专利名称：用于测量太阳能电池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法
技术领域：
本发明提供了一种用于測量太阳能电池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法， 属于太阳能电池生产技术领域。
背景技术：
氮化硅膜具有良好的绝缘性、致密性、稳定性和对杂质离子掩蔽能力，氮化硅膜作 为太阳能电池的减反射膜，可显著地提高太阳能电池的转换效率，现在行业上做硅太阳能 电池片不管单晶还是多晶都用到氮化硅膜做减反射膜。用于测试氮化硅膜致密性现在有几 种化学方法1、磷酸，需要加热160度以上，在蚀刻中磷酸作为催化剂不參加反应，磷酸并 消耗，真正与Si3N4起反应的是H20。其反应方程式如下
权利要求
1.一种用于测量太阳能电池片氮化硅膜致密性的溶液，其特征在于由如下体积比的组分配制而成的氢氟酸溶液，氢氟酸水=广20 1(Γ100。
2.如权利要求1所述的用于测量太阳能电池片氮化硅膜致密性的溶液，其特征在于 所述氢氟酸与水之间的体积比为广8:8(Γ100。
3.—种如权利要求1所述用于测量太阳能电池片氮化硅膜致密性的溶液的使用方法， 其特征在于包括如下步骤在常温常压下，将镀过氮化硅膜的硅片放在混合均勻的氢氟酸溶液中浸泡，其浸泡时间为10秒-10分钟。
4.如权利要求3所述的用于测量太阳能电池片氮化硅膜致密性的溶液的使用方法，其特征在于所述浸泡时间为2分钟-10分钟。
全文摘要
本发明提供了一种用于测量太阳能电池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法，属于太阳能电池生产技术领域，由如下体积比的组分配制而成的氢氟酸溶液，氢氟酸水=1~20:10~100。本发明操作简单、可随时取出查看腐蚀情况，并检测膜厚，易于生产及实验室用，效率高，使用周期长，对硅片无腐蚀性等特点，能适用于不同尺寸单晶硅或多晶硅太阳能电池片氮化硅膜致密性的测试，适用于大规模生产中也适用于小批量的生产。用本发明测试氮化硅膜致密性可以清楚的知道哪个炉管的镀膜效果比较好，可用于检测各炉管的镀膜效果。
文档编号G01N17/00GK102346127SQ20111026500
公开日2012年2月8日 申请日期2011年9月8日 优先权日2011年9月8日
发明者黄燕 申请人:浙江向日葵光能科技股份有限公司