传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备的制作方法

专利名称：传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种传感器元件、传感器元件的制造方法、传感器装置以及电子设备。
技术背景
作为传感器元件，已知一种角速度传感器(振动陀螺传感器)，其被用于例如车辆 中的车身控制、车辆导航系统的本车位置检测、数码照相机或摄像机等的振动控制补正(所 谓的手抖补正)等，并对角速度、加速度等的物理量进行检测(例如，参照专利文献I)。
例如，专利文献I所记载的角速度传感器具有音叉，所述音叉通过两个臂、和对该 两个臂的一端彼此进行连接的连接部而构成。此外，在专利文献I所记载的角速度传感器 中，音叉由非压电体材料构成，并且在各个臂上分别设置有通过压电薄膜插入在一对电极 之间而构成的驱动部以及检测部。
在这种专利文献I所记载的角速度传感器中，通过向驱动部的一对电极之间施加 电压，从而使臂进行弯曲振动(驱动)。而且，当在该驱动状态下，臂受到绕沿着其延伸方向 的轴线的角速度时，将由于科里奥利力，而使臂向与前文所述的驱动方向正交的方向挠曲， 从而由检测部的一对电极检测出对应于该挠曲量的电荷。根据该被检测出的电荷，而能够 对角速度进行检测。
然而，如前文所述的具有两个臂的音叉一般通过对基板进行蚀刻加工而形成。此 时，由于该基板的蚀刻各向异性或加工工艺的误差等，而难以使音叉的尺寸与设计一致。因 此，存在如下的情况，即，音叉成为非预期的形状，从而即使在臂未受到角速度的状态下，臂 也向与驱动方向不同的方向进行挠曲。当对随着这种臂的挠曲而由检测部的一对电极产生 的电荷进行检测时，将导致检测精度的降低。
因此，在专利文献I所记载的角速度传感器中，通过对检测部的一对电极中的一 个电极进行部分去除，从而对在臂未受到角速度的状态下由检测部的一对电极输出的电荷量进行调节。
但是，在专利文献I所记载的角速度传感器中，存在难以高精度地实施对由检测 部的一对电极输出的电荷量的调节的问题。
专利文献1:日本特开2008-14887号公报发明内容
本发明的目的在于，提供一种能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度的传感器 元件、传感器元件的制造方法以及传感器装置，并且提供一种具备所涉及的传感器装置的、 可靠性较高的电子设备。
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，其能够作为以下的方式 或应用例而实现。
应用例I
本发明的传感器元件的特征在于，具备基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；第一振动臂以及第二振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用 振动臂的驱动振动而进行振动；检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于 所述驱动用振动臂的物理量而输出信号，所述传感器元件还具备第一电极，其被设置在所 述第一振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述第一振动臂的振动而产生电荷； 第二电极，其被设置在所述第二振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述第二振 动臂的振动而产生与所述第一电极极性相反的电荷。
根据以这种方式构成的传感器元件，能够将如下值作为传感器输出而输出，所述 值为，将产生于检测用电极上的电荷量，与产生于第一电极上的电荷量和产生于第二电极 上的电荷量之间的差分相加而得到的值。
而且，通过对第一电极或第二电极的一部分或全部进行去除，从而能够减小产生 于第一电极或第二电极上的电荷量，进而对传感器输出进行调节。具体而言，将传感器输出 调节(补正)为，使在传感器元件上未施加有物理量的状态下的传感器输出成为所需的基准 值(例如零)。
尤其是，由于使第一电极以及第二电极产生相互成为相反极性的电荷，因此无论 在传感器元件上未施加有物理量的状态下的传感器输出与所需的基准值相比较大的情况 下，还是较小的情况下，均能够通过选择第一电极以及第二电极中的任意一个电极并对一 部分或全部进行去除，从而将传感器元件上未施加有物理量的状态下的传感器输出调节为 所需的基准值。
应用例2
在本发明的传感器元件中，优选为，将来自所述第一电极的电荷与来自所述第二 电极的电荷相加而得到的电荷，与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用 电极产生的电荷为相反极性。
由此，能够将传感器输出调节(补正)为，使在传感器元件上未施加有物理量的状 态下的传感器输出成为所需的基准值(例如零)。
应用例3
在本发明的传感器元件中，优选为，所述第一电极以及所述第二电极具备一对主 面电极和一对侧面电极，当所述第一振动臂以及所述第二振动臂以相互同相的方式而进 行振动时，对所述第一电极的所述主面电极以及所述第二电极的所述侧面电极彼此进行连 接，并对所述第一电极的所述侧面电极以及所述第二电极的所述主面电极彼此进行连接。
由此，能够将传感器输出调节(补正)为，使在传感器元件上未施加有物理量的状 态下的传感器输出成为所需的基准值(例如零)。
应用例4
在本发明的传感器元件中，优选为，所述第一电极以及所述第二电极具备一对主 面电极和一对侧面电极，当所述第一振动臂以及所述第二振动臂以相互反相的方式而进 行振动时，对所述第一电极的所述主面电极以及所述第二电极的所述主面电极彼此进行连 接，并对所述第一电极的所述侧面电极以及所述第二电极的所述侧面电极彼此进行连接。
由此，能够将传感器输出调节(补正)为，使在传感器元件上未施加有物理量的状 态下的传感器输出成为所需的基准值(例如零)。
应用例5
在本发明的传感器元件中，优选为，所述第一电极以及所述第二电极中的至少一 方具备共用部，其在第一振动臂或第二振动臂的延伸方向上延伸；多个分支部，其从所述 共用部分支。
由此，能够通过对第一电极或第二电极的多个分支部中的至少一个分支部的中 途、或共用部的中途进行切断，从而减小产生于第一电极或第二电极上的电荷量，进而对传 感器输出进行调节。
尤其是，由于多个分支部从共用部分支，因此即使对任意的分支部进行切断，也能 够维持其他的分支部电连接于检测用电极的状态。
而且，由于多个分支部沿着第一振动臂或第二振动臂的延伸方向而并排设置，因 此能够根据被切断的分支部的位置以及数量，而简单且高精度地对传感器输出进行调节。
应用例6
在本发明的传感器元件中，优选为，多个所述分支部的电极宽度在顶端侧比在所 述共用部侧大。
由此，能够确保调节之前(将共用部或分支部的中途切断之前)的第一电极以及第 二电极的电极面积分别较大，从而增大通过对共用部或分支部的中途进行切断而实施的对 传感器输出的调节幅度，且比较简单地对分支部的中途进行切断。
应用例7
在本发明的传感器中，优选为，多个所述分支部相对于所述共用部的延伸方向而 倾斜。
由此，能够较为简单地对分支部的中途进行切断。
应用例8
在本发明的传感器元件中，优选为，所述分支部分别在所述共用部的两侧分支。
由此，能够减小由共用部输出的电荷。因此，能够使传感器输出的调节较为容易。 此外，能够确保调节之前(将共用部或分支部的中途切断之前)的第一电极以及第二电极的 电极面积较大。
应用例9
在本发明的传感器元件中，优选为，所述第一振动臂以及所述第二振动臂中的至 少一方具有槽部，所述槽部沿着所述延伸方向而设置，所述分支部的至少一部分被设置在 所述槽部的壁面上。
由此，当第一振动臂以及第二振动臂由压电体材料构成时，能够增大产生于第一 电极以及第二电极上的电荷量。因此，能够增大传感器输出的调节幅度。
应用例10
在本发明的传感器元件中，优选为，所述第一振动臂以及所述第二振动臂被设置 为一体，并且相互向相反方向延伸。
由此，能够通过比较简单的结构，而分别使第一振动臂以及第二振动臂随着驱动 用振动臂的驱动振动而高效地进行振动。
应用例11
在本发明的传感器元件中，优选为，在所述第一振动臂以及所述第二振动臂的顶 端部上分别设置有质量调节部。
由此，能够分别对第一振动臂以及第二振动臂的共振频率进行调节。因此，能够分 别使第一振动臂以及第二振动臂的共振频率接近于驱动用振动臂的驱动振动的频率，从而 增大随着驱动用振动臂的驱动振动的、第一振动臂以及第二振动臂的振动的幅度，随之，增 大产生于第一电极以及第二电极上的电荷量。其结果为，能够增大传感器输出的调节幅度。
应用例12
在本发明的传感器元件中，优选为，所述检测部具有检测用振动臂，所述检测用振 动臂从所述基部延伸，并根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而进行振动，所述检测 用电极被设置在所述检测用振动臂上。
由此，能够增大检测用电极的电极面积。因此，能够提高传感器元件的检测灵敏度。
应用例13
本发明的传感器元件的制造方法为一种传感器元件的制造方法，其特征在于，所 述传感器元件具备基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；第一振动 臂以及第二振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动； 检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而 输出信号，第一电极，其被设置在所述第一振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着 所述第一振动臂的振动而产生电荷；第二电极，其被设置在所述第二振动臂上，且与所述检 测用电极电连接，并随着所述第二振动臂的振动而产生与所述第一电极极性相反的电荷， 所述传感器元件的制造方法包括电荷调节工序，在所述电荷调节工序中，通过对所述第一 电极或所述第二电极的一部分或全部进行去除，从而对产生于所述第一电极或所述第二电 极上的电荷量进行调节。
根据这种传感器元件的制造方法，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。
应用例14
在本发明的传感器元件的制造方法中，优选为，在所述电荷调节工序之前，包括 对在通过通电而使所述驱动用振动臂进行振动的状态下，产生于所述检测用电极上的电荷 进行测量的工序；根据该测量结果而对所述第一振动臂以及所述第二振动臂中的至少一方 的振动臂的共振频率进行调节的工序。
由此，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。
应用例15
