专利名称：薄膜加热器和分析用具的制作方法
技术领域：
本发明涉及薄膜加热器和在进行试样的分析时安装在分析装置上使用的分析用具。
背景技术：
作为进行试样分析的方法，例如有通过光学方法分析使试样与试剂反应的反应液的方法。这样的分析，通过例如在构筑有可以进行光的照射和接受光的光学系统的分析装置上，安装提供反应场所的分析用具的方式进行(例如，参照专利文献1)。在这种情况下，为了减小分析误差，提高分析结果的可靠性，进行分析用具(特别是反应液)的温度调整，在每次测定中使试样与试剂在大致相同的温度下反应是优选的。
作为进行反应液的温度调整的方法，例如下述方法如图10A所示，将分析用具9保持在热容量比反应液90大的加热块91上，控制该加热块91的温度，调整反应液90的温度(例如，参照专利文献2、3)。在这种方法中，例如通过被埋设在加热块91中的温度传感器92监控反应液的温度，在反应液的温度比规定值小时，对加热块91进行加热、升温，通过该加热块91进行反应液的升温。另外，还有如下方法如图10B所示，将分析用具9保持在温度追随性高的发热体93上，通过该发热体93直接调整反应液的温度(例如，参照专利文献4)。这种方法也是通过根据温度传感器92的监控结果，适宜地驱动发热体93，进行反应液90的温度调整。
在这些调温方法中，由于在使反应液90升温时，需要对加热块91进行加热或者驱动发热体93，所以存在消耗电力大的缺点。而且，在加热块91和发热体93等的加热介质上，如微装置那样反应液90的液量小时，难于定点地仅仅加热保持有反应液90的区域。所以，为了响应性优异地提高反应液90的温度，与要升温的区域(在图中，反应液90的正下方区域)相比，需要形成相当大的加热介质91、93。所以，与从加热介质91、93传递的热量相比，被用于升温反应液90的热量小，存在能量利用效率低的问题。
这样，现有的调温方法存在消耗电力大的缺点。所以，现有的调温方法难于用于装入小型电池(例如，在家庭中被普遍使用的电池)作为内部电源而驱动的小型分析装置，假如即使将现有的方法用于小型的分析装置，分析装置的实际工作时间变得极短，不实用。另外，虽然只要加大内部电源的容量，就可以改善实际工作时间缩短的问题，但是在这种情况下，分析装置的小型化变得困难，不便于搬运。另外，虽然也可以采用从外部电源供给电力的构成，但是在这种情况下，需要将分析装置连接到外部电源上的电源适配器。其结果是，在用于携带使用的分析装置上，需要带着电源适配器，所以不便于携带，而且也难于外出使用。
专利文献1日本特开平8-114539号公报专利文献2日本特开平9-189703号公报专利文献3日本特开平10-253536号公报专利文献4日本特开平9-304269号公报发明内容本发明的目的在于提供一种分析装置小型化，消耗电力少而效率高，可以将保持在分析用具上的液体成分加热到目标温度的分析用具，以及能够适用这种分析用具的薄型加热器。
在本发明的第一方面中，提供一种薄膜加热器，其具备薄膜发热电阻体；和用于在上述薄膜发热电阻体上施加电压并与上述薄膜发热电阻体导通连接的第一和第二薄膜电极。
在本发明的第二方面中，提供一种分析用具，安装在分析装置上进行使用，其具有用于使试样与试剂反应的1个以上的反应槽；和用于加热上述1个以上的反应槽的内部，并由通电而发热的薄膜加热器，其中，上述薄膜加热器具有薄膜发热电阻体和用于在上述薄膜发热电阻体上施加电压，并与上述薄膜发热电阻体导通连接的第一和第二薄膜电极。
薄膜发热电阻体例如至少一部分具有透光性。在这种情况下，薄膜发热电阻体既可以整体形成为透明，也可以形成具有用于保证透光性的1个以上的贯通孔或者缺口。
薄膜发热电阻体的厚度例如设为20～300nm。这是因为厚度过小时，难于简单地制造，在操作性以及制造成本方面不利，另外厚度过大时，难于得到目标的电阻值(发热量)。
第一薄膜电极、薄膜发热电阻体和第二薄膜电极优选构成按照该顺序在膜厚方向上叠层的加热叠层体。
加热叠层体例如至少一部分具有透光性。在本发明的分析用具上，加热叠层槽其至少与反应槽对应的部分具有透光性。加热叠层体既可以整体形成透明，也可以形成具有用于保证透光性的1个以上的贯通孔或者缺口。
