专利名称：片上系统流水线测试仪和方法
技术领域：
本发明涉及用于通过施加和测量电信号来测试电子电路的设备、系统和方法领域，更具体而言，涉及用于片上系统(SOC)或其他集成电路的流水线测试的组件、设备、系统和方法。
背景技术：
为了确保合适的功能和可靠性，制造商一般在把SOC集成电路(IC)向消费者出货之前测试SOC IC。一种常用于测试SOC IC的系统是支持并发测试的Agilent 93000 SOC测试仪。Agilent 93000 SOC测试仪的多个部分在授予Hirschmann的题为“Measuring and/or calibrating a Test Head”的美国专利No.6,756,778、授予Botka等人的题为“Blind Mate Connector foran Electronic Circuit Tester”的美国专利No.5,558,541，和授予Veteran等人的题为“Docking System for an Electronic Circuit Tester”的美国专利No.5,552,701中有所描述。
如图1和2所示，Agilent 93000测试仪100包括具有DUT(被测器件)接口120的测试头110、用于定位测试头110的操纵器130、插入下方DUT接口120的DUT板150、用于向测试头110提供电功率、冷却水和压缩空气(未在图中示出)的支撑架140，以及充当到测试仪100的用户接口的计算机工作站(未在图中示出)。
测试头110包括测试仪电子电路和附加模拟模块。过去，测试头110曾被配置具有512个引脚或1024个引脚。512个引脚的测试头支持4个卡笼(card cage)，而1024个引脚的测试头支持8个卡笼。每个卡笼可以分别包含8个数字板或8个模拟模块。单个板具有16个引脚，使得每个笼具有128个引脚。因此，4卡笼测试头包含512个引脚，而8卡笼测试头包含1024个引脚。DUT被安装在DUT板150上，DUT板150通过DUT接口120连接到I/O通道。DUT接口120由高性能同轴电缆和建立与DUT板120的电连接的弹簧接触引脚(弹簧引脚)组成。
DUT接口120提供到搬运器(handler)和晶片探针的坞接(docking)能力。坞接机构由压缩空气(未在图中示出)控制，并且在需要时也可以被手工操作。测试头110是水冷却的，并且从支撑架140接收其冷却水供应，支撑架140又通过两个柔性软管连接到冷却单元(未在图中示出)。
通用操纵器130支撑和定位测试头110。操纵器130提供6度灵活度，用于测试头110和搬运器或晶片探针之间的精确和可重复的连接。支撑架140附接到操纵器130，并充当测试头110与AC电源、冷却水和压缩空气之间的接口。测试仪100还可以包括诸如用于安装额外的模拟仪器的模拟支撑架等额外的支撑架。
HP-UX工作站(未在图中示出)可以充当用户和测试仪100之间的接口。目前，Agilent 93000 SOC Series SmarTest软件在HP-UX操作系统之下的HP-UX工作站上运行，但是当然也可以使用诸如Linux等其他适当的操作系统或其他工作站。SmarTest允许设置和测试数据被下载到测试系统，还允许编辑这些信息。所有测试都在测试系统中执行。工作站读回这些结果并显示在监视器上。在测试程序执行期间，通常不需要上载和下载，因为一旦测试程序已经开始运行，测试处理器的动作就独立于工作站。
在工作站上，可以运行诊断程序来周期性地检查系统或识别问题源。测试仪100的配置涉及向测试头的特定通道指派数字通道板、电源和模拟仪器，以及提供测试头外部的相关联的大型机组件(例如备用主时钟(AMC))。
测试头电子组件向各种DUT供电和执行测量。一些测试头功能和主要元件如下●电源电压的DC/DC转换和分配●经由光纤线缆接口到工作站●经由数据总线、地址总线和控制总线的内部通信
