专利名称：测试系统和用于其的连接盒的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于半导体元件或显示器面板的测量技术，更具体而言，涉及当诸如探测器之类用于操纵测试物体的装置连接到测试器并被测量时的噪声抑制技术。
背景技术：
在各种显示器面板，即以液晶显示器(LCD)和有机或无机场致发光(EL)显示器为主的平板显示器的开发和制造期间，面板探测器连接到诸如用于平板显示器(FPD)的阵列测试器之类的面板测试器并进行测量。具体地，取决于显示器类型，由于诸如玻璃之类的基底是一侧上的尺寸超过1米的较大物体，所以面板探测器也必须具有至少是一侧尺寸三倍的尺寸，并且在工厂中确保用于其的空间较为困难。
在诸如集成电路(IC)之类的半导体元件的开发或制造中，晶片探测器连接到例如IC测试器或半导体参数测试器以评测半导体元件的晶片并接着进行测量。近来，晶片半径已经增大到300mm，且确保安装空间变得困难。
因此，考虑在工厂中将许多这些测试器和探测器放置在与配电盘分离的位置处。
另一方面，由于制造工艺的进步，安装在这些晶片和玻璃上的被测试设备(DUT)的测量需要以极小的电流和电压进行高精度的测量。为实现此目的，需要降低噪声。
图4示出了用于解释此噪声问题的图。探测器804操纵(即传送并定位)装载有测量目标(未示出)的晶片或玻璃，并提供用于探测测量目标的指定部分的功能。测试器802经由电缆828和测试头826测量所探测的信号。测试器的电源线810(此后简称为电源线)和探测器的电源线814连接到工厂配电盘806的电源(PWR)的端子。类似地，测试器的地线812和探测器的地线816连接到配电盘806的接地(GND)端子。虽然未示出，分离的电源设置在配电盘上并被接地。在此说明书中，在附图中明确示出的所有接地连接线或地线都以虚线表示。
这里考虑在探测器804中探测DUT。如点划线框的箭头830所指示的，测试器和探测器的地线812和816形成了封闭电路，即具有较大回路面积的接地回路，其经由测试器802、探测器804以及配电盘806之间的测试头826和电缆828。由于上述的安装空间限制，这些电源线810和814或者地线812和816通常至少长10米。在此情况下，在工厂中各种类型噪声的辐射在这些地线或电源线中叠加或感生或者穿过地线回路，并干扰测试器802中的测试。
在大规模生产线中，在半导体和显示器面板的电性能评测装置运行的环境下配置并操作测试器和各种装备。还使用了用于传输已制造产品的移动设备。在这些设备中包括安装和固定有保护接地的设备，但是也有完全与工厂配电盘分离的设备，例如像自动导航车辆(AGV)那样的无人驾驶车辆。通常，许多不带接地的设备是容易产生共模噪声的来源。从噪声的角度看，即使使用了保护接地设备，仍会产生噪声而不能提供令人满意的屏蔽效果。经常应用的措施包括增强屏蔽材料、利用由坡莫合金产生的磁屏蔽以及在电源线中使用混入了铁氧体的外皮来降低辐射、以及使用许多铁氧体线箍。
使用基于反馈控制的伺服电机或伺服放大器来传送目标并将其精确定位在与操纵极小电压和电流的测量装置(此后在此说明书中为简化称作测试器)一起使用的探测器或装载器内的亚微米单元内。
通常，如果在伺服电机或伺服放大器中未被合适地使用，由于高频信号而产生噪声的设备因为通过使用频率为数个100Hz至数个10kHz的矩形波进行切换而进入较强噪声的状态。如果操纵这些极小电压和电流的测试器靠近这些噪声设备，则噪声的影响是巨大的，并且不能充分利用本来的高精度测量功能。
此外，在工厂中，即使在电源传输中提供了保护接地，从接地点到实际负载的距离有时至少是10米。在此情况下，会担心地线电势由于外部噪声而不稳定。
