衍射光学元件位置色差定光轴方法

文档序号:5952373阅读:174来源:国知局
专利名称:衍射光学元件位置色差定光轴方法
技术领域
本发明涉及一种衍射光学兀件的光轴的确定方法。
背景技术
基于优异的结构简化功能,衍射光学元件越来越多地应用于实际的光学系统,随之衍生出衍射光学元件在光学系统中的高精度调整定位问题。要实现衍射元件与光学系统其它元件的光轴一致,首先要确定衍射光学元件的光轴。目前,常用的确定方法是通过衍射光学元件或与之连接、配合的结构零件在加工制造过程中形成的结构性基准确定光轴,主要存在的问题是光轴确定精度与制造水平相关度高,在需要高精度定位时,仅仅依靠制造过程形成的基准,难以满足要求。

发明内容
本发明提供了一种衍射光学元件位置色差定光轴方法,能够简单有效地实现对光学系统中衍射光学元件的光轴的确定。为实现以上发明目的,本发明提出以下基本解决方案衍射光学元件位置色差定光轴方法,包括以下步骤(I)使准直光束通过所述衍射光学元件,由观测装置观察经衍射产生位置色差的准直光束不同色光焦点;(2)旋转衍射光学元件,通过观测装置观察不同色光焦点,当旋转的焦点旋转量最小时,保持此时旋转衍射光学元件的旋转位置;(3)此时各焦点所在拟合直线即确定为衍射光学元件的光轴。基于以上基本方案,本发明还作了如下优化限定上述准直光束为白光,或两种以上色光的准单色光,(两种以上色光的准单色光也可以通过在白光入射至衍射光学元件前安装设置相应的准单色滤光片来实现。)上述的观测装置为连续变倍显微镜,或望远镜,或附带轴向导轨的显微镜,或附带前置物镜的准直仪。可以只选取两种不同色光焦点来拟合直线确定为衍射光学元件的光轴。本发明具有以下优点I、巧妙地利用了衍射光学元件超长位置色差的特点,通过简便的操作即可确定光学系统中衍射光学元件的光轴。2、所需装置简单易实现,光轴确定结果精确度高。


图I为本发明的示意图。
具体实施方式
以下结合附图,对本发明进一步示例说明。本发明利用衍射光学元件超长位置色差的特点,使用白光或两种以上准单色光准直光束,透过衍射光学元件,并借助一定旋转精度的旋转装置,通过观察不同色光轴上焦点,确定光轴。如图I所示,其中I为衍射光学元件;2为准直光束(白光,或附带两种色光以上准单色滤光片的白光,或两种以上色光的准单色光;3为旋转装置,观测借助高精度的旋转装置,光轴的拟合精度与该旋转装置的旋转精度有关;4为观测装置(附带轴向导轨的显微镜,或连续变倍显微镜,或望远镜,或附带准直物镜的准直仪)。衍射光学元件位置色差定光轴方法具体包括以下步骤(I)使准直光束通过所述衍射光学元件,由观测装置观察经衍射产生位置色差的准直光束不同色光焦点; (2)旋转衍射光学元件,通过观测装置观察不同色光焦点,当旋转的焦点旋转量最小时,保持此时旋转衍射光学元件的旋转位置;(3)选取两种不同色光焦点,拟合得到的直线即可认为是衍射光学元件的光轴。
权利要求
1.衍射光学元件位置色差定光轴方法,包括以下步骤 (1)使准直光束通过所述衍射光学元件,由观测装置观察经衍射产生位置色差的准直光束不同色光焦点; (2)旋转衍射光学元件,通过观测装置观察不同色光焦点,当旋转的焦点旋转量最小时,保持此时旋转衍射光学元件的旋转位置; (3)此时各焦点所在拟合直线即确定为衍射光学元件的光轴。
2.根据权利要求I所述的衍射光学元件位置色差定光轴方法,其特征在于所述的准直光束为白光,或两种以上色光的准单色光。
3.根据权利要求I所述的衍射光学元件位置色差定光轴方法,其特征在于所述的观测装置为连续变倍显微镜,或望远镜,或附带轴向导轨的显微镜,或附带前置物镜的准直仪。
4.根据权利要求I所述的衍射光学元件位置色差定光轴方法,其特征在于步骤(3)只选取两种不同色光焦点来拟合直线确定为衍射光学元件的光轴。
全文摘要
本发明提供的衍射光学元件位置色差定光轴方法,能够简单有效地实现对光学系统中衍射光学元件的光轴的确定。该衍射光学元件位置色差定光轴方法,包括以下步骤(1)使准直光束通过所述衍射光学元件,由观测装置观察经衍射产生位置色差的准直光束不同色光焦点;(2)旋转衍射光学元件,通过观测装置观察不同色光焦点,当旋转的焦点旋转量最小时,保持此时旋转衍射光学元件的旋转位置;(3)此时各焦点所在拟合直线即确定为衍射光学元件的光轴。本发明巧妙地利用了衍射光学元件超长位置色差的特点,通过简便的操作即可确定光学系统中衍射光学元件的光轴。本发明所需装置简单易实现,光轴确定结果精确度高。
文档编号G01M11/02GK102759442SQ20121023754
公开日2012年10月31日 申请日期2012年7月10日 优先权日2012年7月10日
发明者李华, 李小燕, 段学霆, 王鹏, 谢永军 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所
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