Tft阵列检查装置及同步方法

专利名称：Tft阵列检查装置及同步方法
技术领域：
本发明涉及一种检查薄膜晶体管(Thin Film Transistor, TFT)基板等的基板上所形成的TFT阵列(array)的TFT阵列检查装置，特别是涉及TFT阵列的驱动、电子束 (electron beam)的扫描以及测定信号的信号处理的各处理之间的同步。
背景技术：
TFT阵列是作为例如对液晶显示装置的像素电极进行选择的开关(switching)元 件来使用的。具备TFT阵列的基板中，例如平行地配设着作为扫描线而发挥作用的多条栅 极线(gate line)，并且将记载为信号线的多条源极线(source line)配设成与栅极线正 交，在两线交叉的部分的附近配设着TFT (Thin film transistor)，且该TFT上连接着像素 电极。通过将TFT阵列呈格子状配置而形成面板(panel)。通常，在液晶基板的制造中， 在一个玻璃基板上形成多个面板，在经过各种步骤之后切开为各面板。就液晶基板等的形成着TFT阵列的半导体基板的制造过程而言，在制造过程中包 括检查各面板上所形成的TFT阵列的TFT阵列检查步骤，在该TFT阵列检查步骤中进行TFT 阵列的缺陷检查。在该TFT阵列检查步骤中，将缺陷检查用的信号图案(pattern)的驱动 信号施加至所述栅极线或源极线来驱动TFT阵列而检测该TFT阵列的驱动状态，由此来进 行TFT阵列检查。在该TFT阵列检查中，众所周知的是利用通过电子束照射所产生的二次电子的强 度，来对驱动TFT阵列时的氧化铟锡(indium tin oxide, IT0)电位进行检测。在玻璃基板上，如采用复式面那样在一个玻璃基板上形成着多个面板。当检查该 复式面的TFT玻璃基板时，将驱动信号施加至TFT玻璃基板上所形成的整个表面板来同时 驱动整个表面板的TFT阵列，并且一边使支撑该玻璃基板的平台(stage)以固定速度移动， 一边连续地使电子束扫描面板，由此依序检查在玻璃基板上所形成的各面板的TFT阵列 (例如参照日本专利特开2006-170697号公报)。此外，当照射在TFT基板上的电子束的扫描范围有限时，为了对大面积的TFT基板 的整个表面进行测定，而通过重复电子束的扫描及测定、与平台的移动来加以应对。此时， 在平台的移动中，停止电子束的扫描及测定。如上所述，当扫描大型基板时，重复平台的移动与电子束的扫描及测定，S卩，依规 定将平台停止的状态下使电子束扫描来进行测定，在使平台移动至下一位置之后使电子束 扫描来进行测定。在使该平台移动的步骤中不进行TFT基板的测定，因此该平台移动所需的时间会 成为导致检查时间(工作时间(tact time))延长的主要原因。考虑缩短该平台的移动来作 为缩短检查时间(工作时间)的一个方法，但为了支撑大型TFT基板而必须也使基板平台 的重量增加，因此驱动平台的驱动机构大型化，此外，为了使重量大的平台急速地加减速， 还必需增大对驱动机构进行驱动的马达(motor)的电容。
此外，平台的移动时间的缩短是有极限的，无法完全省去平台的移动所需的时间。因此，考虑通过在基板平台的移动中实施测定，来消除平台的移动所带来的检查 时间(工作时间)的长时间化。然而，此时，由于是同时进行基板平台的移动与电子束的扫描，因此必须识别测定 位置。在作为TFT基板检查装置而包括如下构成要素时，S卩，包括平台驱动电路、将驱动信 号施加至TFT基板的TFT驱动电路、对TFT基板的面板上照射电子束而扫描的电子束扫描 电路以及根据检测信号来检查TFT基板的测定电路等时，在由平台驱动电路控制的平台 位置与由电子束扫描电路控制的电子束的照射位置的位置关系、由TFT驱动电路控制的向 TFT基板的驱动信号的施加时刻与由电子束扫描电路控制的电子束的照射时刻的时间关 系、及由电子束扫描电路控制的电子束的照射时刻与由测定电路控制的测定时刻的时间关 系上，要求良好的再现性(i^producibility)。当这些位置关系或时间关系无法获得良好的再现性时存在如下问题，S卩，不明确 的是测定该TFT基板的哪个部位、及是相对于哪个驱动信号的检测信号，从而使得TFT基 板的测定精度下降。