专利名称：双光源双敏感元件红外多气体检测传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及气体浓度检测传感器技术领域，是一种双光源双敏感元件红外 多气体检测传感器。
背景技术：
一束红外光的强度在通过一个气体容器时将会减少，强度损失是一定体积内活 动气体分子数量的函数，它是表示气体浓度的函数。气体与红外光的相互作用只在 红外光的特定波长发生，与这一事实结合，可以设计一种仪器用来测量特定气体的 浓度。红外线分析器是根据气体对红外线吸收原理制成的一种物理式分析仪器。通 常看来，红外线分析器能连续测量，且测量范围宽，精度高，灵敏度高，并有良好 的选择性。以往的红外气体分析仪体积大，重量大，不便携带，而且价格高。早期 由于器件的限制，例如为了达到较高的精度，传感器本身需要大的气室，无法实现
小型化，目前随着光学MEMS技术的发展，特别是新型半导体器件(红外LED、 红外探测器)和微光学器件(MEMS光栅，MEMS红外热敏探测器)的出现，红 外光学气体检测系统的小型化已成为可能。
德国法兰克福哈特曼'希劳恩股份公司申请的"能同时测量气体样品中多种成 分浓度的非色散红外气体分析器"专利(专利号ZL90109218.5)，包括两个相邻 放置的样品池，它们分别通入样品气体和参比气体，红外辐射源发出的辐射光经调 制后通过样品池。一个结构相同的第二个气体辐射接收器被设置在第一辐射接收器 的后面，并盛有样品气体的第二种成分。在第一和第二辐射接收器之间，设置一个 辐射滤波器，该滤波器能透过样品气体中的第二种成分的较弱辐射吸收的辐射光。 该仪器使用两个隔离样品池，体积较大。实用新型专利"双探测器红外气体分析仪"
(专利号ZL02274241.7)，采用了单光源双探测器原理结构和反射式气室，两个 探测器很难加工得完全一样，存在探测器失配的问题。其气室同样互相隔离，体积 较大。实用新型专利"红外光多种气体分析仪光学装置"(专利号ZL94242250.3)， 使用斩光器隔离光源，调制复杂，体积较大。
江苏常州市科能电器有限公司于2006年申请了一种红外六氟化硫检测仪专利
(申请号200620069040.2)。该仪器采用电可调红外光源和光学接收单元相对设置 在检测气室两侧，电可调红外光源发射红外光穿过检测气室由光学接收单元接收， 温度补偿单元与光学接收单元连接，脉冲调节单元与电可调红外光源连接，光学接
收单元与信号放大单元连接，信号放大单元与滤波单元连接，滤波单元与光电转换
单元连接，光电转换单元与A/D转换单元连接，逻辑控制CPU与脉冲调节单元、 温度补偿单元及A/D转换单元连接。
该仪器采用单通道技术，无法克服红外光源输出功率变化、探测器偏置等带来 的问题，检测精度较低；另外，该仪器由于采用电可调红外光源和光学接收单元相 对设置的直线式气室结构同时又要在兼顾足够信噪比的前提下保留一定的气室长 度，故传感器体积相对较大。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决现有的红外气体传感器精度低，体积大等问题，提供 一种双光源、双敏感元件和开放式气室结构的高精度双光源双敏感元件红外多气体 检测传感器。
本实用新型是采用如下技术方案实现的
一种双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，它包括两个红外发光二极管、 红外探测器、气室、反射镜、金属过滤网；
所述的气室为筒状，该气室的底部成凹球面，该气室的中部为圆柱面，在气 室的顶端口处连接有金属过滤网，在金属过滤网后部设置有反射镜，该反射镜的内 表面呈抛物面，所述的红外发光二极管与红外探测器位于气室底端同一平面且以气 室中心线为轴对称放置；红外发光二极管尽可能置于凹球面气室底的焦点处，作用 是将散射的红外光反射到反射镜；
上述的红外探测器由筒状外壳、红外敏感元件、隔光板、滤光片和透窗组成； 所述的隔光板设于筒状外壳的红外探测器中心线处，敏感元件根据气体响应波段的 不同选用热释电型、热电偶型或光电导型红外光谱吸收材料。两个红外敏感元件对 称分布在隔光板两侧，且置于筒状外壳13的底部，分别作为探测单元和参考单元， 红外探测器的筒状外壳的前端设有密封的透窗，在透窗内表面探测器中心线两边分-别粘贴对应待测气体特征波段和非特征波段波长的两片透射滤光片。
本实用新型的目的及解决其技术问题还可以采用以下技术措施来进一步实现。
在气室的底部外端设置有引脚焊接基板，在引脚焊接基板上连接出有两个红外 发光二极管的光源调制信号输入引脚引脚、两个红外敏感元件的电源引脚及信号输 出引脚。
