浓度测量方法和荧光x射线分析装置的制作方法

文档序号:5880696阅读:363来源:国知局
专利名称:浓度测量方法和荧光x射线分析装置的制作方法
技术领域
本发明涉及荧光X射线分析。更详细地说,本发明涉及利用荧光X射线分析,测量 在甲醇或乙醇等酒精燃料等试样中含有的硫等测量对象物的浓度的浓度测量方法和荧光X 射线分析装置。
背景技术
荧光X射线分析是向试样照射一次X射线,检测从试样产生的荧光X射线,根据荧 光X射线的光谱对试样含有的元素进行定性分析或定量分析的分析方法。进行荧光X射线 分析的荧光X射线分析装置包括χ射线管,产生一次X射线;X射线检测器,使用半导体检 测元件或比例计数管等;分析器,对X射线检测器检测到的X射线的波长分布或能量分布进 行分析。在进行荧光X射线分析时,把X射线管产生的一次X射线向试样照射,利用X射线 检测器检测从被照射了一次X射线的试样产生的荧光X射线,利用分析器分析检测到的荧 光X射线的光谱。上述的荧光X射线分析可以用于测量在液体燃料中含有的杂质的浓度。例如以减 少柴油燃料等液体燃料中含有的作为有害成分的硫为目的,利用荧光X射线分析测量液体 燃料中的硫浓度。在把含硫的液体燃料作为试样进行荧光X射线分析的情况下,得到包含 硫的荧光X射线信号及作为被试样散射的一次X射线的散射X射线信号的X射线光谱。在 设根据光谱求出的硫的荧光X射线强度为S,散射X射线强度为B的情况下,用S除以B得 到的值(S/B)为与试样中的硫浓度大体成比例的函数。使用硫浓度已知的标准试样来预先 确定(S/B)与浓度关系的标准曲线。通过把用荧光X射线分析得到的硫浓度未知的试样的 (S/B)值与标准曲线进行比较,可以求出硫浓度。可是,近年来限制汽油等液体燃料中含有的有害成分的标准更加严格,需要测量 低浓度的硫浓度。在这种情况下,需要根据更弱的荧光X射线求出硫浓度。在用荧光X射 线分析得到的光谱中含有被称为系统峰的峰。系统峰是由被荧光X射线分析装置内的空气 散射的X射线、由荧光X射线分析装置内的部件反射的X射线、或因X射线碰到荧光X射线 分析装置内的部件产生的荧光X射线等引起的峰,系统峰与荧光X射线分析装置有关。在 测量低浓度的硫浓度的情况下,硫的荧光X射线的信号小。因此,与硫的荧光X射线的信 号重叠的系统峰的影响变大,(S/B)的值与浓度不成比例。所以,在日本专利公开公报特开 2001-91481号中记载了一种技术,该技术预先求出考虑了系统峰影响的标准曲线,通过使 用求出的标准曲线来测量硫浓度,在存在系统峰的状态下也可以测量低浓度的硫浓度。近年来,除了柴油燃料或汽油等以往的液体燃料以外,开始利用醇类或生物汽油 等组成与以往的液体燃料有很大不同的新品种的液体燃料。在试样的组成改变了的情况 下,由于X射线的质量吸收系数改变,所以荧光X射线的强度和散射X射线的强度改变。例 如,即使试样中的硫浓度一定,在试样的组成改变了的情况下,硫的荧光X射线强度和散射 X射线强度发生变化。由于以往的液体燃料的质量吸收系数不发生大的变动,所以可以与试 样无关地用标准曲线来表达硫的荧光X射线强度与硫浓度的关系。可是,由于新品种的液体燃料的质量吸收系数与以往的相比有很大不同,硫的荧光X射线强度与硫浓度的关系不 适用于以往的标准曲线。因此,对于新品种的液体燃料用以往的方法不能正确测量硫浓度。 为了测量新品种液体燃料的硫浓度,需要对各个组成的液体燃料逐一求出标准曲线。存在 的问题是逐一求出标准曲线在实际上是困难的
发明内容
鉴于上述情况,本发明的目的是提供一种浓度测量方法和荧光X射线分析装置, 该浓度测量方法和荧光X射线分析装置通过把因试样的组成不同造成的X射线的质量吸收 系数的不同考虑进去,对荧光X射线强度进行修正,预先求出标准曲线,根据修正后的荧光 X射线强度和标准曲线计算浓度,即使在试样的组成不同的情况下,也可以利用荧光X射线 分析测量试样中的测量对象物的浓度。