针对该问题，考虑通过构成各电路的中央处理器(Central ProcessingUnit，CPU) (中央运算装置)来管理时间，由此使所述位置关系或时间关系成为与规定的关系一致。此时，需要将驱动信号施加至TFT基板的施加时刻与照射电子束的照射时刻不重 合。其原因在于TFT基板的各部分的电位相对于面板所具备的电极的电容及寄生于TFT阵 列的电容等，在从施加驱动信号之后到完成充放电并达到规定电压为止需要时间，因此如 果在施加驱动信号的同时照射电子束，则会在TFT基板的电位稳定之前进行检测，从而难 以进行准确的测定。对通过CPU(中央运算装置)的时脉(clock)信号等的时间管理功能来解决该驱 动信号的施加时刻与电子束的照射时刻之间的时刻区别来说，由于构成各电路的CPU(中 央运算装置)所具有的时间管理能力的差异而难以使各电路的时间关系完全同步，因此必 须在驱动信号的施加时刻与电子束的照射时刻之间设置充分的空白时间。设置在该驱动信号的施加时刻与电子束的照射时刻之间的空白时间是导致检查 时间(工作时间)长时间化的主要原因。

发明内容
因此，本发明旨在解决上述问题，其目的在于以基板平台的位置为基准使驱动信 号、电子束扫描信号以及测定信号在时间上同步来进行检查。此外，本发明的目的在于以载置在基板平台上的TFT阵列的位置为基准，使驱动 信号、电子束扫描信号以及测定信号在时间上同步来进行检查。本发明通过形成与驱动信号同步的第1同步信号来使驱动信号与电子束扫描信 号之间在时间上同步，并通过形成与电子束扫描信号同步的第1同步信号来使电子束扫描 信号与测定信号之间在时间上同步，由此使驱动信号、电子束扫描信号以及测定信号在时 间上同步。还根据基板平台的位置来形成驱动信号，由此可将基板平台的位置作为基准来 使所述各信号在时间上同步。本发明可作为TFT阵列检查装置的型态、TFT阵列检查装置的同步方法的型态。
本发明的TFT阵列检查装置的同步方法的型态是一种TFT阵列检查装置的同步方 法，该TFT阵列检查装置包括平台驱动电路，驱动搬送TFT阵列基板的基板平台；TFT驱动 电路，生成驱动TFT阵列的驱动信号；控制电路，对使从电子枪(electron gun)照射的电子 束在TFT阵列上扫描的扫描信号进行控制；以及测定电路，根据通过电子束照射而从所述 面板获取的检测信号来检查TFT阵列基板；且将驱动信号供电至TFT阵列基板来驱动面板， 并根据所驱动的面板的电压状态来检查TFT阵列基板。该同步方法中，与基板平台的位置同步地从TFT驱动电路输出驱动信号，与根据 平台驱动电路的驱动信号而生成的第1同步信号同步地输出控制电路的扫描信号，并与根 据控制电路的扫描信号而生成的第2同步信号同步地检查测定电路的测定信号。通过使用 这些第1同步信号及第2同步信号，来使驱动信号、扫描信号以及测定信号在时间上同步。而且，通过与基板平台的位置同步地输出驱动信号，可取得基板平台的位置的同
步o本发明的TFT阵列检查装置的型态中，该TFT阵列检查装置将驱动信号供电至TFT 阵列基板来驱动面板，并根据该面板的电压状态来检查TFT阵列基板，且包括平台驱动电 路，驱动搬送TFT阵列基板的基板平台；TFT驱动电路，生成驱动TFT阵列的驱动信号；扫描 控制电路，控制对TFT阵列照射电子束的电子枪的扫描；以及测定电路，根据通过电子束照 射而从所述面板获取的检测信号来检查TFT阵列基板。TFT驱动电路根据从平台驱动电路获取的TFT阵列的位置信号而生成驱动信号与 第1同步信号。且TFT驱动电路将所生成的驱动信号施加至TFT阵列来驱动TFT阵列。其次，扫描控制电路根据第1同步信号而生成扫描信号与第2同步信号。且扫描控 制电路根据所生成的扫描信号来控制电子枪，从而在TFT阵列上照射电子束来进行扫描。 由于扫描信号与第1同步信号在时间上同步，因此，驱动信号与电子束的扫描信号在时间 上同步。其次，测定电路根据第2同步信号来测定检测信号，从而获取测定信号来检查TFT 阵列基板。由于测定信号与第2同步信号在时间上同步，因此电子束的扫描信号与测定信号 在时间上同步。