专利名称：一种负压力探测联锁方法
技术领域：
本发明涉及一种负压力探测联锁方法，特别地涉及用于离子注入机中的设备安全和保证人员安全的自动运行方法，属于半导体设备领域。
背景技术：
离子注入机属于粒子加速器的一种，在离子注入机运转过程中应保证离子注入机有足够的排气负压力环境。因为离子注入机工作时，会使用到毒性工艺气体，如果设备排气负压力不够，则有毒气体会泄漏到设备以及周围的大气中，会对人员造成致命伤害。在离子注入机安装负压力探测装置检测负压力值，当压力低于高(HIGH)负压值时，设备发出预警信号，当压力低于低(LOW)负压值时，通过联锁电路立即切 断设备高压和气箱供电，并停止有毒工艺气体，使设备处于安全状态，防止事故发生。
发明内容
本发明针对离子注入机的特点而设计的一种简单且可自动执行的排气负压力探测报警方法。本发明专利采用如下技术方案来实现利用(I)负压力排气探测器检测和(2)联锁控制电路，实现自动预警和警报，并可立即切断高压电、气箱供电和毒性工艺气体。(I)负压力探测器，可以判断排气的负压力值，根据负压力的不同发出正常、预警和警报信号。第一，当(I)负压力探测器，探测到排气压力值大于高(HIGH)负压值时，设备排气正常；第二，当(I)负压力探测器，探测到排气压力值小于高(HIGH)负压值时，发出预警信号并通过(2)联锁控制电路来控制预警，此时只会提醒操作人员采取适当的方法进行应对，不会切断设备高压和毒气工艺气体。第三，当(I)负压力探测器，探测到排气压力值小于低(LOW)负压值时，发出警报信号并通过(2)联锁控制电路来立即切断设备高压和气箱供电，停止送有毒工艺气体。这样设备处于安全状态，不会致毒气泄漏到周围环境对人员造成损伤。本发明具有如下显著优点I.利用排气负压力探测器，对离子注入机进行自动安全控制，不受人为干预自动进行，可靠性高。2.此方法具有预警功能，预警警报发生时，不会切断高压和气箱供电，但会发出预警信号，提醒操作人员立即采取措施，具有很高的安全保证。3.提高了注入机在工作中的可靠性和安全性。
图I为⑴负压力探测器和(2)联锁控制电路工作流程图。图2为(I)负压力探测器和(2)联锁控制电路工作原理图。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。本发明专利公开了一种排气负压力联锁方法，具体技术实施方案来如下利用
(I)排气负压力探测器检测负压力值大小(即排气速率)，根据负压力值的不同发出正常、预警和警报三个信号，通过(2)联锁控制电路，实现自动预警和警报，可立即切断设备高压电和毒性工艺气体。第一，当(I)负压力探测器，探测到排气压力值大于HIGH负压值时，则常开触点P1-3和P1-4始终断开，所以(2)联锁控制电路未接收到信号，排气状态正常，设备处于安全运行状态，; 第二，当(I)负压力探测器，探测到排气压力值小于高(HIGH)负压值时，发出预警信号时，则常开触点P1-3和P1-4闭合，通过(2)联锁控制电路的Ql控制继电器Kl线包从吸合变为断开状态，此时Kl的常开触点Κ1-4、Κ1-8由闭合变为断开，然后通过J2-3和J2-4送到主配电控制，来进行预警。此时不会切断设备高压和毒气工艺气体，只会提醒操作人员采取适当的方法进行应对。第三，当⑴负压力探测器，探测到排气压力值小于低(LOW)负压值时，发出警报信号，则常开触点Pl-I和P1-2闭合，通过(2)联锁控制电路的Q2控制继电器K2线包从吸合变为断开状态，此时K2的常开触点K2-4、K2-8由闭合变为断开，然后通过Jl-I和Jl_2送到主配电控制，来进行排气低值警报。当警报发生后，会立即切断设备高压和气箱供电，停止送有毒工艺气体，防止毒性气体泄漏，使设备处于安全状态。本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.一种负压力探测联锁方法，包括(I)负压力探测器；(2)联锁控制电路，控制电路具有正常、预警和警报模块控制部分，其特征在于，当(I)负压力探测器检测设备排气负压，发出信号通过(2)联锁控制电路来自动预警和报警，并可立即切断设备高压电和毒性工艺气体，本发明是对离子注入机的安全性的改进，可确保离子注入机的毒性工艺气体不会对人和环境造成损害，确保离子注入机本身的安全运行。·
全文摘要
一种负压力探测联锁方法，包括(1)负压力探测器，(2)联锁控制电路。其特征在于，当探测器检测到负压时，(1)负压力探测器发出信号，(2)联锁控制电路能自动提示低(LOW)负压状态和高(HIGH)负压状态，确保设备排气和毒气能被抽到专门装置中，一旦排气负压失去则立即切断设备高压供电和工艺毒气，防止污染周围环境，避免对人员造成伤害。本发明提升设备的安全保护功能，可确保离子注入机本身以及设备周围环境安全，用于提高离子注入机的安全运行。
文档编号G01L19/12GK102956423SQ20111024114
公开日2013年3月6日 申请日期2011年8月22日 优先权日2011年8月22日
发明者胡东京, 彭彬, 孙勇 申请人:北京中科信电子装备有限公司