在此情况下，来自上述产生噪声设备的具有相对低频的导电噪声在地线中被感生。即使为与测量装置一起使用的设备提供措施，测量装置的接地仍以由来自缺乏此措施的周围设备产生的噪声引起的共模方式振动。
结果，虽然降低测试器周围的装备而不仅仅是探测器的噪声水平很重要，但是降低接收噪声的测试器侧上对噪声的敏感度也很重要。
未审查的日本专利公开[Kokai]No.H11 -163,663示出了用于极小电流测量的测试器。未审查的日本专利申请[Kokai]No.H6 -53,297示出了晶片探测器。未审查的日本专利申请[Kokai]No.2001-296,547示出了面板探测器。
发明内容
本发明的目的是提供一种当测试器与诸如探测器之类的装置(其在如上所述易受噪声影响的环境中操纵和探测测量目标)一起使用时，用于减少噪声效应的测试系统和用于周边电源和接地的连接装置(即连接盒)。
本发明的发明人分析了上述问题，如下所述(分析1)当由于在工厂清洁室中电源的配电盘较远而来自测试器和探测器的每条地线在非常远的点处连接时，地线容易受由大量设备产生的噪声通过布线区域中电源线的电感干扰的影响。
(分析2)测试器和探测器形成经过壳体的空间较宽的回路，且感生由磁场引起的噪声。高频噪声电流因为两个接地端子具有互相不同的高频电势而在壳体之间倒流并成为影响精确测量的影响源。
(分析3)此外，当噪声频率带宽达到测量采样定时带宽时，即使对信号进行滤波处理，仍无法避免在测量上叠加噪声成分的影响。
(分析4)具体地，对于测试器从电势的角度，发明人构造了模型，其中经由壳体或外壳的倒流电流使整个探测器电振动并电容性地传播到用于将设备放置在其上的卡盘顶部，这引起测量噪声。
(分析5)因此，为防止电流倒流并最小化辐射的电磁能量，如果设计用于倒流的路径，则可以有效地应用用于减少噪声效应的措施。
基于以上分析，发明人提出了以下解决策略(策略1)将测试器和探测器的壳体接地的接地点设置为一个独立的基准点。传送到每个壳体的地线被短接，并在考虑最小化接地回路面积的同时设计配线，同时维持对地的较低阻抗使得接地点不受来自倒流噪声电流的电感噪声的影响。
(策略2)即使在从配电盘到测试器和探测器的距离较长的情况下地线受电感噪声的影响，也实现使其不影响上述基准点的设计。
(策略3)在保护接地设计中，对防止由绝缘的失效引起的电击和短路充分注意的情况下进行设计和检验。
基于以上策略，根据本发明的测试系统包括探测器；测试器，其与所述探测器一起移动并进行测量，并还设有第一地线用于将所述测试器的第一接地端子连接到所述探测器的第二接地端子；接地平面，其覆盖所述测试器的底表面和所述探测器的底表面，并通过第二地线连接到所述第一接地端子；和连接盒，其用于将电源分别供应到所述测试器和所述探测器。所述连接盒包括电源端子座(terminal block)，该电源端子座从配电盘接收第一电源并分支成用于所述测试器和所述探测器的第二和第三电源线。此外，所述连接盒包括接地端子座，该接地端子座从所述配电盘接收第三地线并通过第四地线连接到所述第一接地端子。
在本发明的测试系统中，所述连接盒具有第五地线，且所述接地端子座的第四地线与地连接。
此外，在本发明的测试系统中，所述连接盒具有第一和第二噪声切断变压器(noise cut transformer)。所述第一噪声切断变压器插入在所述第二电源线中。所述第二噪声切断变压器插入在所述第三电源线中。
此外，在本发明的测试系统中，所述连接盒具有电感器，来自所述配电盘的第三地线经过所述电感器并连接到所述接地端子座。
此外，在本发明的测试系统中，所述连接盒具有第一和第二漏电断路器(earth leakage circuit breaker)。所述第一漏电断路器插入在所述第二电源线中。所述第二漏电断路器插入在所述第三电源线中。