因此，驱动信号与扫描信号通过第1同步信号而在时间上同步，且扫描信号与测 定信号通过第2同步信号而在时间上同步，因此，驱动信号、扫描信号以及测定信号在时间 上互相同步。此外，最初的驱动信号与平台驱动电路的位置同步地输出，由此，可相对于平台驱 动电路的规定位置而确定驱动信号、扫描信号以及测定信号的同步关系。此外，可以与载置 于平台上的TFT阵列基板成一对一的关系来确定TFT阵列，因此，相对于平台驱动电路的规 定位置的驱动信号、扫描信号以及测定信号的同步关系可确定为相对于TFT阵列的规定位 置的同步关系。在所述的本发明的TFT阵列检查装置中，可为如下构成TFT驱动电路、扫描控制 电路、测定电路中的至少任一个电路包括使各自电路的动作时序(timing)延迟的延迟电路。驱动TFT阵列的机构、对TFT阵列上照射电子束来进行扫描的机构、获取测定信号来检查TFT阵列基板的机构中的各机构，存在当生成各机构的同步信号时各机构具有固有的时间延迟的情形，从而存在各机构的同步信号之间未必获得时间同步的情形。延迟电路在TFT驱动电路、扫描控制电路、测定电路中使同步信号的时序延迟，吸 收各机构所固有的同步信号的延迟固体差，从而使各电路之间的同步信号在时间上同步， 补偿在各动作之间所产生的时间偏差。由此，可消除因时序偏差所造成的图像的不连续性，从而可不需要以往的为了消 除该不连续性而进行的图像获取后的使图像连续的微调。此外，本发明的TFT阵列检查装置包括主控制电路。该主控制电路形成对平台驱 动电路、TFT驱动电路、扫描控制电路的各电路的动作开始进行控制的指令，并将该指令输 出至各电路。此外，本发明的TFT阵列检查装置可为如下构成，即，具备对检测信号进行信号加 工的信号加工电路。信号加工电路与TFT驱动电路的驱动信号或第1同步信号同步地进行 信号加工。通过该同步，可使TFT的驱动与检测信号的信号加工在时间上同步。使电路的 动作时序延迟的延迟电路也可设置在信号加工电路中。本发明可从平台驱动电路以多种形态获取TFT阵列的位置信号。在一个形 态中，平台驱动电路根据检测基板平台的移动的旋转编码器(rotaryencoder)的绝对 (absolute)信号或增量(increment)信号的累计值而获取位置信号。此外，在另一形态中，平台驱动电路根据检测基板平台的规定位置的传感器 (sensor)的检测信号而获取位置信号。此外，本发明的TFT阵列检查装置可适用于具备多组对电子枪及电子枪的扫描信 号进行控制的扫描控制电路组的构成。各扫描控制电路根据从主控制电路输出的指令来同 步地开始动作，并且根据从TFT驱动电路输出的第1同步信号来进行时间同步。由此，在具备多个电子枪与扫描控制电路的组合的构成下，也可使驱动信号、电子 束扫描信号以及测定信号在时间上同步来进行检查。此外，本发明的TFT阵列检查装置使TFT阵列的驱动与电子束的扫描同时发生，在 将驱动信号施加至TFT阵列的期间对该TFT阵列照射电子束，为了避免测定结果变得不稳 定等的故障，使驱动信号或扫描信号具有避免互相干涉另一方的动作的驱动波形。TFT驱动电路输出具有如下驱动波形的驱动信号，S卩，该驱动波形在电子束扫描 TFT阵列的时间区带中使TFT驱动停止或使TFT阵列的栅极(gate)成断开状态。由此，在 电子束的照射中不会对TFT阵列施加电压。此外，第2控制部输出具有如下扫描波形的扫描信号，即，该扫描波形在将驱动信 号施加至TFT阵列的时间区带中使电子束偏向TFT阵列以外的位置。由此，在将电压施加 至TFT阵列的期间不照射电子束。[发明的效果]根据本发明，可相对于基板平台的位置而使驱动信号、电子束扫描信号以及测定 信号在时间上同步来进行检查。此外，可相对于载置在基板平台上的TFT阵列位置而使驱动信号、电子束扫描信 号以及测定信号在时间上同步来进行检查。


图1是用以说明本发明的TFT阵列检查装置的第1形态的概略图。
图2是用以说明本发明的TFT阵列检查装置的第2形态的概略图。
图3是用以说明本发明的TFT阵列检查装置的第1形态、第2形态的时序图
图4是用以说明本发明的TFT阵列检查装置的第3形态的概略图。
图5是用以说明本发明的TFT阵列检查装置的第3形态的时序图。