反射镜及气室内表面材料采用黄铜铍金或钢镀铬，以增大对红外散射光的反射 能力。
上述的透窗的材料是氟化锂或氟化钙或蓝宝石单晶体，使透过的光的波长局限 在两片透射滤光片的透射范围内。
根据气体特响应波段的不同，上述的红外敏感元件选用相应响应波段的热电偶 型或热释电型或光电导型红外光谱吸收材料。
金属过滤网方便气体扩散进入气室，同时起到防尘功能。
本实用新型采用时间双光路和空间双光路混合探测模式，所述的两个红外发光 二极管交替发光，两个红外敏感元件得到四路检测信号。
本实用新型的光路图为空间双光束和时间双光束混合探测模式(见图1所示)；
光路图中主要参数两个发光二极管LED1、 LED2的光强分别为I" Im，两个
敏感元件的响应率分别为Rn Rm。，被测气体的投射比为^，以及气室的透射比为 to，贴在参考单元1的滤光片为中心波长远离被测气体特征吸收峰的窄带透射滤光 片，贴在探测单元2上的滤光片为中心波长对应被测气体特征吸收峰的窄带透射滤 光片。通过集成对应不同气体特征吸收峰的滤光片和响应波段不同的敏感元件材 料，即可以测量不同种类的气体。
红外发光二极管分别由外部频率4Hz、幅值为i5V的脉冲方波交替驱动。两个 发光二极管交替发光时间间隔为5ms，探测单元滤光片和参考单元滤光片相应地把 光学系统变成了两个光路，这样就实现了光路为空间双光束和时间双光束混合探测 模式，即探测光路和参考光路。
假设气体的透射比为^。气室的透射比为^，当发光二极管LED1发出脉冲光 时，敏感元件1和敏感元件2的输出电压分别为
V,IrRr (1)
Vm=IrRmtat0 (2) 当驱动发光二极管LED2发出脉冲光时，敏感元件1和敏感元件2的输出电压 分别为
Vmr=ImRr (3)
VmnHmRmTaTo (4) 则得到与气体浓度值相关的因子K
^ = = & (5)
^ at ^怖r
敏感元件将产生一个与响应率和发射强度无关并且与^^成正比的信号。用双 敏感元件、双光源，这样可以消除发光二极管发光功率(I" IJ不稳定的影响和敏
感元件响应率(Rr、 Rm)不稳定的影响。消除了 I、 R影响后信号只与被测气体的透
射比Ta。气室的透射比To(由于光学器件和灰尘引起的辐射衰减)有关。
通过用后续检测电路接收探测敏感元件和参考敏感元件的信号，直接对抵消后
的变量进行处理，它通过软件计算得到式(5)的结果，可减小零漂和消除灰尘与水 汽的影响，减少了误差的来源，提高了测量的精度。光路设计成反射式，这种设计 的优点是红外辐射能两次穿过被测气体，在较小体积的同时保证了适当的光路距 离，也提高了检测精度。由于参考光路和测量光路是在同一环境下工作，取两者的 电位差比值进行比较，就避免了因环境变化和敏感元件响应度变化引起的漂移。
本实用新型与现有红外气体传感器相比，其突出的实质性特点是设计了非隔 离式反射气室及采用了双光源双敏感元件的探测原理，解决了现有红外双探测器气 体传感器探测元件失配的弊病，减小了体积，在减小体积的同时使探测精度提高了 一个数量级以上，使探测精度大大提高。
图l是本实用新型的光路示意图。
2是本实用新型的主视结构示意图。
图3是图2右视气室和红外探测器半剖结构示意图。
图4是红外探测器半剖放大结构示意图。
图5是图4红外探测器左视结构示意图。
图6是图2A—A向结构示意图。
具体实施方式
参见图2 图6所示 一种双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，它包括 两个红外发光二极管l、 2、红外探测器3、气室4、反射镜5、金属过滤网6;
所述的气室4为筒状，该气室4的底部成凹球面15，该气室4的中部为圆柱 面，在气室的顶端口处连接有金属过滤网6，在金属过滤网后部设置有反射镜5， 该反射镜5的内表面呈抛物面，所述的红外发光二极管1、 2与红外探测器3位于一 气室底端同一平面且以气室中心线为轴对称放置；红外发光二极管尽可能置于凹球 面气室底的焦点处，作用是将散射的红外光反射到反射镜。
所述的红外探测器3由筒状外壳13、红外敏感元件9、隔光板10、滤光片11 和透12组成；所述的隔光板10设于筒状外壳的红外探测器中心线处，两个红外敏 感元件对称分布在隔光板两侧，且置于筒状外壳13的底部，分别作为探测单元和 参考单元，红外探测器的筒状外壳13的前端设有密封的透窗12，在透窗内表面探 测器中心线两边分别粘贴对应待测气体特征波段和非特征波段波长的两片透射滤 光片ll。