在加热叠层体的至少一部分具有透光性的情况下，薄膜加热器优选采用具有用于支撑加热叠层体的透明的基材。
加热叠层体的厚度例如设为200μm以下，优选设为100μm以下。这是因为在加热叠层体的厚度过大时，例如将加热叠层体装入分析用具时，会妨碍分析用具的小型化。
在本发明的分析用具中，薄膜发热电阻体在膜厚方向看时，具有包围上述1个以上的反应槽周围的至少一部分的部分。
上述分析用具，例如整体形成为圆盘状。在这种情况下，薄膜加热器也整体形成为圆盘状。
本发明的分析用具例如构成为在中央部设置用于保持应向上述1个以上的反应槽供给的试样的受液部。在这种情况下，上述1个以上的反应槽例如包括配置在以受液部为中心的同一圆周上的多个反应槽，另外，薄膜发热电阻体形成为在对应于受液部的部分上形成有贯通孔的环状。
本发明的分析用具，例如具备具有多个流路的第一透明部件；以覆盖多个流路的方式与第一透明部件连接的第二透明部件。在这种情况下，加热叠层体形成在第一或者第二透明部件的表面上。加热叠层体优选形成在上述第二透明部件的与第一透明部件接合的面相反的面上。
上述分析用具例如还具备用于覆盖加热叠层体的透明的第三透明部件。第三透明部件优选在与第一透明部件之间，以能够内包第二透明部件和加热叠层体的方式形成盖(cap)状。
本发明的分析用具构成为使分析装置的第一和第二探头与第一和第二薄膜电极接触而使用。在这种情况下，第一和第二薄膜电极具有用于与第一和第二探头接触而露出的部分。
本发明的分析用具优选构成为能够从同一侧使上述第一和第二探头与第一和第二薄膜电极接触。
本发明的分析用具构成为例如所使用的试样的量为400μL以下的微装置。另外，在上述分析用具具备多个流路的情况下，各流路的容积例如设定为300～800nL。
在此，在本发明中，当第一薄膜电极、薄膜发热电阻体和第二薄膜电极为“透明”或者加热叠层体为“透明”的情况下，不限于在可见光区域的全波长范围内使光透过的情况，也包含不吸收特定波长的光或者几乎不吸收的状态，即对于特定波长在光学上为透明的情况。例如，在分析用具中，相对于使用该分析用具进行光学分析时的测定波长，在加热叠层体上没有光的吸收的情况下，或者几乎没有光的吸收的情况下，加热叠层体即使在视觉上不透明，也被包含在本发明的“透明”中。
图1是本发明的微装置的一个例子的整体斜视图。
图2是沿图1的II-II线的截面图。
图3是图1所示的微装置的分解斜视图。
图4是图1所示的微装置的加热器的分解斜视图。
图5是从图1所示的微装置除去盖的状态的平面图。
图6是表示本发明的薄膜加热器的其他例子的分解斜视图。
图7A是用于说明薄膜加热器的另外例子的平面图，图7B是其分解斜视图。
图8A是用于说明薄膜加热器的另外例子的平面图，图8B是其分解斜视图。
图9A是用于说明薄膜加热器的另外例子的平面图，图9B是其分解斜视图。
图10是用于说明现有的调温方法的截面图。
具体实施例方式
图1～图3所示的微装置X形成有多个微细的流路，整体形成透明的圆盘状的形态。该微装置X具有基板1、薄膜加热器2和盖3。
如图2和图3明确表示，基板1，其周缘部降低一阶，形成有受液部10、多个流路11和共用流路12，而整体形成透明的圆盘状。
受液部10用于保持导入各流路11的试样。该受液部10在基板1的中央部形成为圆柱状的凹部。
多个流路11用于使试样移动，从受液部10向基板1的周缘部延伸。这些流路11整体形成放射状。各流路11具有用于使试样和试剂反应的反应槽13，在基板1上设置多个反应槽13。多个反应槽13距受液部10的距离相同，在基板1上被配置在同一圆周上。试剂部14被设置在各反应槽13上。试剂部14为在供给试样时溶解的固体状，与试样中的被检测成分反应而显色。在本实施方式中，以在微装置X上可以测定多个项目的方式，准备例如成分或者组成不同的多种试剂部14。
共用流路12在将存在于多个流路11的气体向外部排出时使用。该共用流路12在基板的周缘部形成为圆环状的凹部，并与多个流路11连通。