图6是用以说明本发明的TFT阵列检查装置的第4形态的概略图。
图7是用以说明本发明的TFT阵列检查装置的其他形态的时序图。
1 :TFT阵列检查装置2 真空腔室
3 基板平台4、4A、4B、4C、4D 电子枪
5 :TFT玻璃基板6、6A 6D 面板
7 探测器7a 探测框
7b:探针9、9A、9B 检测器
11 第1控制部12、12B 第2控制部
13 :TFT驱动电路14:平台驱动电路
15、15A、15B 电子枪控制电路16AU6B 信号加工电路
16、17、17A、17B 信号处理电路18、18A、18B 测定电路
19U9A 19D 延迟电路21A、21B 电子束
22A、22B 二次电子tl、t2、t3、t4 延迟时间
具体实施例方式以下，一边参照附图，一边详细地说明本发明的实施方式。以下对本发明的实施方 式中的第1形态 第4形态进行说明。图1是用以说明第1形态的概略图，图2是用以说 明第2形态的概略图，图3是用以说明第1形态、第2形态的信号图，图4是用以说明第3 形态的概略图，图5是用以说明第3形态的信号图，图6是用以说明第4形态的概略图，图 7是其他形态的信号图。首先，使用图1、图2的概略图来说明本发明的TFT阵列检查装置的第1形态、第2 形态。此外，第2形态除附加有信号加工电路16的构成以外与第1形态相同，因此，以下主 要说明第1形态。图1所示的TFT阵列检查装置1是在设置于真空腔室(chamber) 2内的基板平台 3上配置TFT玻璃基板7，且将驱动信号施加至形成于该TFT玻璃基板7上的多个面板A 面板D (6A 6D)，来对根据该驱动信号而成为驱动状态的面板6进行TFT阵列检查。另外，此处作为形成于TFT玻璃基板7上的面板，表示有面板A 面板D (6A 6D) 这4个面板的例子，但该面板数为说明上所表示的一例，并不限定于此面板数。TFT阵列检查装置1包括基板平台3，内置于真空腔室2内；及电子枪4 (4A、4B)， 设置于真空腔室2的上部；此外，作为驱动TFT阵列的电路构成而包括平台驱动电路13， 驱动基板平台3 ；TFT驱动电路(面板驱动器(panel driver)) 14，驱动载置于基板平台3 上的TFT玻璃基板7的面板的TFT阵列；电子枪控制电路15，控制并驱动电子枪4A、4B ； 第2控制部12，控制所述电子枪控制电路15 ；检测器9A、9B，检测二次电子束22A、22B ；信号处理电路17，对检测器9A、9B的检测信号进行信号处理并输出检测值；测定电路18，接 受来自信号处理电路17的检测值而进行用于基板检查的测定；以及第1控制部11，控制 TFT阵列检查装置1的整体。另外，第1控制部11及第2控制部12可利用CPU及存储器 (memory)机构等通过软件处理来进行控制，所述存储器机构是存储记述着驱动该CPU的算 法(algorithm)的软件(software)的只读存储器，(ROM, read onlymemory)或用于信号处 理的随机存取存储器(RAM, random access memory)等。图2所示的第2形态除了第1形态的构成之外还具备信号加工电路16。信号加工 电路16对检测器9A、9B的检测信号进行例如倍率变更、偏移(offset)处理、极性变更等的 信号加工，并将加工信号发送至信号处理电路17。基板平台3支撑TFT玻璃基板7，并且具备下述的驱动机构(未图示)，该驱动机 构使TFT玻璃基板7于xy方向移动来变更TFT玻璃基板7相对于电子枪4A、4B的位置。基板平台3根据从平台驱动电路13输出的驱动信号，使放置于基板平台3上的 TFT玻璃基板7在规定的方向移动。该TFT玻璃基板7的移动例如可结合于面板上扫描的 电子束的扫描速度而设定为固定速度。此处，将驱动信号供给至基板平台3的平台驱动电路13可接受来自第1控制部11 的移动指令(a)而开始驱动。电子束在面板上的扫描是与该基板平台3的移动一起，通过 由电子枪控制部15来控制电子束的照射方向而进行的。TFT驱动电路(面板驱动器)14在从第1控制部11接受驱动指令(b)之后，如果 从平台驱动电路13输入平台位置信号(e)，则使用存储于未图示的存储机构中的驱动波形 数据(data)来生成驱动信号(g)，并发送至探测器(probe) 7。