在气室4的底部外端设置有引脚焊接基板7，在引脚焊接基板7上连接出有两 个红外发光二极管l、 2的光源调制信号输入引脚16、两个红外敏感元件的电源引 脚14及信号输出引脚8。
反射镜及气室内表面材料采用黄铜镀金或钢镀铬。 所述的透窗的材料是氟化锂或氟化钙或蓝宝石单晶体。 所述的红外敏感元件是热电偶型或热释电型或光电导型红外光谱吸收材料。 使用时，气体从金属过滤网扩散进入气室；可将传感器直接焊接于电路板上或 置于特制底座中。
该双光源双敏感元件红外多气体检测传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、 稳定性好，易批量生产等优点，通过使用空间双光束和时间双光束混合探测模式， 解决了现有单光源双探测红外传感器探测元件失配、体积大等缺点，使检测精度提 高一个数量级以上。通过改变对应不同气体特征吸收峰的滤光片和响应波段不同的 敏感元件材料，即可以检测不同种类的气体。
权利要求1、一种双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，其特征在于它包括两个红外发光二极管(1、2)、红外探测器(3)、气室(4)、反射镜(5)、金属过滤网(6)；所述的气室(4)为筒状，该气室(4)的底部成凹球面(15)，该气室(4)的中部为圆柱面，在气室的顶端口处连接有金属过滤网(6)，在金属过滤网后部设置有反射镜(5)，该反射镜(5)的内表面呈抛物面，所述的红外发光二极管(1、2)与红外探测器(3)位于气室底端同一平面且以气室中心线为轴对称放置；所述的红外探测器(3)由筒状外壳(13、红外敏感元件(9)、隔光板(10)、滤光片(11)和透窗(12)组成；所述的隔光板(10)设于筒状外壳的红外探测器中心线处，两个红外敏感元件对称分布在隔光板两侧，且置于筒状外壳(13)的底部，分别作为探测单元和参考单元，红外探测器的筒状外壳(13)的前端设有密封的透窗(12)，在透窗内表面探测器中心线两边分别粘贴对应待测气体特征波段和非特征波段波长的两片透射滤光片(11)。
2、 根据权利要求l所述的双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，其特征在 于在气室(4)的底部外端设置有引脚焊接基板(7)，在引脚焊接基板(7)上连接出有 两个红外发光二极管(l、 2)的光源调制信号输入引脚(16)、两个红外敏感元件的电源 引脚(14)及信号输出引脚(8)。
3、 根据权利要求l或2所述的双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，其特 征在于反射镜及气室内表面材料采用黄铜镀金或钢镀铬。
4、 根据权利要求3所述的双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，其特征在 于所述的透窗的材料是氟化锂或氟化钙或蓝宝石单晶体。
5、 根据权利要求4所述的双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，其特征在 于所述的红外敏感元件是热电偶型或热释电型或光电导型红外光谱吸收材料。
6、 根据权利要求5所述的双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，其特征在 于采用时间双光路和空间双光路混合探测模式，所述的两个红外发光二极管交替 发光，两个红外敏感元件得到四路检测信号。
专利摘要一种双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，它包括两个红外发光二极管、红外探测器、气室、反射镜、金属过滤网；所述的气室为筒状，该气室的底部成凹球面，该气室的中部为圆柱面，在气室的顶端口处连接有金属过滤网，在金属过滤网后部设置有反射镜，该反射镜的内表面呈抛物面，所述的红外发光二极管与红外探测器位于气室底端同一平面且以气室中心线为轴对称放置；上述的红外探测器由筒状外壳、红外敏感元件、隔光板、滤光片和透窗组成；本实用新型与现有气体传感器相比，其突出的实质性特点是设计了非隔离式反射气室及采用了双光源双敏感元件的探测原理，解决了现有红外双探测器气体传感器探测元件失配的弊病，减小了体积、使探测精度大大提高。
文档编号G01N21/31GK201063021SQ20072017010
公开日2008年5月21日 申请日期2007年8月8日 优先权日2007年8月8日
发明者付东波, 毛德兵, 秦海涛, 邓志刚, 齐庆新 申请人:天地科技股份有限公司