本发明提供一种浓度测量方法,其特征在于,使用荧光X射线分析装置,向试样照 射一次X射线,获得从所述试样产生的二次X射线的光谱,根据所述光谱求出所述试样中含 有的对象成分的荧光X射线强度,根据求出的所述荧光X射线强度测量所述试样中的所述 对象成分的浓度,所述浓度测量方法包括下述步骤从根据获得的所述光谱求出的所述对 象成分的所述荧光X射线强度,减去与所述二次X射线中含有的散射X射线及所述荧光X 射线分析装置固有的信号有关的背景噪声的步骤;对减去所述背景噪声后的荧光X射线强 度进行与所述试样的组成对应的修正的步骤;以及根据表示所述对象成分的浓度与对减去 所述背景噪声后的荧光X射线强度进行所述修正后得到的值的关系的标准曲线,计算所述 试样中所述对象成分的浓度的步骤在上述本发明的浓度测量方法中,其特征在于,还包括下述步骤获得从所述对象 成分浓度为零且组成相互不同的多个标准试样产生的二次X射线的光谱的步骤;以及使用 根据从所述多个标准试样获得的所述光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度及散射X 射线强度,确定用于从所述对象成分的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声的减法计算 公式的步骤。在上述本发明的浓度测量方法中,其特征在于,还包括下述步骤通过把根据从所 述多个标准试样获得的所述光谱求出的S和B,代入用于从根据所述光谱求出的所述对象 成分的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声的减法计算公式I = S-α ΧΒ-β中,根据使 I = O的多个公式计算常数α和β,来确定所述减法计算公式的步骤,其中,I表示减去所 述背景噪声后的荧光X射线强度;S表示根据所述光谱求出的所述对象成分的所述荧光X 射线强度;α和β表示常数;B表示根据所述光谱求出的所述散射X射线强度;以及通过 把根据获得的所述光谱求出的S和B代入由计算出的α和β的值确定的所述减法计算公 式中,从所述对象成分的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声的步骤。在上述本发明的浓度测量方法中,其特征在于,还包括下述步骤获得从所述对象 成分浓度不为零且为已知值的多个标准试样产生的二次X射线的光谱的步骤;从根据从所 述多个标准试样获得的所述光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度减去所述背景噪 声的步骤;以及根据所述多个标准试样的所述对象成分的浓度与减去所述背景噪声后的荧 光X射线强度的关系,确定用于进行所述修正的修正公式的步骤。在上述本发明的浓度测量方法中,其特征在于,还包括下述步骤通过根据把Ik、B0和Bk代入第k个标准试样的所述对象成分的浓度Ck与Ik X (BcZBk) γ成比例的关系式中得 到的多个公式,计算常数Y,来确定修正公式I ΧΦ^ΒΓ的步骤,其中,Ik表示从根据第k 个标准试样的光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值; B0表示根据作为荧光X射线强度基准的特别指定的基准试样的光谱求出的散射X射线强 度;Bk表示根据第k个标准试样的光谱求出的散射X射线强度;Y表示常数;以及通过把I 和B代入由计算出的γ值确定的所述修正公式,进行所述修正。在上述本发明的浓度测量方法中,其特征在于,还包括下述步骤获得从所述对象 成分浓度已知且相互不同的多个标准试样产生的二次X射线的光谱的步骤;从根据获得的 多个所述光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度减去所述背景噪声的步骤;对从所述 多个标准试样的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值进行所述修正的步骤; 以及根据所述多个标准试样的所述对象成分的浓度以及对从所述多个标准试样的所述荧 光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值进行所述修正后得到的值,求出表示试样中的 所述对象成分浓度与对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度进行所述修正后得到的值 的关系的标准曲线的步骤。