●通信时钟生成和分配●主时钟生成和分配●高精度参数测量单元(HPPMU)●接口到外部时钟●向DUT供电●进行通道测量测试仪100中的这些灵活度允许将引脚空闲分组(on-the-flygrouping)为用于测试目标IP块的虚拟端口。因此，该平台能够并发地测试多个块。一旦测试已完成，测试仪引脚就可以立即被重配置和组装成新的端口配置以进行完全不同的一组测试。
测试仪100的体系结构对具有不同时序和数字数据速率的潜在多个端口的并发测试提供支持。测试仪100的每引脚测试处理器的体系结构允许它充当可扩缩平台。测试仪100支持包括RF、模拟、数字和混合信号的测试技术，其中每种都完全能够被并发地使用。
图2示出了DUT 160在封装后部件DUT板150上的放置，以及DUT板150在测试头110上的定位。
制造集成电路或芯片的最昂贵的成分之一是“测试成本”。因此，提高测试仪100的吞吐量变为降低成本的关键。但是，以经济的方式提高吞吐量说来容易作来难。迄今为止，用于高效地和经济地利用测试仪100的资源的主要方法是(a)并行测试；(b)并发测试和(c)条式测试(strip test)。
并行测试方法允许多个DUT一般在4个不同测试点(site)上被同时测试。并行测试技术的最大问题是必须有足够的资源可用以同时操作所有测试点，并且在测试期间的任意给定时刻，大多数资源都没有被积极利用。因此，测试芯片的时间是运行整个测试计划所需的时间量。得到了“测试点数×完整测试计划时间”的性能提高。
并发测试方法允许同时在DUT上执行几个测试。DUT适合于并发测试方法，但是，通常必须在注意并发测试的情况下被设计。与并行测试相比，并发测试通常能更好地利用资源，并且可以得到显著缩短的测试时间。并发测试方法存在几个缺点不是所有的测试都可以被并发地运行；并发测试需要更大的在设备方面的前期投入，以便设计适于并发测试的DUT；很多芯片原理图一般不适于“用于并发测试的设计”；以及“用于并发测试的设计”可能导致低于最优的芯片设计。
条式测试方法不涉及以某种高级方式使用测试仪资源，而是通过缩短索引搬运器(index handler)时间来更高效地使用搬运器。搬运器在安装于一条上的DUT之间移动的距离是最小的，而在条与条之间，搬运器索引时间保持恒定。在条式测试中，需要一些DUT的预处理和后搬运器处理。条式测试方法需要必须在测试已完成后进行的DUT装箱。很多信息必须也被处理，以合适地装箱测试后的DUT。
总之，对当前测试选项的回顾表明并行测试方法能够以高达大约4倍于传统方法的速率测试DUT，但是需要非常复杂的系统；条式测试方法仅仅缩短了搬运器索引时间；而并发测试方法隐藏了设计成本和其他折衷。
需要一种以低成本进行更快的测试的测试SOC的改进方法，该改进方法可以与旧的测试仪、其他设备和方法组合起来工作。
发明内容
在本发明的第一方面中，提供了一种片上系统流水线测试仪，包括多个测试台，每个台被配置为对片上系统进行一个或多个测试；多个测试固定装置，每个测试固定装置对应于预定的测试台，并且能够通过电气和机械方式附接到所述预定的测试台；多个测试床，每个测试床被配置为接收至少一个DUT，每个测试床对应于预定的测试固定装置，并且能够通过电气和机械方式附接到所述预定的测试固定装置；其中所述测试仪被配置为对被装载到所述测试床中的多个DUT进行流水线测试。
在本发明的第二方面中，提供了一种用于与片上系统流水线测试仪结合起来使用的流水线测试模块，所述模块包括承载板；至少一个附接到所述承载板的承载板导轨；多个测试固定装置，每个测试固定装置被附接到所述承载板；多个测试床，每个测试床被配置为在其中接收至少一个DUT，并且还被配置为通过机械和电气方式啮合所述测试固定装置，其中所述模块被配置为啮合测试仪中的多个相应测试台。
