测试装置，其特征在于所述调零电路是由若干电阻(R31、R32、R33、R34、R35、R36)、二个二极管(D1、D2)、二个可调电阻(W31、W32)和一放大器(U3)所组成。
5.根据权利要求要求1所述的微电流测试装置，其特征在于所述漏电补偿电路是由若干电阻(R42、R43、R44、R45)、一可调电阻(W41)和一放大器(U4)所组成。
全文摘要
一种微电流测试装置，包括检测电流极性转换电路，用于测试特定管脚的输入或者输出漏电流，满足微电子电路测试的对称性和灵敏度；多级滤波电路，用于确保抗干扰能力，满足测试的精度；调零补偿模块，包括调零电路和与之相连的漏电补偿电路，用于满足被测件测试时进行调零和漏电补偿，确保了测试的极限灵敏度；皮安级电流放大模块，用于确保了测试的输入稳定性。本发明解决了某些条件下的集成电路的微电流高精度静态测试，具有校准简单、使用方便、功耗很小、精度达到了10
文档编号G01R19/00GK1982897SQ20051011158
公开日2007年6月20日 申请日期2005年12月16日 优先权日2005年12月16日
发明者聂纪平, 陆衡周 申请人:上海贝岭股份有限公司