在本发明的传感器装置中，优选为，具有本发明的传感器元件；使所述驱动用振 动臂进行驱动的电路；对来自所述检测用电极的输出进行检测的电路。
由此，能够提供一种价格低廉且具有优异的检测灵敏度的传感器装置。
应用例16
本发明的电子设备的特征在于，具有本发明的传感器元件。
由此，能够提供一种具有优异的可靠性的电子设备。


图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的传感器装置(电子装置)的概要结构的 模式剖视图。
图2为图1所示的传感器装置的俯视图。
图3为表示在图1所示的传感器装置中所具备的传感器元件的俯视图。
图4 Ca)为表示图3所示的传感器元件的驱动用振动臂的放大俯视图，图4 (b) 为图4 (a)所示的驱动用振动臂的剖视图。
图5 Ca)为表示图3所示的传感器元件的检测用振动臂的放大俯视图，图5 (b) 为图5 (a)所示的检测用振动臂的剖视图。
图6 Ca)为表示图3所示的传感器元件的第一调节用振动臂的放大俯视图，图6 (b)为图6 (a)所示的第一调节用振动臂的剖视图。
图7 Ca)为表示图3所示的传感器元件的第二调节用振动臂的放大俯视图，图7 (b)为图7 (a)所示的第二调节用振动臂的剖视图。
图8为表示图3所示的传感器元件中的检测用电极以及调节用电极的连接状态的 图。
图9为用于对图3所示的传感器元件的动作进行说明的图。
图10 (a)为表示图5所示的检测用电极的泄漏输出的图，图10 (b)为表示图6 以及图7所示的调节用电极的输出的图。
图11为表示本发明的传感器元件的特性调节方法的一个示例的流程图。
图12为用于对本发明的传感器元件的特性调节方法的一个示例进行说明的图。
图13为表示本发明的第二实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大 俯视图。
图14为表示本发明的第三实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大 俯视图。
图15为表示本发明的第四实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大 俯视图。
图16为表示本发明的第五实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。
图17 放大俯视图，图
图18 俯视图。
图19 构的立体图。
图20为表示应用了本发明的电子设备的移动电话(也包括PHS (Personal Handy-phone System :个人移动电话系统))的结构的立体图。
图21为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。(a)为表示本发明的第六实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的 17 (b)为图17 (a)所示的调节用振动臂的剖视图。为表示本发明的第七实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大为表示应用了本发明的电子设备的便携式(或笔记本式)的个人计算机的结具体实施方式
以下，根据附图所示的实施方式，而对本发明的传感器元件、传感器元件的制造方 法、传感器装置以及电子设备进行详细说明。
第一实施方式
首先，对本发明的第一实施方式进行说明。
图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的传感器装置(电子装置)的概要结构的 模式剖视图，图2为图1所示的传感器装置的俯视图，图3为表示在图1所示的传感器装置 中所具备的传感器元件的俯视图，图4 Ca)为表示图3所示的传感器元件的驱动用振动臂 的放大俯视图，图4 (b)为图4 (a)所示的驱动用振动臂的剖视图，图5 (a)为表示图3所 示的传感器元件的检测用振动臂的放大俯视图，图5 (b)为图5 (a)所示的检测用振动臂 的剖视图，图6 Ca)为表示图3所示的传感器元件的第一调节用振动臂的放大俯视图，图6 (b)为图6 (a)所示的第一调节用振动臂的剖视图，图7 (a)为表示图3所示的传感器元件 的第二调节用振动臂的放大俯视图，图7 (b)为图7 (a)所示的第二调节用振动臂的剖视 图，图8为表示图3所示的传感器元件中的检测用电极以及调节用电极的连接状态的图，图 9为用于对图3所示的传感器元件的动作进行说明的图，图10 Ca)为表示图5所示的检测 用电极的泄漏输出的图，图10 (b)为表示图6以及图7所示的调节用电极的输出的图。
另外，在下文中，为了便于说明，在图1 7中，作为相互正交的三个轴，图示了 X 轴、y轴以及z轴，并将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与y轴平行的方向称为“y轴 方向”，将与z轴平行的方向称为“z轴方向”。此外，也将+ z轴侧称为“上”，将一 z轴侧称 为“下”。
传感器装置
图1以及图2所示的传感器装置I为，对作为物理量的角速度进行检测的陀螺传 感器。
这种传感器装置I能够用于，例如摄像设备的手抖补正、使用了 GPS (Global Positioning System :全球定位系统)卫星信号的移动体导航系统中的车辆等的姿态检测、 姿态控制等。
如图1以及图2所示，该传感器装置I具有传感器元件2 ；IC (Integrated Circuit :集成电路)芯片3 ;封装件4，其对传感器元件2和IC芯片3进行收纳。
以下，对构成传感器装置I的各个部分依次进行说明。
传感器元件2
传感器元件2为，对绕一个轴的角速度进行检测的陀螺传感器元件。
如图3所示，该传感器元件2具有基部21 ;—对驱动用振动臂221、222 对检测 用振动臂231、232 ;—对调节用振动臂241、242 (称为第一调节用振动臂或第一振动臂)以 及一对调节用振动臂243、244 (称为第二调节用振动臂或第二振动臂)；支承部25 ;四个连 结部261、262、263、264 ;驱动用电极组51,52 ;检测用电极组53,54 ;调节用电极组55、56、 58、59。
在本实施方式中，基部21、一对驱动用振动臂221、222、一对检测用振动臂231、 232、一对调节用振动臂241、242以及一对调节用振动臂243、244、支承部25以及四个连结 部261、262、263、264由压电体材料一体地形成。作为这种压电体材料,虽然并不被特别限 定，但优选使用水晶。由此，能够使传感器元件2的特性较为优异。
水晶具有相互正交的X轴(电轴)、Y轴(机械轴)以及Z轴(光学轴)。基部21、一对 驱动用振动臂221、222、一对检测用振动臂231、232、一对调节用振动臂241、242以及一对 调节用振动臂243、244、支承部25以及四个连结部261、262、263、264例如能够通过对如下基板进行蚀刻加工而形成，所述基板由Z轴存在于厚度方向上且具有与X轴以及Y轴平行 的板面的水晶构成。所涉及的基板的厚度根据传感器元件2的振荡频率(共振频率)、外形 尺寸以及加工性等而被适当设定。另外，在下文中，以基部21、一对驱动用振动臂221、222、 一对检测用振动臂231、232、一对调节用振动臂241、242以及一对调节用振动臂243、244、 支承部25以及四个连结部261、262、263、264由水晶一体地构成的情况为例而进行说明。
基部21经由四个连结部261、262、263、264而被支承在支承部25上。四个连结部 261、262、263、264分别呈长条形状，且一端与基部21连结，另一端与支承部25连结。
驱动用振动臂221、222分别从基部21向y轴方向(+y轴方向)延伸。此外，驱 动用振动臂221、222分别沿着水晶的Y轴延伸。而且，驱动用振动臂221、222的横截面分 别呈由与X轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。
而且，在驱动用振动臂221上设置有驱动用电极组51，同样地，在驱动用振动臂 222上设置有驱动用电极组52。
以下，代表性地对驱动用电极组51进行说明。另外，关于驱动用电极组52，由于与 驱动用电极组51相同，因此省略其说明。
如图4 (a)、(b)所示，驱动用电极组51通过被设置在驱动用振动臂221的上表面 上的驱动用电极511、被设置在驱动用振动臂221的下表面上的驱动用电极512、被设置在 驱动用振动臂221的一个(图4中的左侧)侧面上的驱动用电极513、以及被设置在驱动用 振动臂221的另一个(图4中的右侧)侧面上的驱动用电极514而构成。
驱动用电极511以及驱动用电极512以相互成为相同的电位的方式，经由未图示 的配线而相互电连接。此外，驱动用电极513以及驱动用电极514以相互成为相同的电位 的方式，经由未图示的配线而相互电连接。这种驱动用电极511、512经由未图示的配线，而 与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57a电连接。此外，驱动用电极513、514经由 未图示的配线，而与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57b电连接。
检测用振动臂231、232分别从基部21向y轴方向(一 y轴方向)延伸。此外，检 测用振动臂231、232分别沿着水晶的Y轴而延伸。而且，检测用振动臂231、232的横截面 分别呈由与X轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。
这种检测用振动臂231、232为，分别根据被施加于驱动用振动臂221、222的物理 量而进行振动的构件。
而且，在检测用振动臂231上设置有检测用电极组53，同样地，在检测用振动臂 232上设置有检测用电极组54。如此，通过在作为独立于驱动用振动臂221、222而设置的 检测用振动臂231、232上设置检测用电极组53、54，从而能够增大检测用电极组53、54的 检测用电极的电极面积(作为电极而发挥功能的部分的面积)。因此，能够提高传感器元件 2的检测灵敏度。
以下，代表性地对检测用电极组53进行说明。另外，关于检测用电极组54，由于与 检测用电极组53相同，因此省略其说明。
如图5 (a)、(b)所示，检测用电极组53通过被设置在检测用振动臂231的上表面 上的检测用电极531、532、和被设置在检测用振动臂231的下表面上的检测用电极533、534 而构成。此处，检测用电极531、533分别被设置在检测用振动臂231的宽度方向上的一侧 (图5中的左侧)，此外，检测用电极532、534分别被设置在检测用振动臂231的宽度方向上的另一侧(图5中的右侧)。