在本发明的第三方面中，提供了一种使用片上系统流水线测试仪来对多个DUT进行流水线测试的方法，该方法包括将第一DUT装载到第一测试床中；将所述第一测试床装载到测试仪中；将所述第一测试床移动到第一测试台；在所述第一测试台处对所述第一DUT执行第一电气或电子测试；将所述第一测试床移动到第二测试台；将第二DUT装载到第二测试床中；将所述第二测试床移动到所述第一测试台；在所述第一测试台处对所述第二DUT执行所述第一电气或电子测试；以及在所述第二测试台处对所述第一DUT执行第二电气或电子测试。
参考附图阅读下面对本发明优选实施例的详细描述之后，将更清楚本发明的前述和其他方面，在附图中，相似的标号指示相似的部分图1示出了现有技术Agilent 93000 SOC测试仪；图2示出了现有技术DUT和到Agilent 93000 SOC测试仪的测试头的DUT板连接的示意性横截面；图3示出了本发明的流水线测试仪的一部分的一个实施例的示意性横截面图；图4示出了本发明的测试床220的一个实施例的俯视图；图5示出了本发明的测试床220的一个实施例的侧视图；图6示出了本发明的测试床220的一个实施例的另一侧视图；图7示出了具有4个测试床和其中承载的相应DUT的本发明的流水线测试模块290的一部分的俯视图，以及图8示出了具有5个测试床和其中承载的相应DUT的本发明的流水线测试模块290的一部分的俯视图。
具体实施例方式
术语“电气和/或电子测试”意味着由诸如上述Agilent 93000 Tester(仅作为示例)等机器执行的电气和/或电子测试。
遵从本发明教导的流水线测试可以被比作用于测试SOC或DUT的装配线。用于测试给定的DUT的完整计划优选地被划分成逻辑部分。于是，每个逻辑部分都在连接到承载板的独立测试台上执行。测试台被放置在承载板上或被线性连接到承载板，从而简单的行搬运器可以将测试床中承载的DUT从一个测试台传递到另一个。在本发明的优选实施例中，所有测试台都被配置为在它们的DUT上执行它们的个体测试，除了可能发生也可能不发生测试的指定的装载和卸载台以外。所有测试台都在同一时间(并发地)进行测试。依赖于该台处的DUT的先前通过/失败状态，一些台可能不执行它们那一组的测试。
使用这样的方法，测试间隔不再受限于DUT测试的整体时间加上搬运器索引时间，而是受限于最长或最慢测试段的平均时间(加上行搬运器索引时间)。这种段的时间长度将总是小于总测试计划的时间。额外的搬运器时间将总是小于传统搬运器所需的时间。因此，本发明的流水线测试方法和设备得到了更快的测试时间。
本发明的测试仪100的各种实施例包含1和n之间的测试台和l和n之间的相应固定装置，下面将进行详细叙述。在本发明的优选实施例中，每个测试台执行要在每个DUT或SOC上进行的一系列测试中的一个测试，但是应当理解，单个测试台可以被配置为在SOC或DUT上进行多于一个测试。
本发明的测试床220包括DUT160或SOC160，并提供每个DUT160和下方固定装置210之间的电气和机械接口，下方固定装置210又通过电气和机械方式连接到测试仪100的相应测试台190。在每个测试床220从一个测试台190或固定装置210移动到另一个时，测试床220维持对它相应的DUT160提供电功率和其他信号。每个固定装置210啮合相应的测试床220，并将下方测试台190接口到测试床220和相应的DUT160。弹簧承载的球形电气触点或焊盘被优选地部署在每个测试台顶部，以建立与上方固定装置210的电气接触。
一个或多个搬运器230将DUT160放置在测试床220中，将测试床和DUT160装载于装载台240处，当在每个测试台190处完成一个或多个测试时在流水线测试模块290中移动测试床220和DUT160，在卸载台250处从流水线测试模块290卸载测试床220和DUT160，从测试床220移走DUT160并依赖于测试结果将DUT160分类和放置在输出箱中。