此外，在本发明的测试系统中，所述连接盒具有第一和第二漏电断路器。所述第一漏电断路器插入在所述第二电源线中所述电源端子座与所述第一噪声切断变压器之间。所述第二漏电断路器插入在所述第三电源线中所述电源端子座与所述第二噪声切断变压器之间。
根据本发明另一个实施例的测试系统包括探测器、与所述探测器一起移动并进行测量的测试器、以及用于将电源和地电势分别供应到所述测试器和所述探测器的连接盒。所述连接盒包括端子座，该端子座从配电盘接收第一电源线并分支成分别连接到所述测试器和所述探测器的第二和第三电源线。所述端子座从所述配电盘接收第一地线并连接到第二和第三连接线，该第二和第三连接线分别分支并连接到所述测试器和所述探测器；其中第一断路器插入在所述第二电源线中，且第二断路器插入在所述第三电源线中。
在根据本发明另一个实施例的测试系统中，上述实施例中的第一和第二断路器是塑壳断路器(molded-case circuit breaker)或漏电断路器。
根据本发明另一个实施例的测试系统包括探测器；和测试器，其与所述探测器一起移动并进行测量，并包括从配电盘接收第一地线的第一接地端子、连接在所述第一接地端子与所述探测器之间的第二地线、从所述配电盘接收第一电源线的第一电源端子、以及通过断路器连接到所述探测器的第二电源线。
在根据本发明另一个实施例的测试系统中，所述断路器是塑壳断路器或漏电断路器。
一种连接盒，用于将电源从配电盘供应到测试器和探测器。所述连接盒包括电源端子座，该电源端子座从所述配电盘接收第一电源线并分支成用于所述测试器和所述探测器的第二和第三电源线。此外，所述连接盒从所述配电盘接收第一地线并设有连接到所述测试器的第二地线。
此外，所述连接盒具有第三地线并将所述第二地线连接到地。
此外，所述连接盒具有第一和第二噪声切断变压器；其中所述第一噪声切断变压器插入在所述第二电源线中；且所述第二噪声切断变压器插入在所述第三电源线中。
此外，所述连接盒具有电感器，且第一地线从所述配电盘经过所述电感器连接到所述接地端子座。
此外，所述连接盒具有第一和第二漏电断路器，其中所述第一漏电断路器插入在所述第二电源线中，且所述第二漏电断路器插入在所述第三电源线中。
此外，在上述实施例中，本发明的连接盒具有第一和第二漏电断路器，其中所述第一漏电断路器插入在所述第二电源线中所述电源端子座与所述第一噪声切断变压器之间，且所述第二漏电断路器插入在所述第三电源线中所述电源端子座与所述第二噪声切断变压器之间。
此外，本发明的连接盒是一种连接盒，其用于将电源从配电盘供应到测试器和探测器并包括端子座，该端子座从所述配电盘接收第一电源线并分支成分别连接到所述测试器和所述探测器的第二和第三电源线。所述端子座从所述配电盘接收第一地线并连接到第二和第三连接线，该第二和第三连接线分别分支并连接到所述测试器和所述探测器。第一断路器插入在所述第二电源线中。第二断路器插入在所述第三电源线中。
此外，在本发明的连接盒中，上述实施例中的所述第一和第二断路器是塑壳断路器或漏电断路器。
如上所述，当与测试器一起使用诸如用于操纵和探测测量目标的探测器之类的装置并进行测量时，通过使用根据本发明的测试系统或连接盒，可以减少对测量的影响。结果，可以获得实现了高速、高精度或优异的可重复性中任一种或者所有这些优点的电测量和评测环境。
图1是用于解释本发明一个实施例的框图。
图2是用于解释本发明另一个实施例的框图。
图3是用于解释本发明另一个实施例的框图。
图4示出了根据传统技术的测试器和探测器从配电盘的连接。
具体实施例方式
图1示出了根据本发明的一个实施例。参考图1，测试系统100包括用于进行测量的测试器110、用于定位并探测测量目标的探测器112、以及用于将电源和稳定地电势供应到其的连接盒130。来自作为工厂装备的配电盘170的电源线172和地线174连接到容纳橡胶绝缘电缆的连接盒130。