本发明还提供一种荧光X射线分析装置,其特征在于,包括照射部,对试样照射 一次X射线;获得部,获得从所述试样产生的二次X射线的光谱;以及运算部,根据所述光 谱求出所述试样中含有的对象成分的荧光X射线强度,所述荧光X射线分析装置根据所述 运算部求出的所述荧光X射线强度计算所述试样中所述对象成分的浓度,所述荧光X射线 分析装置还包括减法计算公式存储部,存储减法计算公式,该减法计算公式用于从根据所 述获得部获得的所述光谱由所述运算部求出的所述对象成分的所述荧光X射线强度,减去 与二次X射线中含有的散射X射线及所述荧光X射线分析装置自身固有信号有关的背景噪 声;修正公式存储部,存储修正公式,该修正公式用于对减去所述背景噪声后的荧光X射线 强度进行与所述试样的组成对应的修正;标准曲线存储部,存储标准曲线,该标准曲线表示 所述对象成分的浓度与对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度进行所述修正后得到的 值的关系;减法计算部,使用所述减法计算公式,从根据所述获得部获得的所述光谱由所述 运算部求出的所述对象成分的所述荧光X射线强度,减去所述背景噪声;修正部,对减去所 述背景噪声后的荧光X射线强度,使用所述修正公式进行所述修正;以及浓度计算部,根据 所述标准曲线,计算所述试样中的所述对象成分的浓度。在本发明中,对含有硫等对象成分的液体燃料等试样进行荧光X射线分析。从根 据通过荧光X射线分析获得的光谱求出的对象成分的荧光X射线强度,减去与散射X射线 及荧光X射线分析装置固有的系统峰有关的背景噪声。对于减去背景噪声后的荧光X射线 强度进行与试样的组成对应的修正。根据表示进行修正后得到的值与对象成分浓度的关系 的标准曲线,计算试样中的对象成分的浓度。此外,在本发明中,对对象成分浓度为零且组成相互不同的多个标准试样进行荧 光X射线分析。使用根据光谱求出的对象成分的荧光X射线强度及散射X射线强度,确定 用于从荧光X射线强度减去背景噪声的减法计算公式。在测量浓度时使用减法计算公式从 荧光X射线强度减去背景噪声。通过从对象成分的荧光X射线强度减去背景噪声,对于即 使对象成分浓度低的试样,也可以测量试样中含有的对象成分的浓度。此外,在本发明中,对对象成分浓度不为零且为已知值的多个标准试样进行荧光X
7射线分析。根据对象成分浓度与减去背景噪声后的荧光X射线强度的关系,确定用于对荧 光X射线强度进行与试样的组成对应的修正的修正公式。在测量浓度时对减去背景噪声后 的荧光X射线强度使用修正公式进行修正。由于对从对象成分的荧光X射线强度减去背景 噪声后得到的值进行与试样的组成对应的修正,因此可以与试样的组成无关地得到与对象 成分的浓度对应的值。此外,在本发明中,对对象成分浓度为已知值的多个标准试样进行荧光X射线分 析。预先制作表示对象成分浓度与对减去背景噪声后的荧光X射线强度进行修正后得到的 值的关系的标准曲线。在测量浓度时,使用标准曲线计算对象成分浓度。在本发明中,从根据荧光X射线分析获得的光谱求出的对象成分的荧光X射线强 度减去背景噪声。再对减去背景噪声后的荧光X射线强度进行与试样的组成对应的修正。 由此,可以与试样的组成无关地得到与对象成分的浓度对应的值。因此,无需按照试样的组 成不同制作不同的标准曲线,无论试样的组成如何,都可以利用荧光X射线分析高精度地 测量试样中的对象成分的浓度。特别是对于含有乙醇或生物汽油等新品种液体燃料的液体 燃料,利用本发明可以高精度地测量有害成分的浓度,可以把本发明用于降低液体燃料中 的有害成分。如上所述,本发明具有优良的效果。从以下的详细说明和附图,可以更充分地了解所述的内容以及进一步的目的和功能。


图1是表示本发明的荧光X射线分析装置的结构的示意图。图2是表示二次X射线光谱的例子的示意图。图3是表示进行荧光X射线分析时的状况的示意图。图4A和图4B是表示针对把化石燃料和乙醇混合后的试样评价质量吸收系数、a及 b的结果的图表。图5是表示计算的a及b的关系的特性图。图6是表示荧光X射线分析装置执行的校正处理步骤的流程图。图7是表示荧光X射线分析装置执行的标准曲线制作处理步骤的流程图。图8是表示荧光X射线分析装置执行的浓度测量处理步骤的流程图。