在本发明的优选实施例中，每个测试床220主要是容纳至少一个DUT的小适配器。理论上，每个DUT在测试前被预载入各个测试床220，测试床被装载到流水线测试模块290中。测试床220的主要功能是提供下方固定装置210和DUT160之间的电气接口。此外，不与下方测试台190相关联的信号可以经由测试床220被施加到DUT160，从而允许在测试床220在测试台之间移动时，一些功率和PLL信号被提供给DUT160。
每个测试床220还优选地被配置为在测试期间保持与每个DUT160的状态，提供一个或多个电气接触点，并与承载板搬运器230组合起来提供恒定的电气连接。各个测试连接由相应的测试台190提供。测试床220还防止DUT连接器上的磨损，并且可以依赖于当前特定需要被任意使用或再次使用。
承载板搬运器230(未在图中示出)将测试床220和相应的DUT160从一个测试台190移动到另一个。搬运器230必须跟踪每个DUT的位置，并且能够根据来自控制器或计算机的请求而将其相应的测试床220传递到任意测试台190。在本发明的优选实施例中，搬运器230能够同时搬运多个测试床220和DUT160，能够将测试床220和DUT160从一个测试台190改换到另一个，能够向每个DUT160提供连续的功率和其他电气信号，以及在流水线测试模块290内搬运测试床(而非DUT)。
图3示出了本发明的流水线测试模块290的一个实施例的示意性横截面图。(注意，未示出搬运器230。)如图3所示，测试头110包括测试台190a到190h。本发明的各个实施例可以包含1和n之间的测试台和1和n之间的相应固定装置。每个台执行测试的一部分。
DUT接口120位于测试台190a到190h之上。流水线测试模块290包括承载板200、承载板导轨202a和202b、固定装置210a到210h，以及测试床220a到220h。测试头110被分为独立的测试台，每个测试台被配置和/或编程为对电连接到该测试台并定位于它正上方的DUT进行预定的一个或一系列测试。例如，如图3所示，DUT160a在台190a处被测试，并且通过承载板200、固定装置210a和测试床220a被电连接到台190a。
承载板200形成流水线测试模块290的一部分，并且优选地被定制用于特定用户应用和要在其上进行测试的特定SOC或DUT。承载板200一般是非常特定于应用的，因此这种特定DUT或SOC一般需要特别的一组测试台能力(RF、模拟、数字、或混合)。承载板200允许并行测试所有测试台190，还建立到下方测试台190的机械和电气连接。在本发明的优选实施例中，在承载板200中提供了一个或多个电气引线，以允许测试上方固定装置、测试床和DUT电气触点。
固定装置210a到210h的下表面214a到214h优选地被通过机械和电气方式附接到承载板200，并通过其传递源自于DUT160a到160h和/或测试台190a到190h的电气信号。球形或其他适当类型的电气触点222a到222h被部署在固定装置214a到214h的上表面上，并且优选地被配置为啮合部署在测试床220a到220h的下方上的相应的电气接触焊盘226a到226h(未在图中示出)。
通过一个或多个承载板搬运器(未在图中示出)沿承载板200顺序移动测试床220a到220h。固定装置214h充当被装载到测试头110中的测试床220a到220h和相应的DUT160a到160h(以及其他前面或后面的测试床和相应的DUT)的装载点，而固定装置214a充当相同的和其他的测试床和DUT的卸载点。在测试台190a到190h中的每一个处，对位于其上的测试床和DUT进行一个或多个预定类型(例如RF、数字、模拟、混合等)的测试。在本发明的优选实施例中，每个测试台190包括执行一个或多个特定测试所必需的所有硬件，并且每个测试台处的硬件可以与其他测试台的硬件互换。