测试头120通过电缆122连接到测试器110。测试头120连接到探测器112并从探测器接收测量信号。
从配电盘170通过电源线172供应到连接盒130的电源通过电源(PWR)端子座144分配到用于测试器(140)和用于探测(144)的两个系统的电源线，经过漏电断路器(ELCB)138和电缆(134和136)，连接到每个噪声切断变压器(NCT)132，并通过各条电源线(156和158)连接到测试器110和探测器112。ELCB 138是在检测到漏电时具有切断功能的断路器。噪声切断变压器132是这样的变压器，其尤其在切断共模噪声时非常有效并在防止主要在1MHz带宽中的共模噪声时优选地有效。在此说明书中，相同的标号表示具有相同功能的部件。虽然未示出，但是电源和地电势作为分离的工厂装备被供应到配电盘170。
地电势从配电盘170由地线174通过连接盒130中电感为L的电感器146而连接到接地(GND)端子座148。优选地，螺旋线圈用作电感器146并在10kHz至5MHz带宽上具有至少1mH的电感。螺旋线圈具有对直流电最小可能的电阻并优选地小于1Ω。卷绕有具有AWG #10或更粗的粗导线的电感器是优选的。因此，即使噪声从配电盘叠加在地线174上，由于对交流电的阻抗较高，所以噪声也难以流到测试器的接地侧。
满足日本工业标准(JIS)等级D接地(等同于先前的JIS等级3接地)或各个国家中的等同方法的外部独立接地的接地端子152由另一条地线152连接到接地端子座148中的地线147。优选地，地线150由附装到导线管的地线可靠地接地。因此，可以防止地电势的波动。
地线154通过接地端子座148连接到地线147，且地线154连接到测试器110的接地端子166。此外，接地端子166通过另一条地线164连接到探测器112的接地端子。从连接盒130到达测试器110或探测器112的电源线156和158以及地线154的长度优选地小于2米。此外，测试器110与探测器112之间的地线164的长度小于3米。
此外，接地平面160设置在覆盖测试器110和探测器112两者的底表面的底台表面上。例如，此接地平面160是诸如紧密电连接的一个或多个铝片金属板。当所安装的底台表面可导电时，接地平面160的背表面优选地是绝缘的。接地平面160通过另一接地线162连接到测试器110的接地端子166。
在此实施例中，连接到测试器壳体接地端子和探测器壳体接地端子的接地点独立而不与其他设备共享地设置在接地端子座148上，并在基准保护接地点166处形成相互的一点接地。在地电势之间几乎没有波动。
在此实施例中，负载侧(测试器和探测器侧)上来自接地端子座148的配线(150、154、162、164、147和174)尽可能地粗，至少等同于AWG#10，并优选地由低电感材料制成。从作为接地点的接地端子座148，每个壳体优选地由长度小于3m(其约为噪声带宽波长的1/100)的导线连接，且如果可能的话该长度小于1m至2m。
此外，将连接盒130连接到测试器110或探测器112的电源线(156和158)或地线(154、162和164)优选地由橡胶绝缘电缆构造。优选地，为防止感生噪声，导线被布置为距接地平面或壳体表面小于约5cm。通过还安装接地金属管或铝板制的接地平面(即所安装的隔离板160)并附装导线，可以大大提高效果。接地平面160进行与安装底台表面的状态对应的绝缘处理。
此外，测试器110和探测器112在测量目标附近靠近或连接到两个壳体(测试头120和探测器112)并形成接地回路。为防止接地回路的回路面积增大，两条地线都布置为附装到彼此并应该布置为以一条线的形式连接(地线154和164)。