具体实施例方式下面参照表示本发明实施方式的附图对本发明进行具体说明。图1是表示本发明的荧光X射线分析装置结构的示意图。荧光X射线分析装置具 有箱形的框体1,由能屏蔽X射线的材料制成。在框体1的上部构成平面。在框体1上部形 成有开口部。在该开口部上放置收容作为分析对象的试样的试样室3。此外荧光X射线分 析装置设置有盖2,盖2至少覆盖包括开口部的框体1上面的一部分。用盖2覆盖试样室 3。试样室3是用于收容粉末或液体燃料等流体试样的盒。在框体1内部形成有空洞形的测量室。框体1包括X射线管4,向测量室内发射 一次X射线;以及X射线检测器5。X射线管4通过使加速电子冲击靶来产生一次X射线。 在本实施方式中,使X射线管4的靶材料采用钛,使X射线管4的激发电压为8keV。此时,一次X射线的峰的能量为4. 5keV。此外,X射线管4的靶的材料和激发电压也可以与上述 不同。X射线管4配置在向框体1的开口部照射一次X射线的位置。由于试样室3配置在 框体1的开口部的位置,所以在进行荧光X射线分析时,从X射线管4产生的一次X射线照 射到试样室3内的试样上。被照射了一次X射线的试样室3内的试样产生二次X射线,二 次X射线被发射到测量室内。在二次X射线中包括因试样的成分而产生的荧光X射线及作 为被试样散射的一次X射线的散射X射线。X射线检测器5配置在可以检测从试样室3内 的试样产生的二次X射线的位置。图1中用虚线箭头表示X射线管4照射的一次X射线和 X射线检测器5检测的二次X射线通过的路径。X射线检测器5作为检测元件采用比例计 数管,输出与入射到比例计数管的二次X射线的能量成比例的电信号。此外,X射线检测器 5也可以是作为检测元件使用半导体检测元件等比例计数管以外的检测元件的方式。分析输出的电信号的分析部61与X射线检测器5连接。分析部61接收X射线检 测器5输出的电信号,测量与二次X射线的能量对应的各电信号的强度,并计数其数量。然 后,分析部61进行获得二次X射线的能量与计数的数量的关系的处理,即进行获得二次X 射线光谱的处理。处理部62与分析部61连接,处理部62使用分析部61获得的光谱,执行 本发明的浓度测量方法的处理。处理部62由执行运算的运算部、存储伴随运算产生的临时 的数据的RAM以及存储用于执行本发明的浓度测量方法处理的程序的ROM等构成。此外, 处理部62也执行对X射线管4、X射线检测器5及分析部61的动作进行控制的处理。非易 失性存储部63、通过使用者的操作输入各种指示的操作部64及显示用于操作的必要的信 息的显示部65与处理部62连接。下面对本发明的浓度测量方法的原理进行说明。在本实施方式中,作为试样使用 柴油燃料或乙醇等液体燃料,对以硫为对象成分的例子进行说明。图2是表示二次X射线光 谱的例子的示意图。在光谱中包括散射X射线的信号;以及荧光X射线的信号,试样中的 硫因一次X射线激发而产生该荧光X射线的信号。散射X射线的信号的峰的能量为4. 5keV, 硫的荧光X射线的信号的峰的能量为2. 3keV。通过精炼,从作为试样的液体燃料中把硫等 杂质去除了。因此,试样中的硫浓度低,硫的荧光X射线的信号比散射X射线的信号小。通 过测量硫的荧光X射线的信号的峰的大小、或对硫的荧光X射线的信号进行积分,可以求出 硫的荧光X射线强度。可是,在光谱中包含的荧光X射线的信号中,重叠有散射X射线的信号的峰的基础 部分以及系统峰,根据光谱求出的荧光X射线强度包括与散射X射线和系统峰有关的背景 噪声。系统峰是由于由X射线检测器5检测到来自试样的散射X射线及荧光X射线以外的 X射线而包含在光谱中的峰,所述来自试样的散射X射线及荧光X射线以外的X射线包括被 荧光X射线分析装置内的空气散射的X射线、由荧光X射线分析装置内的部件反射的X射 线、或从荧光X射线分析装置内的部件产生的荧光X射线,等等。系统峰与荧光X射线分析 装置的结构有关,是各个荧光X射线分析装置固有的量。如果设通过测量散射X射线的信 号的峰的大小或对散射X射线的信号进行积分可以求出的散射X射线强度为B,则使用常 数α,可以用α XB来表示对象成分的荧光X射线强度中含有的与散射X射线有关的背景 噪声。此外,用常数β来表示荧光X射线强度中含有的与系统峰有关的背景噪声。因此, 设根据光谱求出的硫的荧光X射线强度为S,从硫的荧光X射线强度减去背景噪声后的值为 I,I用下述的公式(1)表示。
权利要求