检测用电极531以及检测用电极534以相互成为相同电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，检测用电极532以及检测用电极533以相互成为相同电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。这种检测用电极531、534经由未图示的配线，而与图 3所示的、被设置在支承部25上的端子57c电连接。此外，检测用电极532、533经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57e电连接。另外，检测用电极组 54经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57d、57f电连接。
调节用振动臂241、242 (第一调节用振动臂)分别从基部21向y轴方向(+y轴方向)延伸，另一方面，调节用振动臂243、244 (第二调节用振动臂)分别从基部21向y轴方向(一 y轴方向)延伸。
在本实施方式中，在基部21的X轴方向上的两端部上，沿着X轴方向而延伸出一对臂部211、212，调节用振动臂241以及调节用振动臂243从一个臂部211的顶端部起延伸，而调节用振动臂242以及调节用振动臂244从另一个臂部212的顶端部起延伸。由此， 能够使调节用振动臂241 244随着驱动用振动臂221、222的驱动振动而高效地进行振动。
如此，调节用振动臂241以及调节用振动臂243从基部21起相互向相反方向延伸。同样地，调节用振动臂242以及调节用振动臂244从基部21起相互向相反方向延伸。由此，能够通过比较简单的结构，使调节用振动臂241、242、243、244随着驱动用振动臂221、 222的驱动振动，而分别高效地进行振动。
此外，调节用振动臂241、242、243、244分别沿着水晶的Y轴而延伸。而且，调节用振动臂241、242、243、244的横截面分别呈由与x轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。该调节用振动臂241 244分别具备第一面(表面)、该第一面的相反侧的第二面(背面)、以及对所述第一面和所述第二面进行连结的一对侧面。
这种调节用振动臂241、242、243、244被设置为，与前文所述的驱动用振动臂221、 222平行。S卩，驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242、243、244在相互平行的方向上延伸。由此，当由水晶构成驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242、243、244 等时，能够将驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242、243、244构成为分别沿着水晶的Y轴而延伸，从而使驱动用振动臂221、222高效地进行振动，并且通过简单的结构而使调节用电极组55、56、58、59的调节用电极产生电荷。
此外，在调节用振动臂241、243的顶端部上，分别设置有以宽度大于基端部的方式而形成的质量部2411、2431 (锤部)(参照图6 (a)、 图7 (a))。同样地，在调节用振动臂 242,244的顶端部上，分别设置有以宽度大于基端部的方式而形成的质量部(锤部)。由此， 能够增大调节用振动臂241 244的顶端部的质量，从而减小调节用振动臂241 244的固有振动频率(共振频率)、或者能够抑制调节用振动臂241 244的长度。
此外，在调节用振动臂241、243的顶端部(质量部2411、2431)上分别设置有能够根据需要而使一部分或者全部被去除的质量调节用膜2412、2432 (参照图6 (a)、图7 (a))。 同样地，在调节用振动臂242、244的顶端部(质量部)上分别设置有能够根据需要而使一部分或者全部被去除的质量调节用膜。
由此，能够分别对调节用振动臂241 244的共振频率进行调节。因此，能够分别使调节用振动臂241 244的共振频率接近于驱动用振动臂221、222的驱动振动的频率， 从而增大随着驱动用振动臂221、222的驱动振动的、调节用振动臂241 244的振动的振 幅，随此，增大调节用电极组55、56、58、59的调节用电极的电荷量。其结果为，能够增大后 文叙述的传感器输出的调节幅度。
作为这种质量调节用膜2412、2432的构成材料，虽然并不被特别限定，但是从能 够增大调节用振动臂241 244的质量的调节幅度的观点出发，优选为，使用比重大于调节 用振动臂241 244的构成材料的材料，此外，从能够与调节用电极组55 —并形成从而简 化制造工序的观点出发，优选使用与调节用电极组55等相同的构成材料(金属材料)。
而且，在调节用振动臂241上设置有调节用电极组55，同样地，在调节用振动臂 242上设置有调节用电极组56。此外，在调节用振动臂243上设置有调节用电极组58，同样 地，在调节用振动臂244上设置有调节用电极组59。
以下，代表性地对调节用电极组55、58进行说明。另外，关于调节用电极组56、59， 由于与调节用电极组55、58相同，因此省略其说明。
如图6 (a)、(b)所示，调节用电极组55通过被设置在调节用振动臂241的上表面 上的调节用电极551 (称为第一调节用电极或第一电极)、被设置在调节用振动臂241的下 表面上的调节用电极552 (称为第一调节用电极或第一电极)、被设置在调节用振动臂241 的一个(图6中的左侧)侧面上的调节用电极553 (称为第一调节用电极或第一电极)、以及 被设置在调节用振动臂241的另一个(图6中的右侧)侧面上的调节用电极554 (称为第一 调节用电极或第一电极)而构成。
调节用电极(主面电极)551以及调节用电极(主面电极)552被形成为，在俯视观 察时相互重叠。即，调节用电极551以及调节用电极552被形成为，在俯视观察时彼此的外 形相一致。根据以这种方式形成的调节用电极551以及调节用电极552，在如后文所述这样 将调节用电极551的分支部61切断时，也能够同时切断与该被切断的分支部61相对应的 调节用电极552的分支部(未图示)。
调节用电极(主面电极)551以及调节用电极(主面电极)552以相互成为相同电位 的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，调节用电极(侧面电极)553以及调节用电 极(侧面电极)554以相互成为相同电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。这种调 节用电极551、552经由未图示的配线，而与前文所述的检测用电极532、533 —起，与图3所 示的、被设置在支承部25上的端子57e电连接。此外，调节用电极553、554经由未图示的 配线，而与前文所述的检测用电极531、534 —起，与图3所示的、被设置在支承部25上的端 子57c电连接。另外，调节用电极组56经由未图示的配线，而与检测用电极组54 —起，与 图3所示的、被设置在支承部25上的端子57d、57f电连接。
如图7 (a)、(b)所示，调节用电极组58通过被设置在调节用振动臂243的上表面 上的调节用电极581 (称为第二调节用电极或第二电极)、被设置在调节用振动臂243的下 表面上的调节用电极582 (称为第二调节用电极或第二电极)、被设置在调节用振动臂243 的一个(图7中的左侧)侧面上的调节用电极583 (称为第二调节用电极或第二电极)、以及 被设置在调节用振动臂243的另一个(图7中的右侧)侧面上的调节用电极584 (称为第二 调节用电极或第二电极)而构成。
调节用电极(主面电极)581以及调节用电极(主面电极)582被形成为，在俯视观察时相互重叠。即，调节用电极581以及调节用电极582被形成为，在俯视观察时彼此的外 形相一致。根据以这种方式而形成的调节用电极581以及调节用电极582，在如后文所述这 样将调节用电极581的分支部91切断时，也能够同时切断与该被切断的分支部91相对应 的调节用电极582的分支部(未图示)。
调节用电极551 554以及调节用电极581 584以相互成为相反极性的方式， 而与检测用电极531 534电连接。
具体而言，调节用电极(主面电极)581以及调节用电极(主面电极)582以相互成 为相同电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，调节用电极(侧面电极)583以 及调节用电极(侧面电极)584以相互成为相同电位的方式而电连接。这种调节用电极581、 582经由未图示的配线，而与前文所述的检测用电极531、534—起，与图3所示的、被设置在 支承部25上的端子57c电连接。此外，调节用电极583、584经由未图示的配线，而与前文 所述的检测用电极532、533 —起，与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57e电连接。 另外，调节用电极组59经由未图示的配线，而与检测用电极组54 —起，与图3所示的、被设 置在支承部25上的端子57d、57f电连接。
在本实施方式中，如后文所述，为了使调节用振动臂241以及调节用振动臂242以 相互同相的方式而进行振动，从而如前文所述，对调节用振动臂241的调节用电极(第一电 极)551、552以及调节用振动臂242的调节用电极(第二电极)583、584彼此进行连接，并对 调节用振动臂241的调节用电极(第二电极)553、554以及调节用振动臂242的调节用电极 (第一电极)581、582彼此进行连接。
另外，当调节用振动臂241以及调节用振动臂242以相互反向的方式而进行振动 时，只需对调节用振动臂241的调节用电极(第一电极)551,552以及调节用振动臂242的 调节用电极(第一电极)581、582彼此进行连接，并对调节用振动臂241的调节用电极(第二 电极)553,554以及调节用振动臂242的调节用电极(第二电极)583,584彼此进行连接即可。
如图8所示，在具有这种调节用电极581 584的传感器元件2中，能够将产生 于检测用电极531、534上的电荷量、与产生于调节用电极551、552和调节用电极583、584 上的电荷量相加而得到的值，作为传感器输出而从端子57c输出，并将产生于检测用电极 532、533上的电荷量、与产生于调节用电极581、582和调节用电极553、554上的电荷量相加 而得到的值，作为传感器输出而从端子57e输出。
调节用电极551、552与调节用电极583、584以相反极性进行连接，从而将所产生 的电荷相互抵消。此外，调节用电极553、554与调节用电极581、582以相反极性进行连接， 从而将所产生的电荷相互抵消。