探测器7具备与面板6所 具备的电极(未图示)接触的探针(probe pin) 7b、及支撑该探针7b的探测器架(probe frame)7a。驱动信号(g)是通过探针7b与面板6的电极之间的电性接触而供电至各面板 6的TFT阵列，从而驱动TFT阵列。平台位置信号(e)是作为从TFT驱动电路14输出驱动信号(g)的开始触发 (trigger)的信号。该平台位置信号(e)可为各种形态。例如可利用下述形态使用将连 接于平台驱动用马达的旋转编码器的基准位置信号予以输出的Z相信号，而获取位置信息 的形态；将由对旋转编码器的A相信号、B相信号进行计数的计数器(counter)获取的计数 值与规定值进行比较，由此获取位置信息的形态；或者使用沿基板平台3的移动方向而安 装的传感器，根据该传感器的检测信号来获取位置信息的形态等。另外，此处表示有具备一个TFT驱动电路(面板驱动器)14的构成，但设置个数并 不限定于一个，可根据驱动信号的波形数来确定设置个数，且可通过选择电路(未图示)来 选择并供电至面板。第1控制部11将电子束扫描指令(c)发送至第2控制部12。接受了电子束扫描 指令(c)的第2控制部12以来自TFT驱动电路14的第1同步信号(h)为触发而生成扫描 信号(k)，并将所生成的扫描信号(k)发送至电子枪控制电路15。电子枪控制电路15根据 第2控制部12的扫描信号，将控制信号发送至电子枪4A、4B，从而控制电子枪4而照射电子
束o第1控制部11通过输出下述各指令来控制平台驱动电路13、TFT驱动电路14以 及第2控制部12的驱动，并与各电路及控制部之间的同步信号一起抑制同步偏差，所述各指令是于进行面板上的电子束扫描时指示基板平台3开始起动的移动指令(a)、指示TFT驱 动电路开始生成驱动信号的驱动指令(b)以及指示第2控制电路开始生成扫描信号的电子 束扫描指令(c)。此外，第2控制12生成扫描信号(K)，并且生成第2同步信号(1)。测定电路18 根据该第2同步信号(1)进行检查动作与时间动作，并使用检测值来开始阵列检查。以下，使用图3的时序图来说明本发明的TFT阵列检查装置的第1形态、第2形态 的动作例。此外，在图3所示的时序图中，图3(a) 图3(c)表示从第1控制部11输出的移 动指令(a)、驱动指令(b)、电子束扫描指令(c)，图3(d)、图3(e)表示平台驱动电路13中 的平台位置的计数值、及在基板平台到达规定位置的时间点时输出的平台位置信号(e)，图 3(f) 图3(i)表示TFT驱动电路的接通/断开(on/off)状态、驱动信号数据(g)、第1同 步信号数据(h)以及信号加工信号(i)，图3(j) 图3(m)表示第2控制部的扫描信号的生 成状态、扫描信号(k)、测定开始指令(1)、测定动作状态，图3(n)表示信号加工电路的信号 加工动作。在TFT阵列检查装置1中，当检查TFT玻璃基板5上的各面板6A 6D上所形成 的TFT阵列时，在TFT玻璃基板5上载置探测器架7a，并使探针7b接触于各面板6A 6上 所设置的电极(未图示)。首先，第1控制部11通过内部的扫描控制而生成移动指令(a)、驱动指令(b)、及 电子束扫描指令(c)(图3(a) 图3(c))。所述各指令是使平台驱动电路、TFT驱动电路、 及第2控制部成为接通状态，之后根据接受的触发信号及同步信号而开始进行各个动作， 而非在接受指令的同时开始进行动作。平台驱动电路13接受该移动指令(a)后，开始基板平台3的驱动(图3(d))，变更 相对于电子枪4A、4B的面板6A 6D的y方向的位置。此时的平台位置可通过旋转编码器 及位置传感器而检测出。此处，表示根据如下计数值来进行位置检测的例子，该计数值是根 据旋转编码器的A相信号及B相信号、一边加进旋转方向一边进行计数所得的值。该计数值表示平台的移动位置。利用比较器将对应于平台的规定位置的临界 (threshold)值与该计数器值进行比较，由此可检测平台到达规定位置的情况。