专利名称：一种多维力传感器结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及传感器的结构。
背景技术：
现今市场上，多维力传感器输出信号一般需要经过耦合计算，计算复杂，而且精度不高，给用户操作使用上带来一定的麻烦。
发明内容本实用新型的目的在于提供输出信号不需要经过耦合计算并且精度较高的一种多维力传感器结构。 它包括一个作为应变梁的Π型弹性体(I) ； Π型弹性体(I)的每个边垂直设置长方形(3)或双连孔(4);长方形(3)或双连孔(4)的两侧对称设置电阻应变感应元件(2)。Π型弹性体(I)为金属材料。电阻应变感应元件(2)是金属应变计、半导体应变计以及硅阻压阻敏感元件。本实用新型结构简单，精度高，耦合误差小，并且信号不需要经过复杂的耦合公式计算，用户使用方便。可根据贴片面的多少决定具体测量几个方向的力和扭矩制作出三维至六维力传感器。
附图I是本实用新型实施例I的主视图；附图2是本实用新型实施例2的主视图；附图3是本实用新型实施例I的俯视图；附图4是本实用新型实施例2的俯视图。
具体实施方式
设置作为应变梁的Π型弹性体(I) ；Π型弹性体(I)的每个边垂直设置长方形
(3)或双连孔(4);长方形(3)或双连孔(4)的两侧对称设置电阻应变感应元件(2)。Π型弹性体(I)为金属材料。电阻应变感应元件(2)是金属应变计、半导体应变计以及硅阻压阻敏感元件。本实用新型一端固定，力施加到传感器的另一端，传感器的应变梁将根据力按空间三向力的分力产生相应的形变，此时装在应变敏感部位的电阻应变感应元件(2)电阻产生相应的大小变化，通过桥路将电阻变化转化成电压信号变化，而电压信号变化与施加力的大小成线性关系，从而达到检测空间三向力的分力的大小。而空间三向扭矩则会引起相应的方向的应变粱产生形变输出电压信号，对其他方向产生的电压信号输出非常小，可以忽略不计，从而达到检测空间三向扭矩的大小。
权利要求1.一种多维力传感器结构，它包括一个作为应变梁的Π型弹性体(I);其特征在于Π型弹性体⑴的每个边垂直设置长方形(3)或双连孔⑷；长方形(3)或双连孔⑷的两侧对称设置电阻应变感应元件(2)。
2.如权利要求I所述的一种多维力传感器结构，其特征在于Π型弹性体(I)为金属材料。
3.如权利要求I所述的一种多维力传感器结构，其特征在于电阻应变感应元件(2)是金属应变计、半导体应变计以及硅阻压阻敏感元件。
专利摘要本实用新型一种多维力传感器结构涉及传感器的结构；它包括一个作为应变梁的П型弹性体(1)；П型弹性体(1)的每个边垂直设置长方形(3)或双连孔(4)；长方形(3)或双连孔(4)的两侧对称设置电阻应变感应元件(2)；П型弹性体(1)为金属材料；电阻应变感应元件(2)是金属应变计、半导体应变计以及硅阻压阻敏感元件；本实用新型结构简单，精度高，耦合误差小，并且信号不需要经过复杂的耦合公式计算，用户使用方便。可根据贴片面的多少决定具体测量几个方向的力和扭矩制作出三维至六维力传感器。
文档编号G01L1/22GK202676333SQ20122031468
公开日2013年1月16日 申请日期2012年7月2日 优先权日2012年7月2日
发明者曹勤华 申请人:曹勤华