专利名称：水蒸气测量装置及方法
技术领域：
本发明涉及气体测量，特别涉及水蒸气测量装置及方法。
背景技术：
在部分工业过程气体检测中，需要测量混合气体中的水蒸气含量。目前，质谱仪在测量碎片系数及建模过程中，由于无法获得有效的水蒸气标气而无法建立有效的水蒸气定量模型。如下表格给出了为创建定量曲线的界面。
权利要求
1.一种水蒸气的测量装置，包括质谱仪，所述测量装置还包括 第一气体气源，所述第一气体气源连通质谱仪； 第二气体气源，所述第二气体气源连通储水容器内部及所述质谱仪； 储水容器，所述储水容器具有进口和出口，所述进ロ连通所述第二气体气源，所述出ロ连通所述质谱仪； 第一计算模块，所述第一计算模块用于根据所述质谱仪传送来的对应于第二气体的离子信号強度得出水蒸气浓度； 模型建立模块，所述模型建立模块用于根据第一计算模块得出的水蒸气浓度、质谱仪传送来的对应于水蒸气的离子信号強度得出水蒸气浓度的測量模型； 第二计算模块，所述第二计算模块用于根据质谱仪传送来的对应于待测水蒸气的离子信号強度、所述测量模型得出待测水蒸气的浓度。
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于所述测量装置进ー步包括 伴热模块，所述伴热模块设置在所述储水容器和质谱仪之间的管道上。
3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于所述第一气体和/或第二气体中的水蒸气的浓度低于O. Ol%。
4.一种水蒸气测量方法，所述测量方法包括以下步骤 (Al)将第一气体、第二气体分别通入质谱仪中，分别获取对应于第二气体的离子信号強度I。、I1 ; (A2)所述第二气体携帯着水蒸气进入所述质谱仪中，获取对应于所述第二气体的离子信号强度12、对应于水蒸气的离子信号强度ん/2o以及对应于水蒸气的碎片离子信号强度的碎片系数； 计算出所述水蒸气的浓度
5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在干在所述步骤(Al)中，还获取第一气体或第二气体中对应于水蒸气的离子信号强度ん/2o i声， (A3)利用所述、1 2。、ん/20噪声、碎片系数建立水蒸气浓度測量模型。
6.根据权利要求4或5所述的测量方法，其特征在干在所述步骤(Al)和/或步骤(A2)中，计算在若干时间内测得的所有的离子信号強度I的相对标准偏差RSD值，若所述RSD值小于阈值，记录并保存I。
7.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于所述若干时间处于通气的最后阶段。
8.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于所述若干时间不小于I分钟，所述阈值不大于3%。
9.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在干在所述步骤(A2)中，所述第二气体被通入水中，从而使得第二气体携帯水蒸气。
10.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于在所述步骤(Al)中，所述第一气体和/或第二气体中的水蒸气的浓度低于O. 01 %。
全文摘要
本发明提供了一种水蒸气测量装置，包括连通质谱仪的第一气体气源；连通储水容器内部的第二气体气源；所述储水容器具有进口和出口，所述进口连通所述第二气体气源，所述出口连通所述质谱仪；第一计算模块用于根据所述质谱仪传送来的对应于第二气体的离子信号强度得出水蒸气浓度；模型建立模块用于根据第一计算模块得出的水蒸气浓度、质谱仪传送来的对应于水蒸气的离子信号强度得出水蒸气浓度的测量模型；第二计算模块用于根据质谱仪传送来的对应于待测水蒸气的离子信号强度、所述测量模型得出待测水蒸气的浓度。本发明具有准确、快速、稳定、测量成本低等优点。
文档编号G01N27/62GK102980936SQ20121043451
公开日2013年3月20日 申请日期2012年11月5日 优先权日2012年11月5日
发明者张进伟, 郑利武, 张飞, 陈生龙, 顾海涛 申请人:聚光科技(杭州)股份有限公司