另外，就平台到达规定位置的情况而言，除对旋转编码器的A相、B相的信号进行 计数以外，也可使用Z相信号，该Z相信号确定成为旋转编码器上的基准的绝对位置。此 外，也可使用来自位置传感器的检测信号，该位置传感器设置在平台的移动方向上的规定 位置。此处，作为规定位置，例如可为从电子枪4照射的电子束照射在载置于基板平台3上 的TFT玻璃基板5上的位置。当平台到达规定位置时，平台驱动电路14将平台位置信号(e)输出至TFT驱动电 路 14(图 3(e))。TFT驱动电路14在通过从第1控制部11接受驱动指令(b)而成为接通状态之后 (图3(f))后，一旦从平台驱动电路13接受平台位置信号(e)，则会以该平台位置信号(e) 为触发而生成驱动信号(g)，通过探针7b及电极(未图示)而将驱动信号(g)供电至面板 6(图 3(g))。而且，TFT驱动电路14生成驱动信号(g)及第1同步信号(h)并发送至第2控制部12 (图3 (h))，且生成信号加工信号(i)并发送至信号加工电路16 (图3 (i))。第2控制部12在从第1控制部接受电子束扫描指令(c)而开始扫描信号的生成 动作之后(图3(j))，一旦从TFT驱动电路14接受第1同步信号(h)，则开始扫描信号(k) 的输出(图3(k))，并将扫描信号(k)发送至电子枪控制电路15。此外，与扫描信号的输出 同步地输出测定开始指令⑴(图3(1))。电子枪控制电路15接受扫描信号(k)，且控制来自电子枪4A、4B的电子束的照射 的接通断开及照射方向。面板上的电子束的扫描是通过基板平台3使面板6A 6D朝y方向移动、及使从 电子枪4A、4B照射的电子束偏向x方向而进行的。一边将驱动信号(g)供电至面板6上的TFT阵列，一边进行电子束扫描，由此，通 过检测器9A、9B来检测TFT阵列的电位状态。信号处理电路17对检测信号进行信号处理而形成检测值并发送至测定电路18。 另外，此时在第2形态中，通过信号加工电路16而对检测信号进行倍率变更、偏移(offset) 处理、极性变更等的信号加工。该信号加工动作是根据从TFT驱动电路14发送的信号加工 信号(i)而在时间上同步地开始进行(图3(n))。第2控制部12接受测定开始指令(1)而开始测定动作，来进行FT阵列的缺陷检 查(图 3(m))。本发明的TFT阵列检查装置1中，从第1控制部11同步地输出各指令，并且分别从 平台驱动电路13向TFT驱动电路14输出平台位置信号(e)、从TFT驱动电路14向第2控 制部12输出第1同步信号(h)、向第2控制部12内的测定电路18输出第2同步信号⑴， 由此，可将平台到达规定位置作为触发，使利用TFT驱动电路14进行的面板的驱动、利用电 子枪控制电路15进行的电子束的扫描、及利用测定电路18进行的测定动作的各动作在时 间上同步。其次，使用图4、图5的概略图及时序图来说明本发明的TFT阵列检查装置的第3 形态。另外，图4所示的构成为在与图2所示的第2形态的构成相同的构成中设置着延迟 电路的例子。第3形态为如下的构成，即，本发明的TFT阵列检查装置在TFT驱动电路、扫描控 制电路以及测定电路中具备使各自电路的动作时序延迟的延迟电路。驱动TFT阵列的机构、对TFT阵列上照射电子束来进行扫描的机构、获取测定信号 来检查TFT阵列基板的机构中的各机构，这些机构都存在当生成各机构的同步信号时，各 机构具有固有的时间延迟的情形。各机构的各部分所固有的时间延迟各不相同，因此在各 机构的同步信号之间未必获得时间同步。延迟电路在TFT驱动电路、扫描控制电路、测定电路中使同步信号的时序延迟，吸 收各机构所固有的同步信号的延迟固体差，从而使各电路之间的同步信号在时间上同步， 以补偿在各动作之间产生的时间偏差。由此，消除因时序偏差所造成的图像的不连续性，不 须在获取图像后进行使图像连续的微调便可消除图像的不连续性。在图4所示的构成中，TFT驱动电路14具备延迟电路19A。如果该延迟电路19A 从平台驱动电路13接受平台位置信号(e)，则将在经过规定的延迟时间tl之后生成驱动信 号(g)及同步信号(h)(图5(g))。信号加工信号(i)是根据延迟的驱动信号(g)而生成，因此同样地仅延迟有延迟时间tl。