当测试器110和探测器112与配电盘170隔开数米至数十米时，即使对于一个接地点，高频下的长地线174也具有阻抗，且通过来自其他电设备的感应，在接地阻抗部分中感生噪声成分。为抑制此噪声成分倒流到测试器侧，例如插入电感器146作为串联在地线174与地线147之间的阻抗阻止部件。
为使地电势稳定，通过的方式，由地线150使用导线管从接地端子152通过作为新的干净地电势的第三接地而将地线接入连接盒130中。因此，大量的外部环境噪声与地线150耦合并流到接地端子152。倒流到测试器侧的噪声的比例极低。因此，具有极小噪声效应的平稳地电势被供应到测试器110和探测器112。
当包括从配电盘170到连接盒130的电源线172和地线174在内的橡胶绝缘电缆特别长时，共模成分中的噪声主要叠加在电源线172上。测试器中所使用电源的共模阻抗优选地较高，使得噪声不经由电源线传播到测试器110。但是，常用的商用电源在每个电源线与接地之间插入电容器以降低电源的噪声来满足导电辐射标准，且共模阻抗不能高于此电容器的值。为在宽的带宽上降低噪声，优选地将噪声切断变压器插入AC电源单元的电源线140和142下游(靠负载一侧，即靠测试器和探测器一侧)。在图1的实施例中，两个噪声切断变压器132连接在连接盒130中。优选的噪声切断变压器132对主要在1MHz带宽中的共模噪声具有阻止效应。
虽然未示出，但是优选地，为了使噪声切断变压器正常地操作，两个噪声切断变压器132的初级侧护罩(在配电盘侧上的护罩)连接到电感器146上游的地线174。次级侧护罩(在测试器110或探测器112侧上的护罩)连接到地线154。
此外，在连接盒130中为测试器110和探测器112分别安装漏电断路器138。其原因在于存在这样的需要，当如果没有漏电断路器138而由于测试器110或探测器112的不充分绝缘导致漏电电流在地线中流动时，需要处理电感器146中测试器110和探测器112的总额定电流的漏电电流的流动。为处理短路这样的罕见事件，必须设置更大更重且不经济的电感器以承受大电流。通过设置漏电断路器138，电感器146可以对稳定时从约3mA至100mA的漏电电流具有足够的容限。阻抗阻止部件的额定值可以低至一般目的的使用和实际使用的水平(例如最大约10A)。因此，可以获得这些部件并同时满足经济考虑。
取决于叠加噪声的程度，此实施例可以去除以下部件的任一个或数个电感器146、地线150、噪声切断变压器132和漏电断路器138。
参考图2，解释本发明的另一个实施例。图2中的测试系统200主要包括用于进行测量的测试器210、用于定位和探测测量目标的探测器112以及用于将电源和稳定的地电势供应到其的连接盒230。电源线250和地线252从作为工厂装备的配电盘170连接到连接盒230。与图1具有相同标号的部件是与图1中的部件功能上相同的物体。
测试器210通过电缆122和测试头120由探测器112进行测量的构造以及配电盘170的功能与图1中的相同。
从配电盘170通过电源线250供应到连接盒230的电源通过端子座238分配到用于测试器(234)和探测器(236)的两个系统的电源线，并分别通过断路器(CB)232和电源电缆(240和246)连接到测试器210和探测器112。塑壳断路器(MCCB)或漏电断路器(ELCB)可以用作断路器232。
从配电盘170通过地线252供应到端子座238的地电势通过端子座238分配，并分别通过地线242和244连接到测试器210和探测器112。
从连接盒230到测试器210或探测器112的地线长度优选地是2米或更短。
与图1的实施例相比，当较低的噪声水平叠加在电源线250和地线252上时优选地应用此实施例。连接盒230的结构被简化。去掉了接地平面。并且地线到测试器210和探测器112的连接被改变。