而且，通过对调节用电极551、552的一部分或全部进行去除，从而能够减小产生 于调节用电极551、552和调节用电极553、554上的电荷量。由此，产生于调节用电极551、 552和调节用电极553、554上的电荷量、与产生于调节用电极581、582和调节用电极583、 584上的电荷量之间产生差异。该差分的电荷量成为对传感器输出进行调节的信号(调节信 号)。另外，此处所输出的调节信号的极性成为调节用电极581、582和调节用电极583、584 的极性。
此外，通过对调节用电极581、582的一部分或全部进行去除，从而能够减小产生于调节用电极581、582和调节用电极583、584上的电荷量。由此，产生于调节用电极581、 582和调节用电极583、584上的电荷量、与产生于调节用电极551、552和调节用电极553、 554上的电荷量之间产生差异。该差分的电荷量成为对传感器输出进行调节的信号(调节信 号)。另外，此处所输出的调节信号的极性成为调节用电极551、552和调节用电极553、554 的极性。
具体而言，例如能够将传感器输出调节(补正)为，在传感器元件2上未施加有物理 量的状态下的传感器输出(以下，也称为“零点输出”)成为零。
尤其是，由于调节用电极551 554以及调节用电极581 584以相互成为相反 极性的方式，而与检测用电极531 534电连接，因此无论在传感器元件2上未施加有物理 量的状态下的传感器输出与所需的基准值相比较大的情况下，还是较小的情况下，均能够 通过选择调节用电极551、552以及调节用电极581、582中的任一个调节用电极并对一部分 或全部进行去除，从而将传感器元件2上未施加有物理量的状态下的传感器输出调节为所 需的基准值。
以下，对调节用电极551进行详细叙述。另外，由于调节用电极552、581、582与调 节用电极551相同，因此省略其说明。
如图6 (a)所示，调节用电极551具备共用部60和多个分支部61。
共用部60与前文所述的检测用电极531、534电连接。
此外，多个分支部61从共用部60分支且沿着调节用振动臂241的延伸方向而并 排设置。
这种调节用电极551、552能够通过对多个分支部61中的至少一个分支部61的 中途、或者共用部60的中途进行切断，从而减少来自调节用电极551、552以及调节用电极 553,554的电荷量，进而对传感器输出进行调节。
尤其是，由于多个分支部61从共用部60分支，因此即使对任意的分支部61进行 切断，也能够维持其他的分支部61电连接于共用部60的状态。即，能够将调节用电极551 的面积减少多个分支部61中的任意分支部61的量。
而且，由于多个分支部61沿着调节用振动臂241的延伸方向而并排设置，因此能 够根据被切断的分支部61的位置以及数量，而简单并且高精度地对传感器输出进行调节。
在本实施方式中，共用部60沿着调节用振动臂241的延伸方向而延伸，多个分支 部61从共用部60的长度方向上的互不相同的多个部位起分支。由此，能够简化调节用电 极551的结构。
在本实施方式中，如图6 (a)所示，在俯视观察时(从z轴方向观察时)，共用部60 偏置于调节用振动臂241的宽度方向上的一侧。此外，共用部60被形成为狭窄的宽度。由 此，能够比较简单地将共用部60的中途切断。
此外，各个分支部61具有宽度狭窄部62，其以狭窄的宽度被形成在共用部60 侧；宽度宽大部63，其以宽大的宽度被形成在与共用部60相反的一侧。如此，由于各个分 支部61具有宽度宽大部63，从而能够确保调节之前(将共用部60或分支部61的中途切断 之前)的调节用电极551的电极面积较大，进而增大通过共用部60或分支部61的中途的切 断而实施的对传感器输出的调节幅度。此外，由于各个分支部61具有宽度狭窄部62，从而 能够比较简单地将分支部61的中途切断。
此外，多个宽度狭窄部62以相互平行的方式而设置。此外，各个宽度狭窄部62在与调节用振动臂241的延伸方向正交的方向、即X轴方向上延伸。
此外，多个分支部61被形成为，相互为相同的尺寸。此外，多个分支部61在调节用振动臂241的延伸方向、即y轴方向上，以等间距并排设置。
在以这种方式构成的传感器元件2中，通过向端子57a和端子57b之间施加驱动信号，从而如图9所示，驱动用振动臂221和驱动用振动臂222以相互接近、远离的方式而进行弯曲振动(驱动振动)。即，交替反复如下两个状态，所述两个状态为，驱动用振动臂221 向图9所示的箭头标记Al的方向弯曲，且驱动用振动臂222向图9所示的箭头标记A2的方向弯曲的状态、和驱动用振动臂221向图9所示的箭头标记BI的方向弯曲，且驱动用振动臂222向图9所示的箭头标记B2的方向弯曲的状态。
当以这种方式而使驱动用振动臂221、222进行驱动振动的状态下，向传感器元件 2施加绕y轴的角速度ω时，驱动用振动臂221、222将通过科里奥利力，而在ζ轴方向上相互向相反侧进行弯曲振动。随之，检测用振动臂231、232将在ζ轴方向上相互向相反侧进行弯曲振动(检测振动)。即，交替反复如下两个状态，所述两个状态为，检测用振动臂231 向图9所示的箭头标记Cl的方向弯曲，且检测用振动臂232向图9所示的箭头标记C2的方向弯曲的状态、和检测用振动臂231向图9所示的箭头标记Dl的方向弯曲，且检测用振动臂232向图9所示的箭头标记D2的方向弯曲的状态。
通过对由于这种检测用振动臂231、232的检测振动而产生于检测用电极组53、54 上的电荷进行检测，从而能够求出施加于传感器元件2的角速度ω。
此时，调节用振动臂241、242也随着驱动用振动臂221、222的驱动振动，而在相互接近、远离的方向上进行弯曲振动。同样地，调节用振动臂243、244也随着驱动用振动臂 221,222的驱动振动，而在相互接近、远离的方向上进行弯曲振动。此外，在本实施方式中， 交替反复如下两个状态，所述两个状态为，调节用振动臂241以及调节用振动臂242向相互接近的方向弯曲，且调节用振动臂243以及调节用振动臂244向相互接近的方向弯曲的状态、和调节用振动臂241以及调节用振动臂242向相互远离的方向弯曲，且调节用振动臂 243以及调节用振动臂244向相互远离的方向弯曲的状态。
在所涉及的传感器元件2中，例如当由于制造时的误差而导致驱动用振动臂221、 222的横截面形状与设计不一致时，在未向传感器元件2施加物理量并通过通电而使驱动用振动臂221、222进行振动的状态下，如图10 (a)所示，将在检测用电极531、534以及检测用电极532、533上产生作为泄漏输出S的电荷。
此外，在传感器元件2中，无论在传感器元件2上是否施加有物理量，均随着驱动用振动臂221、222的驱动振动，如图10(b)所示，而在调节用电极551、552以及调节用电极 553,554上产生作为调节用输出Tl的电荷，并在调节用电极581、582以及调节用电极583、 584上产生作为调节用输出T2的电荷。
调节用输出Tl和调节用输出T2相互为相反极性(反相)。此外，通过使调节用输出Tl和调节用输出T2的合计Tl + T2与泄漏输出S相抵消，从而能够使传感器元件2的零点输出成为零。
即，对来自调节用电极551 554的电荷以及来自调节用电极581 584的电荷进行加算后的电荷、与当驱动用振动臂221、222上未施加有物理量时从检测用电极231、232产生的电荷为相反极性。
因此，通过对调节用电极551、552或调节用电极581、582的一部分或全部进行去 除，以使调节用输出Tl和调节用输出T2的合计Tl + T2与泄漏输出S相抵消，从而对传感 器输出进行调节。
即，传感器元件2的制造方法包括电荷调节工序，在所述电荷调节工序中，通过对 调节用电极551、552或调节用电极581、582的一部分或全部进行去除，从而对在所述调节 用电极551 554或调节用电极581 584上产生的电荷量进行调节。
此处，列举具体示例而对电荷调节工序(传感器元件2的特性调节方法)进行说明。 另外，虽然在下文中，代表性地对与检测用振动臂231以及调节用振动臂241、243相关的特 性调节进行说明，但对与检测用振动臂232以及调节用振动臂242、244相关的特性调节而 H也是相同的。
图11为表示本发明的传感器元件的特性调节方法的一个示例的流程图，图12为 用于对本发明的传感器元件的特性调节方法的一个示例进行说明的图。
传感器元件2的特性调节方法中，准备前文所述的传感器元件2，通过对传感器元 件2的调节用电极551、552或调节用电极581、582的一部分或全部进行去除，从而对传感 器元件2的特性进行调节。
如前文所述，当产生如图10 (a)所示的泄漏输出S且产生如图10 (b)所示的调 节用输出Tl、T2时，通过选择调节用电极551、552以及调节用电极581、582中的调节用电 极551、552，并对一部分进行去除，从而对传感器元件2的特性进行调节。
另外，当泄漏输出S为，与图10 (a)所不的输出成为相反极性(反相)时,只需通 过选择调节用电极581、582并对一部分进行去除，从而对传感器元件2的特性进行调节即 可。此外，作为需要去除一部分的调节用电极，只需根据后文叙述的步骤SI的测量结果，来 判断是选择调节用电极551、552，还是选择调节用电极581、582即可。
以下，如前文所述，以产生如图10 (a)所示的泄漏输出S且产生如图10 (b)所示 的调节用输出T1、T2的情况为代表而进行具体说明。
在所涉及的情况下，具体而言，通过将调节用电极551的多个分支部61中的至少 一个分支部61的中途、或共用部60的中途切断，从而对传感器元件2的特性进行调节。根 据这种传感器元件2的特性调节方法，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。另外，关 于调节用电极552，也与调节用电极551同样地被去除一部分。
在实施所涉及的特性调节时，于通过通电而使驱动用振动臂221、222进行振动的 状态下，对从端子57c、57e输出的电荷量进行测量，并根据该测量结果来实施所述切断。由 此，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。
更具体地进行说明，如图11所示，首先对泄漏输出(零点输出)进行测量(步骤 SI)。
然后，根据该测量结果，而对是否需要粗调节进行判断(步骤S2)。具体而言，当零 点输出在第一设定值(例如IOOpA左右)以上时，判断为需要粗调节，而当零点输出小于第一 设定值时，判断为不需要粗调节。
当判断为需要粗调节时，实施粗调节(步骤S3)。具体而言，例如，如图12 (a)所 示，将调节用电极551的多个分支部61中位于调节用振动臂241的基端侧的分支部61切断需要的数量。
此处，通过针对于各个分支部61，利用实验或计算等而预先求出由于切断而产生 的调节用输出T的减少量，从而能够根据在步骤SI中所测量出的零点输出，而适当地对需 要切断的分支部61的数量以及位置进行选择。
此外，分支部61的切断并不被特别限定，例如可以使用激光来实施。