1.一种浓度测量方法,其特征在于,使用荧光X射线分析装置,向试样照射一次X射线, 获得从所述试样产生的二次X射线的光谱,根据所述光谱求出所述试样中含有的对象成分 的荧光X射线强度,根据求出的所述荧光X射线强度测量所述试样中的所述对象成分的浓 度,所述浓度测量方法包括下述步骤从根据获得的所述光谱求出的所述对象成分的所述荧光X射线强度,减去与所述二次 X射线中含有的散射X射线及所述荧光X射线分析装置固有的信号有关的背景噪声的步 骤;对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度进行与所述试样的组成对应的修正的步骤;以及根据表示所述对象成分的浓度与对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度进行所述 修正后得到的值的关系的标准曲线,计算所述试样中所述对象成分的浓度的步骤。
2.根据权利要求1所述的浓度测量方法,其特征在于,还包括下述步骤获得从所述对象成分浓度为零且组成相互不同的多个标准试样产生的二次X射线的 光谱的步骤;以及使用根据从所述多个标准试样获得的所述光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强 度及散射X射线强度,确定用于从所述对象成分的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声 的减法计算公式的步骤。
3.根据权利要求2所述的浓度测量方法,其特征在于,还包括下述步骤通过把根据从所述多个标准试样获得的所述光谱求出的S和B,代入用于从根据所述 光谱求出的所述对象成分的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声的减法计算公式I= S-α ΧΒ-β中,根据使I = 0的多个公式计算常数α和β,来确定所述减法计算公式的步 骤,其中,I表示减去所述背景噪声后的荧光X射线强度;S表示根据所述光谱求出的所述对 象成分的所述荧光X射线强度;α和β表示常数;B表示根据所述光谱求出的所述散射X 射线强度;以及通过把根据获得的所述光谱求出的S和B代入由计算出的α和β的值确定的所述减 法计算公式中,从所述对象成分的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声的步骤。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的浓度测量方法,其特征在于,还包括下述步骤获得从所述对象成分浓度不为零且为已知值的多个标准试样产生的二次X射线的光谱的步骤;从根据从所述多个标准试样获得的所述光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度 减去所述背景噪声的步骤;以及根据所述多个标准试样的所述对象成分的浓度与减去所述背景噪声后的荧光X射线 强度的关系,确定用于进行所述修正的修正公式的步骤。
5.根据权利要求4要求的浓度测量方法,其特征在于,还包括下述步骤通过根据把Ik、B0和&代入第k个标准试样的所述对象成分的浓度Ck与IkX (BcZBk) Y成比例的关系式中得到的多个公式,计算常数Y,来确定修正公式IX (BcZB) γ的步骤,其 中,Ik表示从根据第k个标准试样的光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度减去所述 背景噪声后得到的值;Btl表示根据作为荧光X射线强度基准的特别指定的基准试样的光谱 求出的散射X射线强度; 表示根据第k个标准试样的光谱求出的散射X射线强度;Y表示常数;以及通过把I和B代入由计算出的γ值确定的所述修正公式,进行所述修正。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的浓度测量方法,其特征在于,还包括下述步骤获得从所述对象成分浓度已知且相互不同的多个标准试样产生的二次X射线的光谱的步骤;从根据获得的多个所述光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度减去所述背景噪 声的步骤;对从所述多个标准试样的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值进行所 述修正的步骤;以及根据所述多个标准试样的所述对象成分的浓度以及对从所述多个标准试样的所述荧 光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值进行所述修正后得到的值,求出表示试样中的 所述对象成分浓度与对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度进行所述修正后得到的值 的关系的标准曲线的步骤。