具有如上所说明的构成的基板1例如可以通过使用聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)等的丙烯酸系树脂或者聚二甲基硅氧烷(PDMS)的透明树脂材料的树脂成形而形成。即，受液部10、多个流路11和共用流路12可以通过选择模具的形状，在上述树脂成形时同时作出来。
薄膜加热器2用于加热各反应槽13的内部，具有子基板20和加热叠层体21。
子基板20形成为比基板1小一圈的透明的圆盘状。该子基板20具有贯通孔20A、20B。贯通孔20A利用于将基板1的共用流路12的气体向外部排出，在子基板20的周缘部上形成为与共用流路12连通。贯通孔20B利用于向基板1的受液部10供给试样，在子基板20的中央部上形成为与受液部10连通。
另外，加热叠层体21通过通电时的电阻而发热，被设置在子基板20上。该加热叠层体21具有在对应于子基板20的贯通孔20A、20B的位置上形成的贯通孔21A、21B，并且如图4可知，在子基板20上依次叠层有薄膜阳极22、薄膜发热电阻体23和薄膜阴极24。
如图2和图3所示，贯通孔21A用于允许将存在于基板1的共用流路12中的气体向外部排出。另外，贯通孔21B用于允许向基板1的受液部10供给试样。
由图2至图5可以预想，薄膜阳极22、薄膜发热电阻体23和薄膜阴极24具有贯通孔22A～24A、22B～24B，具有一部分被缺口22C～24C所分离的大致环状的形态。贯通孔22A～24A构成加热叠层体21的贯通孔21A，贯通孔22B～24B构成加热叠层体21的贯通孔21B。
薄膜阳极22和薄膜阴极24被利用于在薄膜发热电阻体23上施加电压，并形成为透明。这些电极22、24通过后述盖3的探头插入口32A、32B露出，通过探头插入口32A、32B，能够使分析装置(省略图示)的电压施加用的探头40、41接触。
另外，薄膜发热电阻体23由薄膜阳极22和薄膜阴极24施加电压而发热，并形成为透明。在此，所谓“透明”是指在相对于至少在使用分析用具的分析中被采用的光的波长没有光吸收情况，或者几乎没有的情况，不必限定于视觉上所指的透明。
薄膜阳极22、薄膜发热电阻体23和薄膜阴极24分别通过选择成膜方法、厚度、或者材料，形成具有目标电阻值的透明薄膜。但是，薄膜发热电阻体23形成为薄膜电阻比薄膜阳极22和薄膜阴极24大。
在此，薄膜阳极22和薄膜阴极24的厚度例如设为1～100μm，另外，薄膜发热电阻体23的厚度例如设为20～300nm。作为形成这些薄膜22～24的方法，例如可以采用网板印刷、溅射、CVD、蒸镀、涂覆或者压延。作为形成这些的薄膜22～24的材料，例如可以使用无机氧化物、TiN等的无机物或者导电性聚合物等的有机物。作为无机氧化物，例如可以举出In2O3、ZnO或者SnO2等单一元素的氧化物，将选自例示单一元素的氧化物中的2种以上的氧化物进行复合得到的复合氧化物，或者在单一元素的氧化物或复合氧化物中掺杂特定的元素而得到的氧化物。作为掺杂剂，例如可以例举B、Al2O3或者Ga2O3。另外，薄膜阳极22或薄膜阴极24是以导电性高的金属(例如金等的贵金属)作为材料，通过形成纳米级的薄膜金属层，具备透光性的。
如图1至图3所示，盖3具有试样导入部30、气体排出口31和探头插入口32A、32B，整体形成为透明的圆盘状。
试样导入部30在导入试样时使用。该试样导入部30通过在盖3的中央部设置具有开口33A的鼓出部33而形成。开口33A通过子基板20和加热叠层体21的贯通孔20B、21B，与基板1的受液部10连通。这样，可以从试样导入部30(开口33A)向受液部10供给试样。
气体排出口31用于通过共用流路12将存在于多个流路11的气体向外部排出。该气体排出口31作为通过子基板20和加热叠层体21的贯通孔20A、21A与共用流路12连通的贯通孔而形成。该气体排出口31在使用微装置1之前，被密封件31a堵塞。该密封件31a例如在使用微装置X时被剥去。由此，气体排出口31打开，多个流路11处于通过共用流路12等与外部连通的状态。气体排出口31的打开也可以通过在密封件31a上形成贯通孔而实现。即，通过铝箔等薄膜形成密封件31a，另外使针状部件与密封件31a贯通，由此在密封件31a上形成贯通孔，或者由熔点低的热塑性树脂(例如熔点为100度以下)形成密封件31a，通过向密封件31a照射激光而在密封件31a上形成贯通孔。