此外，当判断为需要粗调节时，根据需要，通过对质量调节用膜2412、2432的一部 分或全部进行去除，从而分别对调节用振动臂241、243的共振频率进行调节。即，根据需 要，在电荷调节工序之前，包括对在通过通电而使驱动用振动臂221、222进行振动的状态 下，产生于检测用电极531 534上的电荷量进行测量的工序；根据该测量结果而对调节用 振动臂241 244中的至少一个调节用振动臂的共振频率进行调节的工序。由此，能够增 大传感器输出的调节幅度。另外，在图12 (a)中，图示了通过对质量调节用膜2412的一部 分进行去除而形成的质量调节用膜2412A。
质量调节用膜2412、2432的一部分或全部的去除并不被特别限定，例如可以使用 激光来实施。
在所涉及的粗调节之后，再次返回至步骤SI，而对泄漏输出(零点输出)进行测量。 而且，在零点输出成为小于第一设定值之前，交替反复对零点输出的测量和粗调节。
另一方面，当判断为不需要粗调节时，根据步骤SI中的测量结果，而对是否需要 微调节进行判断(步骤S4)。具体而言，当零点输出在小于第一设定值的第二设定值(例如 IOpA左右)以上时，判断为需要微调节，而当零点输出小于第二设定值时，判断为不需要微 调节。
当判断为需要微调节时，实施微调节(步骤S5)。具体而言，例如，如图12(b)或图 12 (c)所示，将调节用电极551的多个分支部61中位于调节用振动臂241的顶端侧的分 支部61切断需要的数量。另外，图12 (b)图示了未实施粗调节而实施了微调节的情况，图 12 (c)图示了在实施了粗调节之后实施了微调节的情况。此外，虽然在图12 (b)、(c)中， 图示了对分支部61的宽度狭窄部62进行切断的情况，但也可以对共用部60的中途进行切 断。由此，能够通过一次切断而汇总多个分支部61的量，从而减小调节用电极551的电极 面积。
此处，与粗调节相同，通过针对于各个分支部61，利用实验或计算等而预先求出由 于切断而产生的调节用输出T的减少量，从而能够根据在步骤SI中所测量出的零点输出， 而适当地对需要切断的分支部61的数量以及位置进行选择。
在所涉及的微调节之后，再次返回至步骤SI，而对泄漏输出(零点输出)进行检测。 而且，在零点输出成为小于第二设定值之前，交替反复对零点输出的测量和微调节。
另一方面，当判断为不需要进行微调节时，结束传感器元件2的特性调节。
根据如以上所说明的传感器2的特性调节方法，由于能够根据需要而任意选择并 实施如前文所述的粗调节以及微调节，因而能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。
IC 芯片 3
图1以及图2所示的IC芯片3为一种电子部件，其具有对前文所述的传感器进行 驱动的功能、和对来自传感器元件2的输出(传感器输出)进行检测的功能。
虽然未图示，但这种IC芯片3具备驱动电路，其对传感器元件2进行驱动；检测电路，其对来自传感器元件2的输出进行检测。
此外，在IC芯片3上设置有多个连接端子31。
封装件4
如图1以及图2所不，封装件4具备基座部件41(基座),其具有向上方开放的凹 部；盖部件42 (盖体)，其以覆盖该基座部件41的凹部的方式而设置。由此，在基座部件41 和盖部件42之间，形成有用于收纳传感器元件2以及IC芯片3的内部空间。
基座部件41通过平板状的板体411 (板部)、和与板体411的上表面的外周部接合 的框体412 (框部)而构成。
这种基座部件41例如由氧化铝质烧结体、水晶、玻璃等构成。
如图1所示，在基座部件41的上表面(被盖部件42所覆盖的一侧的表面)上，通过 如包括例如环氧树脂、丙烯酸类树脂等而构成的粘合剂这样的接合部件81，而接合有前文 所述的传感器元件2的支承部25。由此，传感器元件2相对于基座部件41而被支承并固定。
此外，在基座部件41的上表面上，通过如包括例如环氧树脂、丙烯酸类树脂等而 构成的粘合剂这样的接合部件82，而接合有前文所述的IC芯片3。由此，IC芯片3相对于 基座部件41而被支承并固定。
而且，如图1以及图2所示，在基座部件41的上表面上，设置有多个内部端子71 以及多个内部端子72。
在多个内部端子71上，通过由例如接合线构成的配线，而电连接有前文所述的传 感器元件2的端子57a 57f。
该多个内部端子71经由未图示的配线，而与多个内部端子72电连接。
此外，在多个内部端子72上，通过由例如接合线构成的配线，而电连接有前文所 述的IC芯片3的多个连接端子31。
另一方面,如图1所示,在基座部件41的下表面(封装件4的底面)上，设置有在被 安装于组装有传感器装置I的设备(外部设备)中时所使用的多个外部端子73。
该多个外部端子73经由未图示的内部配线，而与前文所述的内部端子72电连接。 由此，IC芯片3和多个外部端子73被电连接。
这种各个内部端子71、72以及各个外部端子73分别由金属被膜构成，所述金属被 膜例如通过电镀而在钨(W)等的金属层上层叠镍(Ni)、金(Au)等的被膜而形成。
在这种基座部件41上气密性地接合有盖部件42。由此，封装件4内被气密密封。
该盖部件42例如由与基座部件41相同的材料、或者铁镍钴合金、42合金、不锈钢 等的金属构成。
作为基座部件41和盖部件42的接合方法，并不被特别限定，例如可以使用通过由 焊料、固化性树脂等构成的粘合剂而实施的接合方法，缝焊、激光焊接等的焊接方法等。
由于所涉及的接合在减压环境下或惰性气体环境下实施，因此能够将封装件4内 保持为减压状态或封入有惰性气体的状态。
根据如以上所说明的第一实施方式所涉及的传感器装置I所具备的传感器元件 2，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。
此外，根据具备如前文所述的传感器元件2的传感器装置1，能够实现价格低廉，且具有优异的检测灵敏度的传感器装置。
第二实施方式
接下来，对本发明的第二实施方式进行说明。
图13为表示本发明的第二实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大 俯视图。
本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面以外，与前文所述的第一实施方式所 涉及的传感器元件相同，即，省略了第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的顶端部的 宽度宽大部以及质量调节用膜，且第一调节用电极以及第二调节用电极的形状有所不同。
另外，在以下的说明中，对于第二实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方 式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图13中，对于与前 文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。
本实施方式的传感器元件具有图13所示的调节用振动臂241A (第一调节用振动 臂)。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基 部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节 用振动臂241A成对的第一调节用振动臂、以及以与一对第一调节用振动臂相同的方式而 构成的一对第二调节用振动臂。
在调节用振动臂241A上设置有调节用电极组55A。
该调节用电极组55A通过被设置在调节用振动臂241A的上表面上的调节用电极 551A、被设置在调节用振动臂241A的下表面上的调节用电极552A、被设置在调节用振动臂 241A的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241A的另一个侧面上的调 节用电极554而构成。
调节用电极551A具备共用部60A和多个分支部61A。
而且，各个分支部61A具有宽度狭窄部62A，其以狭窄的宽度被形成在共用部60A 侧；宽度宽大部63A，其以宽大的宽度被形成在与共用部60A相反的一侧。
同样地，调节用电极552A具备共用部64和多个分支部65。
而且各个分支部65具有宽度狭窄部66，其以狭窄的宽度被形成在共用部64侧； 宽度宽大部67，其以宽大的宽度被形成在与共用部64相反的一侧。
这种调节用电极551A、552A具有在俯视观察时，分支部6IA和分支部65相互不重 叠的部分。更具体而言，这种调节用电极551A、552A被形成为，在俯视观察时，宽度狭窄部 62A和宽度狭窄部66相互不重叠。由此，即使调节用电极551A以及调节用电极552A隔着 调节用振动臂241A而相互对置，也能够使用激光而分别对调节用电极551A的分支部61A、 和调节用电极552A的分支部65进行切断。因此，能够更高精度地对传感器输出进行调节。
根据如以上所进行说明的第二实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠 地发挥优异的检测灵敏度。
第三实施方式
接下来，对本发明的第三实施方式进行说明。
图14为表示本发明的第三实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大 俯视图。
本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面以外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同，即，省略了第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的顶端部的宽度宽大部以及质量调节用膜，且第一调节用电极以及第二调节用电极的形状有所不同。
另外，在以下的说明中，对于第三实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图14中，对于与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。
本实施方式的传感器元件具有图14所示的调节用振动臂241B (第一调节用振动臂)。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241B成对的第一调节用振动臂、以及以与一对第一调节用振动臂相同的方式而构成的一对第二调节用振动臂。
在调节用振动臂241B上设置有调节用电极组55B。
该调节用电极组55B通过被设置在调节用振动臂241B的上表面上的调节用电极 551B、被设置在调节用振动臂241B的下表面上的调节用电极552B、被设置在调节用振动臂 241B的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241B的另一个侧面上的调节用电极554而构成。