当已经完成在测试台190a到190h处进行的给定的一系列测试时，测试床220a到220h被沿着承载板导轨202a和202b移动到下一台，在202a和202b之间插入新的板，以便与测试台190h啮合，并且测试床220被从测试台190a移走，以便为测试床220b腾出地方。在每个测试周期都已完成之后，搬运器230将测试床220和DUT160移动到下一测试台。
一个或多个搬运器230被配置为将测试床和DUT装载到测试头110和从测试头110卸载，以及在测试台190a到190h上准确地移动和对准各个测试床的位置，从而各个DUT的测试可以有效且高效地进行。一个或多个承载板搬运器230将DUT馈送到承载板200上和将其从承载板200移走。被一个或多个搬运器230从承载板200移走的DUT一般被分类到适当的指示每个DUT测试结果(例如所有测试通过、某些测试通过、无测试通过，等等)的输出箱中。
在本发明的一个实施例中，一个或多个搬运器230被定制为允许在一个或多个DUT被装载到流水线测试模块290上并且一个或多个DUT被从测试模块290上移走的同时，同时测试多个DUT。在本发明的优选实施例中，一个或多个搬运器230还被配置为在被装载到承载板200上的各个DUT被从一个测试台移动到另一的同时，向这些DUT提供锁相环(PLL)信号、地(GRND)、电源电压(Vcc)和/或其他信号或电压，从而在这些DUT脱离与测试台的啮合并且不与其电接触时维持对DUT提供这些信号和电压。
承载搬运器230可以是几种类型中的任意一种，例如行搬运器或2005年10月7日提交的Kolman的题为“Carousel Device，System and Methodfor Electronic Circuit Tester”的美国专利申请No.11/246,487中描述的那种传送带(carousel)搬运器，该申请的全部内容通过引用被包含于此。理论上，承载搬运器230可与承载板200分离，但是也可以附到承载板200。
可以适用于本发明的可购得的搬运器的一些示例包括但不限于各种SEIKO EPSON搬运器、DELTAFLEX1210搬运器、DAYMARC搬运器、各种TOSHIBA搬运器、各种TESEC搬运器和各种AETRIUM搬运器(包括当前结合Agilent 84000存储器芯片测试仪一起使用的AETRIUM 5050搬运器)。注意，前述搬运器中的任何一个都必须被定制以便在本发明中使用。
图4示出了本发明的测试床220的一个实施例的俯视图。电气触点232被提供在测试床220的上表面216上，这些触点被配置为通过机械和电气方式啮合在一个或多个搬运器230的部分上部署的相应的电气触点或焊盘，从而允许当测试床220在测试台之间移动的同时，所需的信号或电压被连续地提供给被装载到测试床220中的DUT160。
图5示出了图4所示的测试床220的侧视图。如图5所示，测试床220还包括其中装载有DUT160的凹槽212以及用于啮合DUT160中的相应触点164的电气触点162。测试床的下表面214包含被配置为啮合部署在固定装置214a到214h的上表面上的相应的适当电气触点222a到222h的电气触点226a到226h(未在图中示出)。
图6示出了图4和5所示的本发明的测试床220的一个实施例的另一侧视图。图6示出了用于啮合一个或多个搬运器230中的相应的电气触点的电气触点232以及凹槽212、上表面216和下表面214。
图7和8示出了本发明的流水线测试模块290的一部分的两个不同的俯视图。在图7中，4个测试床和相应的DUT被装载到流水线测试模块290中。一旦已经完成对DUT160a到160d的测试，搬运器230(未在图中示出)就啮合测试床220a到220h的触点232，并将这些测试床向前移动到与下一测试台对准，并且还将包含DUT160e的测试床220e装载到承载台240中(见图8)。将测试床装载到流水线测试模块290中和对装载到测试床中的DUT进行测试的过程继续，直到流水线测试模块290已经被测试床占满，此时搬运器230开始不仅在装载台240处将测试床装载到流水线测试模块290中，而且还在卸载台250处将测试床从流水线测试模块290卸载。