通过设置该延迟时间tl，可吸收平台驱动电路13与TFT 驱动电路14所固有的延迟时间的差。第2控制部12具备延迟电路19B。如果该延迟电路19B从TFT驱动电路14接受 第1同步信号(h)，则将在经过规定的延迟时间t2之后输出扫描信号(k)(图5(k))，并生 成测定开始指令(1)(图5(1))。通过设置该延迟时间t2，可吸收TFT驱动电路14与第2 控制部12所固有的延迟时间的差。此外，第2控制部12的测定电路18具备延迟电路19C。如果该延迟电路19C接受 测定开始指令(1)，则将在经过规定的延迟时间t3之后成为测定状态(图5(m))。通过设 置该延迟时间t3，可吸收在第2控制部12内测定电路18与其他电路构成所固有的延迟时 间的差。信号加工电路16具备延迟电路19D。如果该延迟电路19D接受信号加工信号(i)， 则将在经过规定的延迟时间t4之后成为信号加工状态(图5(n))。通过设置该延迟时间 t4，可吸收TFT驱动电路14与信号加工电路16所固有的延迟时间的差。其次，使用图6的概略图来说明本发明的TFT阵列检查装置的第4形态。第4形态为具备多个第2控制部12A、12B的构成，各第2控制部12A、12B分别控 制多个电子枪4A、4B及4C、4D。此处，各第2控制部12A、12B可为与图2中所示的第2控制 部相同的构成，且具备电子枪控制部15A、15B、测定电路18A、18B、信号处理电路17A、17B以 及信号加工电路16A、16B。各电路的动作可与所述形态相同，因而省略此处的说明。从第1控制部11将驱动指令(b)同时输入至第2控制部12A、12B，而且，从TFT驱 动电路14将第1同步信号(h)同时输入至第2控制部12A、12B，由此，可在时间上同步。此 外，通过从TFT驱动电路14而将信号加工信号(i)同时输入至信号加工电路16A、16B，可在 时间上同步。其次，使用图7的时序图来说明本发明的TFT阵列检查装置的另一形态。图7(a)、图7(b)表示驱动信号的波形例与扫描信号的波形例。此处，例如，当驱动 信号的下降时间延长时，产生驱动信号与扫描信号重合的时间带(图7(c))。此外，当扫描 信号的下降时间延长时，也产生驱动信号与扫描信号重合的时间带。此时，在将驱动信号施 加至TFT阵列的期间照射电子束(图7(d))。为了避免上述这样的状况，驱动信号的驱动波形在与扫描时间对应的时间区带的 部分成为不驱动TFT阵列的波形。在存储机构中准备着具有预先规定的驱动波形的驱动信号，从而TFT阵列的驱动 可通过将该驱动信号读出并施加至TFT阵列来进行。此时，针对TFT阵列预先准备着在进 行电子束扫描的时间区带中使TFT驱动停止、或使TFT阵列的栅极成为断开状态的驱动波 形(图7(f)的栅极信号)，将具有该驱动波形的驱动信号(图7(e)、图7(f))施加至TFT 阵列。由此，可在进行电子束扫描的时间区带内(图7(g))，不将电压施加至TFT阵列，或者 使TFT阵列成为断开状态而不进行驱动。此外，为了避免所述状况，扫描信号的驱动波形在将电压施加至TFT阵列的时间 带中为使电子束从TFT阵列退避的波形。在存储机构中准备着具有预先规定的驱动波形的扫描输出，从而使电子束的扫描 可通过将该扫描信号读出并施加至电子枪控制电路来进行。此时，在将电压施加至TFT阵列的期间(图7(h))使电子束照射且退避至偏离TFT阵列的位置(图7(j))，在不将电压施 加至TFT阵列的期间(图7(h))，对TFT阵列照射电子束来进行测定。[产业上的可利用性]本发明除适用于液晶制造装置中的TFT阵列检查步骤以外，还可适用于有机电致 发光(Electroluminescence，EL)或各种半导体基板所具备的TFT阵列的缺陷检查。
权利要求