以下，对调节用电极551B进行详细叙述。另外，调节用电极552B与调节用电极 551B相同。
调节用电极55IB具备共用部60B和多个分支部61B。
而且，各个分支部61B具有宽度狭窄部62B，其以狭窄的宽度被形成在共用部60B 侧；宽度宽大部63B，其以宽大的宽度被形成在与共用部60B相反的一侧。
多个宽度宽大部63B通过被设置在调节用振动臂241B的基端侧的宽度宽大部 63B1 63B6、和被设置在调节用振动臂241B的顶端侧的多个宽度宽大部63B7 63B18而构成。
宽度宽大部63B1 63B18从调节用振动臂241B的基端侧朝向顶端侧，以宽度宽大部63B1、宽度宽大部63B2、宽度宽大部63B3、宽度宽大部63B4、宽度宽大部63B5、宽度宽大部63B6、…宽度宽大部63B18的顺序而并排设置。
各个宽度宽大部63B1 63B6的y轴方向上的宽度大于各个宽度宽大部63B7 63B18的y轴方向上的宽度。由此，各个宽度宽大部63B1 63B6的俯视观察时的面积(电极面积)大于各个宽度宽大部63B7 63B18的俯视观察时的面积(电极面积)。因此，能够增大通过对具有各个宽度宽大部63B1 63B6的分歧部61B进行切断而产生的调节用输出的减少量(即，在粗调节中的调节量)。此外，能够减小通过对具有各个宽度宽大部63B7 63B18的分歧部61B进行切断而产生的调节用输出的减少量(即，在微调节中的调节量)。
根据如以上所说明的第三实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。
第四实施方式
接下来，对本发明的第四实施方式进行说明。
图15为表示本发明的第四实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。
本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面以外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同，即，省略了第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的顶端部的宽度宽大部以及质量调节用膜，且第一调节用电极以及第二调节用电极的形状有所不同。
另外，在以下的说明中，对于第四实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图15中，对与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。
本实施方式的传感器元件具有图15所示的调节用振动臂241C (第一调节用振动臂)。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241C成对的第一调节用振动臂、以及以与一对第一调节用振动臂相同的方式而构成的一对第二调节用振动臂。
在调节用振动臂241C上设置有调节用电极组55C。
该调节用电极组55C通过被设置在调节用振动臂241C的上表面上的调节用电极 551C、被设置在调节用振动臂241C的下表面上的调节用电极552C、被设置在调节用振动臂 241C的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241C的另一个侧面上的调节用电极554而构成。
以下，对调节用电极551C进行详细叙述。另外，调节用电极552C与调节用电极 551C相同。
调节用电极551C具备共用部60C和多个分支部61C。
而且，各个分支部61C具有宽度狭窄部62C，其以狭窄的宽度被形成在共用部60C 侧；宽度宽大部63C，其以宽大的宽度被形成在与共用部60C相反的一侧。
多个宽度宽大部63C通过被设置在调节用振动臂241C的基端侧的宽度宽大部 63C1 63C5、和被设置在调节用振动臂241C的顶端侧的多个宽度宽大部63C6 63C9而构成。
关于宽度宽大部63C1 63C5，在相互邻接的两个宽度宽大部63C中，调节用振动臂241C的顶端侧的宽度宽大部63C的J轴方向上的宽度大于基端侧的宽度宽大部63C的y 轴方向上的宽度。由此，能够使通过对具有各个宽度宽大部63C1 63C5的分支部61C进行切断而产生的调节用输出的减少量(即，在粗调节中的调节量)相等、或者使所涉及的减少量相互之间的差减小。其结果为，能够使粗调节较为容易。
同样地，关于宽度宽大部63C6 63C9，在相互邻接的两个宽度宽大部63C中，调节用振动臂241C的顶端侧的宽度宽大部63C的y轴方向上的宽度大于基端侧的宽度宽大部 63C的y轴方向上的宽度。由此，能够使通过对具有各个宽度宽大部63C6 63C9的分支部 61C进行切断而产生的调节用输出的减少量(B卩，在微调节中的调节量)相等、或者使所涉及的减少量相互之间的差减小。其结果为，能够使微调节较为容易。
根据如以上所说明的第四实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。
第五实施方式
接下来，对本发明的 第五实施方式进行说明。
图16为表示本发明的第五实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。
本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面外，与前文所述的第一实施方式所涉 及的传感器元件相同，即，省略了第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的顶端部的宽 度宽大部以及质量调节用膜，且第一调节用电极以及第二调节用电极的形状有所不同。
另外，在以下的说明中，对于第五实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方 式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图16中，对于与前 文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。
本实施方式的传感器元件具有图16所示的调节用振动臂241D (第一调节用振动 臂)。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基 部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节 用振动臂241D成对的第一调节用振动臂、以及以与一对第一调节用振动臂相同的方式而 构成的一对第二调节用振动臂。
在调节用振动臂241D上设置有调节用电极组55D。
该调节用电极组5 通过被设置在调节用振动臂241D的上表面上的调节用电极 551D、被设置在调节用振动臂241D的下表面上的调节用电极552D、被设置在调节用振动臂 241D的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241D的另一个侧面上的调 节用电极554而构成。
以下，对调节用电极551D进行详细叙述。另外，调节用电极552D与调节用电极 551D相同。
调节用电极55ID具备共用部60D和多个分支部61D。
在俯视观察时，共用部60D被设置在调节用振动臂241D的宽度方向上的中央部 处。
而且，各个分支部61D具有宽度狭窄部62D，其以狭窄的宽度被形成在共用部60D 侧；宽度宽大部63D，其以宽大的宽度被形成在与共用部60D相反的一侧。
这种分支部61D分别被设置在共用部60D的宽度方向上的一侧以及另一侧。由此， 能够防止或抑制共用部60D作为调节用电极551D而发挥功能的情况。因此，能够使传感器 输出的调节较为容易。此外，能够确保调节之前(将共用部或分支部的中途切断之前)的调 节用电极55ID的电极面积较大。
根据如以上所说明的第五实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发 挥优异的检测灵敏度。
第六实施方式
接下来，对本发明的第六实施方式进行说明。
图17为表示本发明的第六实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大 俯视图。
本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面以外，与前文所述的第一实施方式所 涉及的传感器元件相同，即，省略了第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的顶端部的 宽度宽大部以及质量调节用膜，且第一调节用电极以及第二调节用电极的形状有所不同。 此外，本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面以外，与前文所述的第五实施方式所涉 及的传感器元件相同，即，第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的横截面形状有所不 同。
另外，在以下的说明中，对于第六实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方 式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图17中，对于与前 文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。
本实施方式的传感器元件具有图17所示的调节用振动臂241E (第一调节用振动 臂)。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基 部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节 用振动臂241E成对的第一调节用振动臂、以及以与一对第一调节用振动臂相同的方式而 构成的一对第二调节用振动臂。
调节用振动臂241E的横截面呈H字状。在这种调节用振动臂241E的上表面的 宽度方向上的中央部处形成有沿着I轴方向而形成的槽部2413，同样地，在调节用振动臂 241E的下表面的宽度方向上的中央部处形成有沿着I轴方向而形成的槽部2414。
槽部2413、2414的横截面分别呈矩形，且具有与调节用振动臂241E的侧面平行的壁面。
在这种调节用振动臂241E上设置有调节用电极组55E。
该调节用电极组55E通过被设置在调节用振动臂241E的上表面上的调节用电极 551E、被设置在调节用振动臂241E的下表面上的调节用电极552E、被设置在调节用振动臂 241E的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241E的另一个侧面上的调 节用电极554而构成。