探头插入口32A、32B在使分析装置的电压施加用的探头40、41与薄膜加热器2的薄膜阳极22和薄膜阴极24接触时，用于使探头40、41插入，作为贯通孔而形成。
具有上述构成的盖3，可以通过使用与基板1同样的透明树脂材料的树脂成形而形成。即，试样导入口30、气体排出口31和探头插入口32A、32B在上述树脂成形时，能够同时作出来。
接下来，对微装置X的使用方法及其作用，进行说明。
在分析试样时，首先将微装置X安装在分析装置(省略图示)上。这时，既可以预先向微装置X供给试样，也可以在将微装置X安装在分析装置上后，向微装置X供给试样。
向微装置X供给试样，可以通过盖3的试样导入部30而进行。从试样导入部30导入的试样，通过子基板20和加热叠层体21的贯通孔20B、21B到达受液部10，但是由于微装置X的气体排出口31被密封件31a堵塞，所以在各流路11的内部不作用毛细管力，试样处于停留在受液部10的状态。
另外，在将微装置X安装在分析装置(省略图示)的情况下，分析装置的施加电压用的探头40、41，通过盖3的探头插入口32A、32B与薄膜阳极22和薄膜阴极24接触。这样，分析装置(省略图示)通过探头40、41向薄膜加热器2的薄膜阳极22和薄膜阴极24施加电压。由此，薄膜发热电阻体23被通电而发热，反应槽13被加热。另外，反应槽13的加热例如通过监控反应槽13的温度，使反应槽13的温度维持在目的温度，进行反馈控制而进行，或者通过只在规定时间施加预定的电压值。
接者，打开气体排出口31，将受液部10保持的试样导入各流路11内。如上所述，气体排出口31的打开通过剥去密封件31a，或者在密封件31a上形成贯通孔进行。
在打开气体排出口31的情况下，各流路11的内部通过共用流路12和气体排出口31连通。由此，在各流路11内产生毛细管力，存留在受液部10的试样在各流路11的内部移动，试样被供给到反应槽13。在反应槽13中，试剂部14被试样溶解，而构筑液相反应系统。通过反应槽13被薄膜加热器2加热，该液相反应系统被加热到目标温度。另外，在液相反应系统中，试样和试剂反应，例如液相反应系统呈现出与试样中被检测成分的量相关的颜色，或者生成与被检测成分的量对应的反应物。其结果，反应槽13的液相反应系统显示与被检测成分的量对应的透光性(光吸收性)。
这样，从向反应槽13供给试样起、经过一定时间后，按照预定的顺序，进行反应槽13的液相反应系统的测光。在分析装置(省略图示)上，为了进行试样的被检测成分的分析，需要根据各反应槽13的测光结果，进行必要的演算。
在本发明中，使用安装在微装置X的薄膜加热器2，进行反应槽13的加热。即，作为薄膜加热器2，可以在每个微装置X，形成与其尺寸对应，或者与反应槽的位置、数量或者形状对应的薄膜加热器。因此，由于能够仅仅对反应槽13的液相反应系统进行选择性的加热，所以供给能源的利用效率提高。而且，由于薄膜加热器2可以接近反应槽13而设置，所以可以高效率地进行从薄膜加热器2向液相反应系统的热能传递。由此，可以提高供给能源的利用效率，可以减小液相反应系统(反应槽13)的加热所需的消耗电力。其结果，可以使用家庭用干电池等的小型电池作为用于驱动薄膜加热器2的内部电源，另外，即使在使用小型电池的情况下，电池寿命也不会明显地缩短，可以充分地加热液相反应系统(反应槽13)。所以，即使在小型的分析装置中，不用将其大型化，能够利用内部电源对液相反应系统(反应槽13)进行加热。而且，如果可以用内部电源进行处理的话，就没有必要与外部电源连接，电源适配器也不是必须的。所以，带着分析装置外出时，不需要携带电源适配器，便于携带。
本发明不限于上述的实施方式，可以进行各种的设计变形。例如，本发明涉及的分析用具，第一不必采用微装置构成；第二不限于通过光学方法进行试样分析的构成，也可以是通过电化学方法进行试样分析的构成；第三不限于具备多个反应槽。另外，可以在本发明的分析用具上采用的加热器，也可以是图6～图9所示的构成。