一种TFT阵列检查装置的同步方法，该TFT阵列检查装置包括平台驱动电路，驱动搬送TFT阵列基板的基板平台；TFT驱动电路，生成驱动所述TFT阵列的驱动信号；控制电路，对使从电子枪照射的电子束在TFT阵列上扫描的扫描信号进行控制；以及测定电路，根据通过所述电子束照射而从所述面板获取的检测信号来检查TFT阵列基板；且将驱动信号供电至TFT阵列基板来驱动面板，并根据该面板的电压状态来检查TFT阵列基板，该同步方法的特征在于与基板平台的位置同步地从TFT驱动电路输出驱动信号，与根据所述平台驱动电路的驱动信号而生成的第1同步信号同步地输出控制电路的扫描信号，与根据所述控制电路的扫描信号而生成的第2同步信号同步地检查测定电路的测定信号，由此，使所述驱动信号、扫描信号、以及测定信号在时间上同步，并且与基板平台的位置同步。
2.—种TFT阵列检查装置，将驱动信号供电至TFT阵列基板来驱动面板，并根据该面板 的电压状态来检查TFT阵列基板，其特征在于包括平台驱动电路，驱动搬送所述TFT阵列基板的基板平台； TFT驱动电路，生成驱动所述TFT阵列的驱动信号； 扫描控制电路，控制对所述TFT阵列照射电子束的电子枪的扫描；以及 测定电路，根据通过所述电子束照射而从所述面板获取的检测信号来检查TFT阵列基 板；且所述TFT驱动电路根据从所述平台驱动电路获取的TFT阵列的位置信号，而生成所述 驱动信号与第1同步信号，所述扫描控制电路根据所述第1同步信号而生成扫描信号与第2同步信号， 所述测定电路根据所述第2同步信号，而执行基于所述检测信号的TFT阵列基板的检查。
3.根据权利要求2所述的TFT阵列检查装置，其特征在于所述TFT驱动电路、所述扫描控制电路、测定电路中的至少任一个电路包括使各自电 路的动作时序延迟的延迟电路，以补偿各动作之间的时间偏差。
4.根据权利要求2或3所述的TFT阵列检查装置，其特征在于包括主控制电路，形成 对所述平台驱动电路、TFT驱动电路、所述扫描控制电路的各电路的动作开始进行控制的指 令，并将该指令输出至各电路。
5.根据权利要求3所述的TFT阵列检查装置，其特征在于包括对所述检测信号进行信 号加工的信号加工电路，该信号加工电路是与所述TFT驱动电路的驱动信号或第1同步信 号同步地进行信号加工。
6.根据权利要求2所述的TFT阵列检查装置，其特征在于所述平台驱动电路是根据检测所述基板平台的移动的旋转编码器的绝对信号或增量信号的累计值来获取所述位置信号。
7.根据权利要求2所述的TFT阵列检查装置，其特征在于所述平台驱动电路是根据检测所述基板平台的规定位置的传感器的检测信号来获取 所述位置信号。
8.根据权利要求5所述的TFT阵列检查装置，其特征在于所述TFT驱动电路、所述扫描控制电路、测定电路、信号加工电路中的至少任一个电路 包括使各自电路的动作时序延迟的延迟电路，以补偿各动作之间的时间偏差。
9.根据权利要求4所述的TFT阵列检查装置，其特征在于包括多组对电子枪及该电子 枪的扫描信号进行控制的扫描控制电路组，且该各扫描控制电路，根据从所述主控制电路输出的指令来同步地开始动作，且 根据从所述TFT驱动电路输出的第1同步信号而在时间上达成同步。
10.根据权利要求2所述的TFT阵列检查装置，其特征在于所述TFT驱动电路输出具有如下驱动波形的驱动信号，即，该驱动波形是在用电子束 来扫描TFT阵列的时间区带中使TFT驱动停止或使TFT阵列的栅极成断开状态。
11.根据权利要求2所述的TFT阵列检查装置，其特征在于所述第2控制部输出具有如下扫描波形的扫描信号，该扫描波形在将驱动信号施加至 TFT阵列的时间区带中使电子束偏向TFT阵列以外的位置。
全文摘要
一种TFT阵列检查装置，包括平台驱动电路，驱动基板平台；TFT驱动电路，生成驱动TFT阵列的驱动信号；扫描控制电路，控制电子枪的扫描；以及测定电路，根据通过电子束照射而从所述面板获取的检测信号来检查TFT阵列基板。通过形成与驱动信号同步的第1同步信号，来使驱动信号与电子束扫描信号之间在时间上同步，通过形成与电子束扫描信号同步的第1同步信号，来使电子束扫描信号与测定信号之间在时间上同步，由此，使驱动信号、电子束扫描信号、以及测定信号在时间上同步。还根据基板平台的位置而形成驱动信号，由此以基板平台的位置为基准而使各信号在时间上同步。
文档编号G01R31/00GK101821637SQ20078010105
公开日2010年9月1日 申请日期2007年10月18日 优先权日2007年10月18日
发明者山下光夫 申请人:株式会社岛津制作所