以下，对调节用电极551E进行详细叙述。另外，调节用电极552E与调节用电极 551E相同。
调节用电极55IE具备共用部60E和多个分支部61E。
在俯视观察时，共用部60E被设置在调节用振动臂241E的宽度方向上的中央部 处。
而且，各个分支部61E具有宽度狭窄部62E，其以狭窄的宽度被形成在共用部60E 侧；宽度宽大部63E，其以宽大的宽度被形成在与共用部60E相反的一侧。
这种分支部61E分别被设置在共用部60E的宽度方向上的一侧以及另一侧。
尤其是，各个分支部61E的一部分被设置在槽部2413的壁面(与调节用振动臂 241E的侧面平行的壁面)上。由此，能够增大从调节用电极551E输出的电荷，从而增大从 调节用电极551E、552E以及调节用电极553、554输出的电荷量。因此，能够增大传感器输 出的调节幅度。
根据如以上所说明的第六实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发 挥优异的检测灵敏度。
第七实施方式
接下来，对本发明的第七实施方式进行说明。
图18为表示本发明的第七实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大 俯视图。
本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面以外，与前文所述的第一实施方式所 涉及的传感器元件相同，即，省略了第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的顶端部的 宽度宽大部以及质量调节用膜，且第一调节用电极以及第二调节用电极的形状有所不同。此外，本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面以外，与前文所述的第五实施方式所涉 及的传感器元件相同，即，第一调节用电极以及第二调节用电极的宽度狭窄部的朝向有所 不同。
另外，在以下的说明中，对于第七实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方 式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图18中，对于与前 文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。
本实施方式的传感器元件具有图18所示的调节用振动臂241F (第一调节用振动 臂)。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基 部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节 用振动臂241F成对的第一调节用振动臂、以及以与一对第一调节用振动臂相同的方式而 构成的一对第二调节用振动臂。
在调节用振动臂241F上设置有调节用电极组55F。
该调节用电极组55F通过被设置在调节用振动臂241F的上表面上的调节用电极 551F、被设置在调节用振动臂241F的下表面上的调节用电极552F、被设置在调节用振动臂 241F的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241F的另一个侧面上的调 节用电极554而构成。
以下，对调节用电极551F进行详细叙述。另外，调节用电极552F与调节用电极 551F相同。
调节用电极551F具备共用部60F和多个分支部61F。
在俯视观察时，共用部60F被设置在调节用振动臂241F的宽度方向上的中央部 处。
而且，各个分支部61F具有宽度狭窄部62F，其以狭窄的宽度被形成在共用部60F 侧；宽度宽大部63F，其以宽大的宽度被形成在与共用部60F相反的一侧。
尤其是，各个宽度狭窄部63F在相对于调节用振动臂241F的延伸方向而倾斜的方 向上延伸。由此，在使用激光来对宽度狭窄部62F进行切断时，无论使激光在X轴方向以及 Y轴方向中的哪个方向上进行扫描，均能够将宽度狭窄部62F切断。因此，能够较为容易地 对分支部61F的中途进行切断。
这种分支部61F分别被设置在共用部60F的宽度方向上的一侧以及另一侧。
根据如以上所说明的第七实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发 挥优异的检测灵敏度。
如以上所说明的各个实施方式的传感器装置能够被组装到各种电子设备中而使用。
根据这种电子设备，能够使可靠性较为优异。
电子设备
此处，根据图19 图21，而对具备本发明的电子装置的电子设备的一个示例进行 详细说明。
图19为表示应用了本发明的电子设备的便携式(或笔记本式)的个人计算机的结 构的立体图。
在该图中，个人计算机1100通过具备键盘1102的主体部1104、和具备显示部100的显示单元1106而构成，并且显示单元1106以能够通过铰链结构部而相对于主体部1104 进行旋转的方式被支承。
在这种个人计算机1100中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传 感器装置I。
图20为表示应用了本发明的电子设备的移动电话(也包括PHS)的结构的立体图。
在该图中，移动电话1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且 在操作按钮1202和听筒1204之间配置有显示部100。
在这种移动电话1200中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传感 器装置I。
图21为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。另外，在该 图中，对该数码照相机与外部设备之间的连接也简单地进行了图示。
此处，通常的照相机通过被摄物体的光图像而对银盐感光胶片进行感光，与此相 对，数码照相机1300通过CCD (Charge Coupled Device :电荷稱合装置)等的摄像元件而 对被摄物体的光图像进行光电转换，从而生成摄像信号(图像信号)。
在数码照相机1300的壳体(主体)1302的背面上设置有显示部100，并且成为根据 由CXD产生的摄像信号来进行显示的结构，显示部100作为将被摄物体显示为电子图像的 取景器而发挥功能。
此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有包括光学透镜(摄像光学系统)及 (XD等在内的受光单元1304。
当摄影者对被显示在显示部上的被摄物体图像进行确认，并按下快门按钮1306 时，该时间点的CCD的摄像信号被输送并存储于存储器1308中。
此外，在该数码照相机1300中，在壳体1302的侧面上设置有影像信号输出端子 1312和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，而在影像信号输出端 子1312上连接有影像监视器1430，在数据通信用输入输出端子1314上连接有个人计算机 1440。而且，成为如下的结构，即，通过预定的操作，从而使被存储于存储器1308中的摄像 信号向影像监视器1430或个人计算机1440输出。
在这种数码照相机1300中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传 感器装置I。
另外，本发明的电子设备除了能够应用于图19的个人计算机(便携式个人计算 机)、图20的移动电话、图21的数码照相机中之外，根据电子设备的类型，还能够应用于如 下装置中，例如，车身姿态检测装置、指示器、头戴式显示器、喷墨式喷出装置(例如喷墨式 打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本 (也包括带有通信功能的产品)、电子词典、台式电子计算机、电子游戏设备、游戏用控制器、 文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS (point of sale 销售点)终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断 装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、飞机、船舶的计量 仪器类)、飞行模拟器等。
以上，虽然根据图示的实施方式而对本发明的传感器元件、传感器元件的特性调 节方法、传感器装置以及电子设备进行了说明，但本发明并不限定于此。
此外，在本发明的传感器元件、传感器装置以及电子设备中，各个部分的结构可以置换为发挥相同的功能的任意的结构，此外，也可以添加任意的结构。
此外，本发明的传感器元件、传感器装置以及电子设备也可以对前文所述的各个实施方式的任意结构彼此进行组合。
此外，虽然在前文所述的实施方式中，以第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂相互向相同方向进行弯曲振动的情况为例而进行了说明，但本发明也能够应用于第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂相互向相反方向进行弯曲振动的情况。在这种情况下， 只需以与前文所述的实施方式成为相反极性的方式，将一对第一调节用电极或一对第二调节用电极电连接于一对检测用电极即可。
此外，虽然在前文所述的实施方式中，以将本发明应用于H型音叉的传感器元件中的情况为例而进行了说明，但本发明能够应用于双T型、双脚音叉、三脚音叉、梳齿型、正交型、棱柱型等各种传感器元件(陀螺元件)中。
此外，驱动用振动臂、检测用振动臂、第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的数量分别可以为一个或三个以上。此外，驱动用振动臂也可以兼作为检测用振动臂。
此外，只要驱动用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够通过通电而使驱动用振动臂振动的值，则并不限定于前文所述的实施方式。
此外，只要检测用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够电气性地对由于施加物理量而产生的驱动用振动臂的振动进行检测的值，则并不限定于前文所述的实施方式。
此外，只要第一调节用电极以及第二调节用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够对随着第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的振动而产生的电荷进行输出的值，则并不限定于前文所述的实施方式。