图6所示的加热器5在具备薄膜阳极52、薄膜发热电阻体53和薄膜阴极54这点上，与先前说明的薄膜加热器2(参照图4和图5)其构成是相同的。另外，加热器5在薄膜阳极52和薄膜阴极54被薄膜发热电阻体53的缺口53C分断的部分(端部)上有选择性地导通连接这点上，与薄膜加热器2(参照图4和图5)是不同的。
如图6所示的加热器5，薄膜阳极52在薄膜发热电阻体53的下面54上连接，另外薄膜阴极54在薄膜发热电阻体53的上面55连接，但是薄膜阳极52和薄膜阴极54也可以分别在薄膜发热电阻体53的同一面上连接。
图7A和图7B所示的加热器6具有由薄膜加热器2的加热叠层体21省略了缺口22C～24C(参照图4和图5)的形态的加热叠层体61。即，加热叠层体61按照薄膜阳极62、薄膜发热电阻体63和薄膜阴极64分别选择性地覆盖设置有反应槽13的部分，由薄膜加热器2的各薄膜22～24(参照图4和图5)，形成尺寸(内径与外径之差)小的环(doghnut)状。
在这样的构成中，由于需要加热的区域小，所以可以有效地加热，可以进一步降低运行成本。另外，各薄膜62～64的尺寸小，能够降低材料成本。
图8A和图8B所示的加热器7，在图7所示的加热器6上，在与加热叠层体71的反应槽13对应的部分上设置多个贯通孔71D。各贯通孔71D通过薄膜阳极72、薄膜发热电阻体73和薄膜阴极74分别在与各反应槽13对应的部分上设置多个贯通孔72D、73D、74D而形成。
在这样的构成中，由于在加热叠层体71上，在与反应槽13对应的部分上设置贯通孔71D，所以没有必要透明地形成加热叠层体71甚至各薄膜72～74。所以，可以加宽形成加热叠层体71甚至各薄膜72～74的材料选择的范围，降低制造成本。
图9A和图9B所示的加热器8与图8所示的加热器7相同，在与加热叠层体81的反应槽13对应的部分上设置多个贯通孔81D。但是，各贯通孔81D通过在与薄膜阳极82的各反应层13对应的部分上设置多个贯通孔82D，另外，在薄膜发热电阻体83和薄膜阳极84的分别与各反应层13对应的部分上设置多个缺口83D、84D。即，通过加热叠层体81对各反应槽13进行的加热，不是在各反应槽13的整个周围上进行，而是在除去接近共用流路12的部分上进行。另外，对于薄膜阳极82，也可以为与薄膜发热电阻体83和薄膜阴极84同样的形状。
在图7～图9所示的加热器6～8上，与图4和图5所示的薄膜加热器2相同地，各薄膜既可以被缺口分断，也可以与图6所示的加热器5相同，分断薄膜发热电阻体，另外，在其端部分别选择性地导通连接薄膜阳极和薄膜阴极。
权利要求
1.一种薄膜加热器，其特征在于，具备薄膜发热电阻体；和用于向所述薄膜发热电阻体施加电压，并与所述薄膜发热电阻体导通连接的第一和第二薄膜电极。
2.如权利要求1所述的薄膜加热器，其特征在于所述薄膜发热电阻体的至少一部分具有透光性。
3.如权利要求2所述的薄膜加热器，其特征在于所述薄膜发热电阻体的整体形成为透明。
4.如权利要求2所述的薄膜加热器，其特征在于所述薄膜发热电阻体具有用于保证透光性的1个以上的贯通孔或者缺口。
5.如权利要求1所述的薄膜加热器，其特征在于所述薄膜发热电阻体的厚度为20～300nm。
6.如权利要求1所述的薄膜加热器，其特征在于所述第一薄膜电极、所述薄膜发热电阻体和所述第二薄膜电极构成按照该顺序在膜厚方向上叠层的加热叠层体。
7.如权利要求6所述的薄膜加热器，其特征在于所述加热叠层体的至少一部分具有透光性。
8.如权利要求7所述的薄膜加热器，其特征在于所述加热叠层体的整体形成为透明。
9.如权利要求7所述的薄膜加热器，其特征在于所述加热叠层体具有用于保证透光性的1个以上的贯通孔或者缺口。
10.如权利要求7所述的薄膜加热器，其特征在于具有用于支撑所述加热叠层体的透明的基材。
11.如权利要求6所述的薄膜加热器，其特征在于所述加热叠层体的厚度为200μm以下。