注意，在本发明中测试DUT或SOC之前，优选地，在封装操作期间，每个测试床被附接到其相应的DUT或SOC，这是优选的，因为在这个阶段，光学测试可以在封装被验证的同时验证电气连接。
仍参考图7和8，在本发明的优选测试方法中采用了至少下面一些步骤。首先，一个或多个搬运器230和承载板200被准备和附接到流水线测试模块290。搬运器230拾取具有DUT160a的测试床220a，并将其放入模块290的装载台240。在台190a处测试DUT160a。在完成该测试后，承载板搬运器230将DUT160a移动到下一测试台190b，而另一测试床220b和相应的DUT160b被装载到模块290中。该过程继续，并且在所有“已装载”的测试台处执行测试。“测试间隔”是完成所有测试台处的所有测试所需的总时间量。
在本发明的优选实施例中，所有测试是并行执行的，并且每个测试台190的状态或正在每个测试台190处进行的测试被测试仪100记录。当连接到承载板200的所有测试台都已结束执行它们的测试时，测试间隔完成。当给定的DUT160和相应的测试床220准备好被卸载时，它们在卸载台250处被卸载。当DUT160已经在用于该DUT的所有“所需”测试台190处被测试时，DUT160和相应的测试床220到达卸载台250。依赖于测试台190的特定布局和所采用的承载板搬运器230的能力，一个或多个测试的失败可能导致DUT在到达卸载台250之前被卸载。
下面列举的示例1和2表明本发明的流水线测试方法可以显著节省成本和时间。
示例1使用串行测试、单测试点方法的测试的现有技术成本系统成本1百万搬运器成本300K每个DUT的假设测试时间3秒假设对于20-30个测试，最长测试运行200ms搬运器索引时间1秒1小时中可测试的DUT数量(单测试点)(理想的)＝＞900单位/小时或者，测试的简单成本＝＞692单位/小时/(百万$)示例2使用本发明的流水线测试方法的测试成本系统成本1百万对于资源，假设20个台，每个台50k搬运器成本1百万触点基础(Contactor Base)的成本每个DUT(2-5)分每个测试的时间
-假设200ms是最慢测试的时间-假设20个测试-假设行搬运器索引.2秒-第一个DUT花费约4.5秒用于测试-每个后续的DUT花费.4秒＝＞每个DUT.4秒(对于典型批次而言)1小时中可测试的DUT数量(单测试点)(理想的)＝＞8990单位/小时或者，测试的简单成本＝＞4495单位/小时/(百万$)现在很明显，虽然这里描述和公开了流水线测试模块290、测试床220、固定装置210、承载板200和搬运器230的特定实施例，但是在不脱离本发明的精神和范围的情况下可以构思或实现本发明的很多变形和替换实施例。因此应当理解，本发明的范围不限于这里公开的特定实施例，而是将通过所附权利要求及其等同物确定。因此，可以在不脱离所附权利要求所定义的本发明的精神和范围的情况下，对这里公开的本发明的特定实施例进行改变和修改。
权利要求
1.一种片上系统流水线测试仪，包括(a)多个测试台，每个台被配置为对片上系统进行一个或多个测试；(b)多个测试固定装置，每个测试固定装置对应于预定的测试台，并且能够通过电气和机械方式附接到所述预定的测试台；(c)多个测试床，每个测试床被配置为接收至少一个被测器件，每个测试床对应于预定的测试固定装置，并且能够通过电气和机械方式附接到所述预定的测试固定装置；其中所述测试仪被配置为对被装载到所述测试床中的多个被测器件进行流水线测试。
2.如权利要求1所述的系统，其中每个测试床被配置为在所述测试床从一个测试台移动到另一个的同时维持对其相应的被测器件提供电功率和其他信号。