参考图3，解释了根据本发明的另一个实施例。图3中的测试系统300主要包括用于进行测量的测试器310以及用于定位和探测测量目标的探测器112。电源线320和地线322从作为工厂装备的配电盘170连接到测试器310。与图1具有相同标号的部件是与图1中的部件功能上相同的物体。测试器310通过电缆122和测试头120由探测器112进行测试的构造以及配电盘170的功能与图1中的相同。
从配电盘170通过电源线320连接到测试器310电源端子324的电源，从电源端子324通过断路器(CB)由另一电源线314和另一电源线316连接到探测器112。
从配电盘170通过地线322连接到测试器310接地端子326的地电势，从接地端子326通过另一地线318连接到探测器112。塑壳断路器(MCCB)或漏电断路器(ELCB)可以用作断路器312。地线318的长度优选地小于3米。
电源和地电势作为分离的工厂装备供应到如同图1的配电盘170。
此实施例可以将测试器310的电源端子324和接地端子326中的两条电缆联系在一起，总是允许用一条线连接，并适于与图2中的实施例具有相同水平的噪声叠加在电源线320和地线322上的情况。认为这可以省去连接盒，改变测试器310和探测器112的电源线和地线的连接，并通过以单线连接来减小接地回路的回路面积。通过设置断路器312，可以采用具有合适规格的导线材料，即容易获取并经济的材料来用于电源线316。还提供了省去断路器312的另一个实施例。
以上作为示例解释了具有测试器和探测器的本发明实施例。以IC测试器、半导体参数测试器和FPD阵列测试器为主的测试器被包括作为这样的测试器。以晶片探测器和面板探测器为主的用于定位和探测测量目标的各种设备被包括作为探测器。从储存容器获取半导体或显示面板的未成品产品并结合在测试器中的各种装载器可以用于代替探测器。此外，当用于操纵测量目标的其他装置与测试器结合并使用时，也可以应用本发明。未示出各种实施例，且本领域技术人员可以实施并容易地理解在本发明权利要求范围内的各种修改。
权利要求
1.一种测试系统，包括探测器；测试器，其与所述探测器一起移动并进行测量，其中所述测试器设有第一地线用于将所述测试器的第一接地端子连接到所述探测器的第二接地端子；接地平面，其覆盖所述测试器的底表面和所述探测器的底表面，并通过第二地线连接到所述第一接地端子；和连接盒，其用于将电源供应到所述测试器和所述探测器中的每个，其中所述连接盒包括电源端子座，所述电源端子座从配电盘接收第一电源线并分支成用于所述测试器和所述探测器的第二电源线和第三电源线，且所述连接盒包括接地端子座，所述接地端子座从所述配电盘接收第三地线并通过第四地线连接到所述第一接地端子。
2.如权利要求1所述的测试系统，其中所述连接盒具有第五地线，且所述接地端子座的所述第四地线通过所述第五地线与地连接。
3.如权利要求1所述的测试系统，其中所述连接盒具有第一噪声切断变压器和第二噪声切断变压器；所述第一噪声切断变压器插入在所述第二电源线中；且所述第二噪声切断变压器插入在所述第三电源线中。
4.如权利要求1所述的测试系统，其中所述连接盒具有电感器；且来自所述配电盘的第三地线经过所述电感器并连接到所述接地端子座。
5.如权利要求1所述的测试系统，其中所述连接盒具有第一漏电断路器和第二漏电断路器；所述第一漏电断路器插入在所述第二电源线中；且所述第二漏电断路器插入在所述第三电源线中。
6.如权利要求3所述的测试系统，其中所述连接盒具有第一漏电断路器和第二漏电断路器；所述第一漏电断路器插入在所述第二电源线中所述电源端子座与所述第一噪声切断变压器之间；且所述第二漏电断路器插入在所述第三电源线中所述电源端子座与所述第二噪声切断变压器之间。