12.如权利要求11所述的薄膜加热器，其特征在于所述加热叠层体的厚度为100μm以下。
13.如权利要求1所述的薄膜加热器，其特征在于整体形成为圆盘状或者大致圆盘状。
14.一种分析用具，安装在分析装置上使用，其特征在于具备用于使试样和试剂反应的1个以上的反应槽；和用于加热所述1个以上的反应槽的内部，并由通电而发热的薄膜加热器，其中，所述薄膜加热器具备薄膜发热电阻体；和用于向所述薄膜发热电阻体施加电压，并与所述薄膜发热电阻体导通连接的第一和第二薄膜电极。
15.如权利要求14所述的分析用具，其特征在于所述薄膜发热电阻体的至少一部分具有透光性。
16.如权利要求15所述的分析用具，其特征在于所述薄膜发热电阻体的整体形成为透明。
17.如权利要求15所述的分析用具，其特征在于所述薄膜发热电阻体具有用于保证透光性的多个贯通孔或者缺口。
18.如权利要求14所述的分析用具，其特征在于所述薄膜发热电阻体的厚度为20～300nm。
19.如权利要求14所述的分析用具，其特征在于所述薄膜发热电阻体，在膜厚方向看时，具有包围所述1个以上的反应槽周围的至少一部分的部分。
20.如权利要求19所述的分析用具，其特征在于其整体形成为圆盘状，并且在中央部设置用于保持应向所述1个以上的反应槽供给的试样的受液部，其中，所述1个以上的反应槽包括配置在以所述受液部为中心的同一个圆周上的多个反应槽，所述薄膜发热电阻体形成为在对应于所述受液部的部分上形成有贯通孔的环状。
21.如权利要求14所述的分析用具，其特征在于所述第一薄膜电极、所述薄膜发热电阻体和所述第二薄膜电极构成按照该顺序在膜厚方向叠层的加热叠层体。
22.如权利要求20所述的分析用具，其特征在于所述加热叠层体的至少与所述多个反应槽对应的部分具有透光性。
23.如权利要求22所述的分析用具，其特征在于所述加热叠层体的整体形成为透明。
24.如权利要求22所述的分析用具，其特征在于所述加热叠层体具有用于保证在对应于所述多个反应槽的部分上的透光性的多个贯通孔或者缺口。
25.如权利要求22所述的分析用具，其特征在于所述加热器具有用于支撑所述加热叠层体的透明的基材。
26.如权利要求21所述的分析用具，其特征在于所述加热叠层体的厚度为200μm以下。
27.如权利要求26所述的分析用具，其特征在于所述加热叠层体的厚度为100μm以下。
28.如权利要求21所述的分析用具，其特征在于，具备具有所述多个流路的第一透明部件；和以覆盖所述多个流路的方式与所述第一透明部件接合的第二透明部件，并且，所述加热叠层体形成在所述第一或第二透明部件的表面上。
29.如权利要求28所述的分析用具，其特征在于所述加热叠层体形成在所述第二透明部件的与第一透明部件接合的面相反的面上，并且，还具备用于覆盖所述加热叠层体的透明的第三透明部件。
30.如权利要求29所述的分析用具，其特征在于所述第三透明部件在与所述第一透明部件之间，以能够内包所述第二透明部件和所述加热叠层体的方式形成为盖状。
31.如权利要求14所述的分析用具，其特征在于安装在具备用于与所述第一和第二薄膜电极接触的第一和第二探头的分析装置上使用，其中，所述第一和第二薄膜电极具有用于接触所述第一和第二探头而露出的部分。
32.如权利要求31所述的分析用具，其特征在于能够从同一侧使所述第一和第二探头与所述第一和第二薄膜电极接触。
33.如权利要求14所述的分析用具，其特征在于构成为所使用的试样的量为400μL以下的微装置。
全文摘要
本发明涉及薄膜加热器(2)，其具备薄膜发热电阻体；和用于向薄膜发热电阻体施加电压，并与薄膜发热电阻体导通连接的第一和第二薄膜电极(22、24)。在该薄膜加热器(2)上，薄膜发热电阻体的至少一部分具有透光性。优选将第一薄膜电极(22)、薄膜发热电阻体和第二薄膜电极(24)按照该顺序在膜厚方向上叠层。本发明还提供具备薄膜加热器(2)的分析用具(X)。
文档编号G01N37/00GK101031801SQ20058003309
公开日2007年9月5日 申请日期2005年9月28日 优先权日2004年9月30日
发明者松本大辅 申请人:爱科来株式会社