3.如权利要求2所述的系统，其中电气触点或焊盘被部署在每个测试台之上，以便建立与相应的上方测试固定装置的电气接触。
4.如权利要求1所述的系统，还包括一个或多个被配置为将被测器件放置在所述多个测试床中的搬运器(230)。
5.如权利要求4所述的系统，其中所述一个或多个承载搬运器被配置为将所述多个测试床装载到所述测试仪中。
6.如权利要求5所述的系统，其中所述一个或多个承载搬运器被配置为从所述测试仪卸载所述多个测试床。
7.如权利要求6所述的系统，其中所述一个或多个承载搬运器被配置为依赖于测试结果将被测器件分类并放置在输出箱中。
8.如权利要求1所述的系统，还包括一个或多个承载搬运器，其被配置为在测试床从一个测试台被移动到另一个测试台的同时，向所述测试床提供锁相环(PLL)信号、地(GRND)、电源电压(Vcc)和/或其他信号或电压，从而在所述测试床脱离与测试台的啮合并且不与测试台有电气接触时维持向被装载到所述测试床中的被测器件提供所述信号和电压。
9.如权利要求1所述的系统，其中每个测试床被配置为在测试期间保持与其相应的被测器件的状态。
10.如权利要求1所述的系统，其中每个测试床包括一个或多个被配置为啮合一个或多个承载板搬运器上的相应的电气触点或连接器的电气触点。
11.如权利要求1所述的系统，其中所述多个测试床中的一个或多个是可任意使用的。
12.如权利要求1所述的系统，其中所述多个测试床中的一个或多个是可重复使用的。
13.如权利要求1所述的系统，还包括被配置为当每个被测器件移动通过所述流水线测试仪时跟踪所述被测器件的位置的计算机和控制器中的至少一个。
14.如权利要求1所述的系统，还包括被配置为与一个或多个搬运器组合起来将测试床传递到选定的测试台的计算机和控制器中的至少一个。
15.如权利要求1所述的系统，还包括被配置为与一个或多个搬运器组合起来将选定的测试床从一个测试台改换到另一个的计算机和控制器中的至少一个。
16.如权利要求1所述的系统，其中每个测试台被配置或编程为对电连接到所述测试台并位于所述测试台上方的被测器件进行预定的一个测试或一系列测试。
17.如权利要求1所述的系统，还包括承载板。
18.如权利要求1所述的系统，还包括一个或多个从由行搬运器和传送带搬运器组成的组中选出的承载搬运器。
19.如权利要求1所述的系统，还包括承载板和一个或多个承载搬运器，所述一个或多个承载板搬运器附到所述承载板。
20.如权利要求1所述的系统，还包括承载板和一个或多个承载搬运器，所述一个或多个承载板搬运器能够附接到所述承载板和与所述承载板分离。
21.如权利要求1所述的系统，其中所述测试仪被配置为在一个或多个测试台上并行地进行电气或电子测试。
22.一种用于与片上系统流水线测试仪结合起来使用的流水线测试模块，所述模块包括(a)承载板；(b)至少一个附接到所述承载板的承载板导轨；(c)多个测试固定装置，每个测试固定装置被附接到所述承载板；(e)多个测试床，每个测试床被配置为在其中接收至少一个被测器件，并且还被配置为通过机械和电气方式啮合所述测试固定装置；其中所述模块被配置为啮合测试仪中的多个相应测试台。
23.如权利要求22所述的流水线测试模块，其中所述承载板针对特定应用被定制。
24.如权利要求22所述的流水线测试模块，其中所述承载板被配置为允许对被装载到其测试床中的至少一个被测器件进行射频测试、模拟测试、数字测试和混合测试至少一个。
