专利名称：一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，以检测颗粒过滤器中是否因累计过量污染物而成为潜在气相污染物的释放源。
背景技术：
目前，在无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合中都会用到颗粒过滤器，以滤除空气中的颗粒污染物(一般是 几到几百微米的颗粒物质或细菌)。在实际应用过程中发现，对于一些生产电子产品的无尘室而言，在使用一段时间后，在生产线的电子产品会出现轻微腐蚀的现象，影响了产品的质量，给生产企业造成了困扰。针对上述问题，申请人做了大量的研究，发现这是因为在电子产品的生产过程中会使用到一些化学品，这些化学品会产生微量的腐蚀性气体(如氯气、氯化氢等)，这些腐蚀性气体会慢慢附着到颗粒过滤器上，并于日后释放而出，从而造成整个无尘室具有一定含量的腐蚀性气体，造成了电子产品出现轻微腐蚀的现象。然而，目前针对颗粒过滤器的检测只限于其中颗粒污染物的含量，从来没有人涉及到颗粒过滤器中的气相污染物的检测。因此，开发一种检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，以确定其中是否含有腐蚀性气体，显然具有积极的现实意义。
发明内容本实用新型的发明目的是提供一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，以检测颗粒过滤器中是否因累计过量污染物而成为潜在气相污染物的释放源。为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，包括一洁净空间、洁净空间的顶部设有气相过滤器、颗粒过滤器和风机；洁净空间的底部设有一出气空间，洁净空间和出气空间的侧面设有一循环空间；洁净空间、出气空间和循环空间之间均设有气体通道，在循环空间内设有第二风机，使洁净空间、出气空间和循环空间构成一空气循环系统；所述出气空间内设有气体采样器，该气体采样器与气体检测器连通。上文中，所述气体采样器用来收集采样洁净空间内的气体，其采样后，需经气体检测器(如色谱检测器)分析，来检测洁净空间内的气体的释气特性。所述气体检测器可以设于装置的外部，并可以采用现有设备。上述技术方案中，所述洁净空间的顶部设有气相过滤器，气相过滤器的顶部设有所述颗粒过滤器。上述技术方案中，所述第二风机设于出气空间的侧面，且位于循环空间内。上述技术方案中，所述气体检测器为色谱检测器。[0015]上述技术方案中，所述洁净空间和循环空间之间的壁上设有至少I个通孔，构成所述气体通道。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点I、本实用新型设计得到了一种专用于颗粒过滤器中的气相污染物的检测装置，可以检测确定其中是否含有腐蚀性气体，这对于一些生产电子产品的无尘室而言，尤其具有积极的现实意义。2、本发明的检测装置结构简单，易于制备，适于推广应用。
图I是本实用新型实施例一的结构示意图；图2是本实用新型实施例一的气流示意图。·其中1、洁净空间；2、气相过滤器；3、颗粒过滤器；4、风机；5、出气空间；6、循环空间；7、第二风机；8、气体采样器；9、通孔。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述实施例一参见图f 2所示，一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，包括一洁净空间I、洁净空间的顶部设有气相过滤器2、颗粒过滤器3和风机4 ;所述洁净空间的顶部设有气相过滤器，气相过滤器的顶部设有所述颗粒过滤器；洁净空间的底部设有一出气空间5，洁净空间和出气空间的侧面设有一循环空间6 ;洁净空间、出气空间和循环空间之间均设有气体通道，在循环空间内设有第二风机7，使洁净空间、出气空间和循环空间构成一空气循环系统；所述出气空间内设有气体米样器8,该气体米样器与外设的气体检测器连通。(气体检测器未画出)所述第二风机设于出气空间的侧面，且位于循环空间内。所述气体检测器为色谱检测器。所述洁净空间和循环空间之间的壁上设有多个通孔9，构成所述气体通道。本实用新型的检测方法如下(以氯气为例)(I)采用超纯水擦拭装置内所有空间；(2)将风机4和第二风机7全开，使洁净空间内形成洁净的环境，直到符合洁净空间的要求；(3)利用气体采样器8收集出气空间5内的空气，并用气体检测器进行检测，同时继续全开风机4和第二风机7，保证其内的氯气的检出量为零；(4)把待测的已经使用过的颗粒过滤器放入所述洁净空间I内；(5)降低风机4的风量，使风机4的风量与第二风机7的风量的比例控制在约
I 10的状态；持续至少I小时；(6)再次利用气体采样器8收集出气空间5内的空气，并用气体检测器进行检测；若检测到有氯气，则说明待测的颗粒过滤器存在释放氯气污染物的风险，显然已经被污染，故即使其颗粒过滤性能良好，亦不能 使用；反之，则说明待测的颗粒过滤器未被污染，仍然可以使用。
权利要求1.一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，其特征在于包括一洁净空间(I)、洁净空间的顶部设有气相过滤器(2)、颗粒过滤器(3)和风机(4)； 洁净空间的底部设有一出气空间(5)，洁净空间和出气空间的侧面设有一循环空间(6);洁净空间、出气空间和循环空间之间均设有气体通道，在循环空间内设有第二风机(7)，使洁净空间、出气空间和循环空间构成一空气循环系统； 所述出气空间内设有气体采样器(8)，该气体采样器与气体检测器连通。
2.根据权利要求I所述的用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，其特征在于所述洁净空间的顶部设有气相过滤器，气相过滤器的顶部设有所述颗粒过滤器。
3.根据权利要求I所述的用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，其特征在于所述第二风机设于出气空间的侧面，且位于循环空间内。
4.根据权利要求I所述的用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，其特征在于所述气体检测器为色谱检测器。
5.根据权利要求I所述的用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，其特征在于所述洁净空间和循环空间之间的壁上设有至少I个通孔(9)，构成所述气体通道。
专利摘要本实用新型公开了一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，包括一洁净空间、洁净空间的顶部设有气相过滤器、颗粒过滤器和风机；洁净空间的底部设有一出气空间，洁净空间和出气空间的侧面设有一循环空间；洁净空间、出气空间和循环空间之间均设有气体通道，在循环空间内设有第二风机，使洁净空间、出气空间和循环空间构成一空气循环系统；所述出气空间内设有气体采样器，该气体采样器与气体检测器连通。本实用新型设计得到了一种专用于颗粒过滤器中的气相污染物的检测装置，可以检测确定其中是否含有腐蚀性气体，这对于一些生产电子产品的无尘室而言，尤其具有积极的现实意义。
文档编号G01N30/00GK202794120SQ201220451939
公开日2013年3月13日 申请日期2012年9月6日 优先权日2012年9月6日
发明者杨政谕 申请人:亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司