7.一种测试系统，包括探测器；测试器，其与所述探测器一起移动并进行测量；和连接盒，其用于将电源和地电势分别供应到所述测试器和所述探测器，其中所述连接盒包括端子座，所述端子座从配电盘接收第一电源线并分支成分别连接到所述测试器和所述探测器的第二电源线和第三电源线；所述端子座从所述配电盘接收第一地线并连接到第二连接线和第三连接线，所述第二连接线和第三连接线分别分支并连接到所述测试器和所述探测器；第一断路器插入在所述第二电源线中；且第二断路器插入在所述第三电源线中。
8.如权利要求7所述的测试系统，其中所述第一断路器和第二断路器是塑壳断路器或漏电断路器。
9.一种测试系统，包括探测器；和测试器，其与所述探测器一起移动并进行测量，其中所述测试器设有第一接地端子，并通过所述第一接地端子接收来自配电盘的第一地线，且第二地线连接在所述第一接地端子与所述探测器之间；所述测试器设有第一电源端子，并通过所述第一电源端子接收来自所述配电盘的第一电源线；并且第二电源线通过断路器连接在所述第一电源端子与所述探测器之间。
10.如权利要求9所述的测试系统，其中所述断路器是塑壳断路器或漏电断路器。
11.一种连接盒，用于将电源从配电盘供应到测试器和探测器，其中所述连接盒设有电源端子座，所述电源端子座从所述配电盘接收第一电源线并分支成用于所述测试器和所述探测器的第二电源线和第三电源线；且所述连接盒包括第二地线，所述第二地线从所述配电盘接收第一地线并连接到所述测试器。
12.如权利要求11所述的连接盒，其中所述连接盒具有第三地线并将所述第二地线连接到地。
13.如权利要求11所述的连接盒，其中所述连接盒具有第一噪声切断变压器和第二噪声切断变压器；所述第一噪声切断变压器插入在所述第二电源线中；且所述第二噪声切断变压器插入在所述第三电源线中。
14.如权利要求11所述的连接盒，其中所述连接盒具有电感器；且来自所述配电盘的第一地线经过所述电感器并连接到所述接地端子座。
15.如权利要求11所述的连接盒，其中所述连接盒具有第一漏电断路器和第二漏电断路器；所述第一漏电断路器插入在所述第二电源线中；且所述第二漏电断路器插入在所述第三电源线中。
16.如权利要求13所述的连接盒，其中所述连接盒具有第一漏电断路器和第二漏电断路器；所述第一漏电断路器插入在所述第二电源线中所述电源端子座与所述第一噪声切断变压器之间；且所述第二漏电断路器插入在所述第三电源线中所述电源端子座与所述第二噪声切断变压器之间。
17.一种连接盒，用于将电源从配电盘供应到测试器和探测器，其中所述连接盒包括端子座，所述端子座从所述配电盘接收第一电源线并分支成分别连接到所述测试器和所述探测器的第二电源线和第三电源线；且所述端子座从所述配电盘接收第一地线并连接到第二连接线和第三连接线，所述第二连接线和第三连接线分别分支并连接到所述测试器和所述探测器；第一断路器插入在所述第二电源线中；且第二断路器插入在所述第三电源线中。
18.如权利要求17所述的连接盒，其中所述第一断路器和第二断路器是塑壳断路器或漏电断路器。
全文摘要
本发明公开了一种测试系统和用于其的连接盒。测试系统包括第一地线，用于将测试器的第一接地端子连接到探测器的第二接地端子接地平面，覆盖测试器的底表面和探测器的底表面并通过第二地线连接到第一接地端子；以及包括电源端子座和接地端子座的连接盒，电源端子座每次将电源供应到测试器和探测器、从配电盘接收第一电源线并分支成用于测试器和探测器的第二和第三地线，且接地端子座从配电盘接收第三地线并通过第四地线连接到第一接地端子。
文档编号G01R31/00GK1834664SQ20061005739
公开日2006年9月20日 申请日期2006年3月14日 优先权日2005年3月15日
发明者岸田明人 申请人:安捷伦科技有限公司