7.根据权利要求4所述的浓度测量方法,其特征在于,还包括下述步骤获得从所述对象成分浓度已知且相互不同的多个标准试样产生的二次X射线的光谱 的步骤;从根据获得的多个所述光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度减去所述背景噪 声的步骤;对从所述多个标准试样的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值进行所 述修正的步骤;以及根据所述多个标准试样的所述对象成分的浓度以及对从所述多个标准试样的所述荧 光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值进行所述修正后得到的值,求出表示试样中的 所述对象成分浓度与对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度进行所述修正后得到的值 的关系的标准曲线的步骤。
8.根据权利要求5所述的浓度测量方法,其特征在于,还包括下述步骤获得从所述对象成分浓度已知且相互不同的多个标准试样产生的二次X射线的光谱 的步骤;从根据获得的多个所述光谱求出的所述对象成分的荧光X射线强度减去所述背景噪 声的步骤;对从所述多个标准试样的所述荧光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值进行所 述修正的步骤;以及根据所述多个标准试样的所述对象成分的浓度以及对从所述多个标准试样的所述荧 光X射线强度减去所述背景噪声后得到的值进行所述修正后得到的值,求出表示试样中的 所述对象成分浓度与对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度进行所述修正后得到的值 的关系的标准曲线的步骤。
9.一种荧光X射线分析装置,其特征在于,包括照射部,对试样照射一次X射线;获得部,获得从所述试样产生的二次X射线的光谱;以及运算部,根据所述光谱求出所述试样中含有的对象成分的荧光X射线强度,所述荧光X射线分析装置根据所述运算部求出的所述荧光X射线强度计算所述试样中 所述对象成分的浓度,所述荧光X射线分析装置还包括减法计算公式存储部,存储减法计算公式,该减法计算公式用于从根据所述获得部获得的所述光谱由所述运算部求出的所述对象成分的所述荧光X射线强度,减去与二次X射 线中含有的散射X射线及所述荧光X射线分析装置自身固有信号有关的背景噪声;修正公式存储部,存储修正公式,该修正公式用于对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度进行与所述试样的组成对应的修正;标准曲线存储部,存储标准曲线,该标准曲线表示所述对象成分的浓度与对减去所述 背景噪声后的荧光X射线强度进行所述修正后得到的值的关系;减法计算部,使用所述减法计算公式,从根据所述获得部获得的所述光谱由所述运算 部求出的所述对象成分的所述荧光X射线强度,减去所述背景噪声;修正部,对减去所述背景噪声后的荧光X射线强度,使用所述修正公式进行所述修正;以及浓度计算部,根据所述标准曲线,计算所述试样中的所述对象成分的浓度。
全文摘要
本发明提供一种浓度测量方法和荧光X射线分析装置。在本发明中,对含有硫等对象成分的液体燃料等试样进行荧光X射线分析。从通过荧光X射线分析获得的光谱求出的对象成分的荧光X射线强度,减去与散射X射线及系统峰有关的背景噪声。对减去背景噪声后的荧光X射线强度进行与试样的组成对应的修正。预先确定表示对减去背景噪声后的荧光X射线强度进行修正后的值与对象成分浓度的关系的标准曲线。根据标准曲线计算试样中的对象成分浓度。
文档编号G01N23/223GK102072912SQ20101053597
公开日2011年5月25日 申请日期2010年11月3日 优先权日2009年11月5日
发明者大泽澄人 申请人:株式会社堀场制作所
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