25.一种使用片上系统流水线测试仪来对多个被测器件进行流水线测试的方法，该测试仪包括多个测试台，每个台被配置为对片上系统进行一个或多个测试；多个测试固定装置，每个测试固定装置对应于预定的测试台，并且能够通过电气和机械方式附接到所述预定的测试台；多个测试床，每个测试床被配置为接收至少一个被测器件，每个测试床对应于预定的测试固定装置，并且能够通过电气和机械方式附接到所述预定的测试固定装置；所述测试仪被配置为对被装载到所述测试床中的多个被测器件进行流水线测试，所述方法包括(a)将第一被测器件装载到第一测试床中；(b)将所述第一测试床装载到所述测试仪中；(c)将所述第一测试床移动到第一测试台；(d)在所述第一测试台处对所述第一被测器件执行第一电气或电子测试；(e)将所述第一测试床移动到第二测试台；(f)将第二被测器件装载到第二测试床中；(g)将所述第二测试床移动到所述第一测试台；(h)在所述第一测试台处对所述第二被测器件执行所述第一电气或电子测试；以及(i)在所述第二测试台处对所述第一被测器件执行第二电气或电子测试。
26.如权利要求25所述的方法，还包括从所述测试仪卸载所述第一测试床。
27.如权利要求25所述的方法，还包括将所述第二测试床移动到所述第二测试台。
28.如权利要求27所述的方法，还包括在所述第二测试台处对所述第二被测器件执行所述第二电气或电子测试。
29.如权利要求28所述的方法，还包括从所述测试仪卸载所述第二测试床。
30.如权利要求25所述的方法，还包括当每个测试床从一个测试台移动到另一个时，维持向所述测试床提供电功率和其他信号。
31.如权利要求25所述的方法，还包括使用一个或多个搬运器将被测器件装载到所述多个测试床中。
32.如权利要求25所述的方法，还包括使用一个或多个承载搬运器将所述多个测试床装载到所述测试仪中。
33.如权利要求25所述的方法，还包括使用一个或多个承载搬运器来从所述测试仪卸载所述多个测试床。
34.如权利要求25所述的方法，还包括使用一个或多个承载搬运器来依赖于测试结果将被测器件分类并放置在输出箱中。
35.如权利要求25所述的方法，还包括使用一个或多个承载搬运器，其被配置为在测试床从一个测试台被移动到另一个测试台的同时，向所述测试床提供锁相环(PLL)信号、地(GRND)、电源电压(Vcc)和/或其他信号或电压，从而在所述测试床脱离与测试台的啮合并且不与测试台有电气接触时维持向被装载到所述测试床中的被测器件提供所述信号和电压。
36.如权利要求25所述的方法，还包括使用计算机和控制器中的至少一个来在每个被测器件移动通过所述流水线测试仪时跟踪所述被测器件的位置。
37.如权利要求25所述的方法，还包括与一个或多个搬运器组合起来使用计算机和控制器中的至少一个来将测试床传递到选定的测试台。
38.如权利要求25所述的方法，还包括与一个或多个搬运器组合起来使用计算机和控制器中的至少一个来将选定的测试床从一个测试台改换到另一个。
39.如权利要求25所述的方法，还包括将每个测试台配置或编程为对电连接到所述测试台并位于所述测试台上方的被测器件进行预定的一个测试或一系列测试。
40.如权利要求25所述的方法，还包括将所述测试仪配置为在所述多个测试台处并行进行电气或电子测试。
全文摘要
本发明公开了一种流水线测试仪，其能够以流水线方式测试片上系统(SOC)或被测器件(DUT)。该测试仪提供对被顺序装载到测试仪中的SOC和DUT进行更快更经济的测试。测试仪中部署有多个下方测试台。在测试台上部署有相应的被配置为在其中接收可移动的测试床的测试固定装置。测试床通过机械和电气方式连接到下方测试台。SOC或DUT被装载到每个测试床中。在SOC或DUT被装载到位于测试台上方的测试床中时，对每个SOC或DUT执行一个或多个电气或电子测试。一旦测试完成，测试床就被移动到另一测试台，在另一测试台处执行另一电气或电子测试。可以对被装载到不同测试床中的不同DUT或SOC并行执行电气或电子测试。
文档编号G01R1/02GK101025432SQ20061016188
公开日2007年8月29日 申请日期2006年12月5日 优先权日2005年12月5日
发明者罗纳德·A·哈伯彻尔, 杰森·L·史密斯, 弗兰克·E·哈姆林 申请人:安捷伦科技有限公司