符号说明
I…传感器装置；2…传感器兀件；3…IC芯片(电子部件)；4…封装件；21…基部;25…支承部;31…连接端子；41…基座部件；42…盖部件;51…驱动用电极组;52…驱动用电极组；53…检测用电极组；54…检测用电极组；55…调节用电极组；55A…调节用电极组；55B…调节用电极组；550··调节用电极组；5 …调节用电极组；55E…调节用电极组；55F…调节用电极组；56…调节用电极组；57a…端子；57b …端子；57c…端子；57d…端子;57e…端子;57f…端子;58…调节用电极组;59…调节用电极组;60…共用部;60A... 共用部；60B…共用部;60C…共用部；60D…共用部;60E…共用部;60F…共用部;61…分支部；61A…分支部；61B…分支部；610··分支部；61D…分支部；61E…分支部；61F…分支部；62…宽度狭窄部；62A…宽度狭窄部；62B…宽度狭窄部；62C…宽度狭窄部；62D…宽度狭窄部；62E…宽度狭窄部；62F…宽度狭窄部；63…宽度宽大部；63A…宽度宽大部；63B… 宽度宽大部；63C…宽度宽大部；63D…宽度宽大部；63E…宽度宽大部；63F…宽度宽大部； 64…共用部；65…分支部；66…宽度狭窄部；67…宽度宽大部；71···内部端子；72···内部端子；73…外部端子；81…接合部件；82…接合部件；90···共用部；91…分支部；92…宽度狭窄部；93…宽度宽大部；100…显示部；211…臂部；212…臂部；221…驱动用振动臂；222… 驱动用振动臂；231…检测用振动臂；232…检测用振动臂；241…调节用振动臂(第一调节用振动臂)；241A…调节用振动臂(第一调节用振动臂)；241B…调节用振动臂(第一调节用振动臂)；2410··调节用振动臂(第一调节用振动臂)；241D…调节用振动臂(第一调节用振动臂)；241E…调节用振动臂(第一调节用振动臂)；241F…调节用振动臂(第一调节用振动臂)；242…调节用振动臂(第一调节用振动臂)；243…调节用振动臂(第二调节用振动臂)； 24七..调节用振动臂(第二调节用振动臂)；261、262、263、264...连结部；411…板体；412…框体；511…驱动用电极；512…驱动用电极；513…驱动用电极；514…驱动用电极；531…检测用电极；532…检测用电极；533…检测用电极；534…检测用电极；551…调节用电极(第一调节用电极);551A…调节用电极(第一调节用电极);551B…调节用电极(第一调节用电极)； 551C…调节用电极(第一调节用电极)；551D…调节用电极(第一调节用电极)；551E…调节用电极(第一调节用电极)；551F…调节用电极(第一调节用电极)；552…调节用电极(第一调节用电极);552A…调节用电极(第一调节用电极)；552B…调节用电极(第一调节用电极)； 552C…调节用电极(第一调节用电极);552D…调节用电极(第一调节用电极);552E…调节用电极(第一调节用电极);552F…调节用电极(第一调节用电极);553···调节用电极(第一调节用电极)；554…调节用电极(第一调节用电极)；581…调节用电极(第二调节用电极)；582… 调节用电极(第二调节用电极)；583…调节用电极(第二调节用电极)；584…调节用电极(第二调节用电极)；1100…个人计算机;1102…键盘;1104…主体部;1106…显示单元;1200... 移动电话;1202…操作按钮;1204…听筒;1206…话筒;1300…数码照相机;1302…壳体； 1304…受光单兀；1306···快门；1308…存储器；1312…影像信号输出端子；1314…输入输出端子；1430…影像监视器；1440…个人计算机；2411…质量部；2431…质量部；2412A…质量调节用膜；2413…槽部；2414…槽部；A1…箭头标记；A2…箭头标记；B1…箭头标记；B2… 箭头标记；CL···箭头标记；C2…箭头标记；DL···箭头标记；D2…箭头标记；S…泄漏输出； S1…步骤；S2···步骤；S3···步骤；S4···步骤；S5···步骤；T1···调节用输出；Τ2···调节用输出； ω…角速度。
权利要求
1.一种传感器元件，其特征在于，具备 基部; 驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动； 第一振动臂以及第二振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动； 检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号， 所述传感器元件还具备 第一电极，其被设置在所述第一振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述第一振动臂的振动而产生电荷； 第二电极，其被设置在所述第二振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述第二振动臂的振动而产生与所述第一电极极性相反的电荷。
2.如权利要求1所述的传感器元件，其中， 将来自所述第一电极的电荷与来自所述第二电极的电荷相加而得到的电荷，与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷为相反极性。
3.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述第一电极以及所述第二电极具备一对主面电极和一对侧面电极， 当所述第一振动臂以及所述第二振动臂以相互同相的方式而进行振动时，对所述第一电极的所述主面电极以及所述第二电极的所述侧面电极彼此进行连接，并对所述第一电极的所述侧面电极以及所述第二电极的所述主面电极彼此进行连接。
4.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述第一电极以及所述第二电极具备一对主面电极和一对侧面电极， 当所述第一振动臂以及所述第二振动臂以相互反相的方式而进行振动时，对所述第一电极的所述主面电极以及所述第二电极的所述主面电极彼此进行连接，并对所述第一电极的所述侧面电极以及所述第二电极的所述侧面电极彼此进行连接。
5.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方具备共用部，其在第一振动臂或第二振动臂的延伸方向上延伸；多个分支部，其从所述共用部分支。
6.如权利要求5所述的传感器元件，其中， 多个所述分支部的电极宽度在顶端侧比在所述共用部侧大。
7.如权利要求5所述的传感器元件，其中， 多个所述分支部相对于所述共用部的延伸方向而倾斜。
8.如权利要求5所述的传感器元件，其中， 所述分支部分别在所述共用部的两侧分支。
9.如权利要求5所述的传感器元件，其中， 所述第一振动臂以及所述第二振动臂中的至少一方具有槽部，所述槽部沿着所述延伸方向而设置， 所述分支部的至少一部分被设置在所述槽部的壁面上。
10.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，所述第一振动臂以及所述第二振动臂被设置为一体，并且相互向相反方向延伸。
11.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 在所述第一振动臂以及所述第二振动臂的顶端部上分别设置有质量调节部。
12.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述检测部具有检测用振动臂，所述检测用振动臂从所述基部延伸，并根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而进行振动， 所述检测用电极被设置在所述检测用振动臂上。
13.—种传感器元件的制造方法，其特征在于， 所述传感器元件具备 基部; 驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动； 第一振动臂以及第二振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动； 检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号， 第一电极，其被设置在所述第一振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述第一振动臂的振动而产生电荷； 第二电极，其被设置在所述第二振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述第二振动臂的振动而产生与所述第一电极极性相反的电荷， 所述传感器元件的制造方法包括电荷调节工序,在所述电荷调节工序中，通过对所述第一电极或所述第二电极的一部分或全部进行去除，从而对产生于所述第一电极或所述第二电极上的电荷量进行调节。
14.如权利要求13所述的传感器元件的制造方法，其中， 在所述电荷调节工序之前，包括对在通过通电而使所述驱动用振动臂进行振动的状态下，产生于所述检测用电极上的电荷进行测量的工序；根据该测量结果而对所述第一振动臂以及所述第二振动臂中的至少一方的振动臂的共振频率进行调节的工序。
15.一种传感器装置，其特征在于，具有 权利要求1或2所述的传感器元件； 使所述驱动用振动臂进行驱动的电路； 对来自所述检测用电极的输出进行检测的电路。
16.—种电子设备,其特征在于， 具有权利要求1或2所述的传感器元件。
全文摘要
本发明涉及传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备基部(21)；驱动用振动臂(221、222)；调节用振动臂(241～244)，其随着驱动用振动臂(221、222)的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据被施加于驱动用振动臂(221、222)的物理量而输出电荷；第一调节用电极，其被设置在调节用振动臂(241、242)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出电荷；第二调节用电极，其被设置在调节用振动臂(243、244)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(243、244)的振动而输出与第一调节用电极成为相反极性的电荷。
文档编号G01C19/5628GK103033176SQ201210365108
公开日2013年4月10日 申请日期2012年9月26日 优先权日2011年9月29日
发明者市川史生 申请人:精工爱普生株式会社