专利名称：基板托架及基板检测装置的制作方法
技术领域：
基板托架及基板检测装置技术领域[0001]本实用新型涉及机械领域，尤其涉及一种基板托架及基板检测装置。
背景技术：
[0002]通常，在基板制成后，需要利用宏观微观检测仪等基板检测装置对基板进行宏观 结构和微观结构的检测，以判断该基板是否为合格产品。在利用基板检测装置对基板进行 检测之前，需要将基板放置于基板检测装置上的所预定的恰当位置上，一般无法将基板直 接放置在该位置上，此时需要借助基板检测装置上的对位校正装置的帮助，通过对位校正 装置对基板的位置进行调整，使得基板位于所预定的恰当位置上。[0003]发明人在实现本发明的过程中发现，基板检测装置上设置有多个基板托架，基板 直接放置在各基板托架上，若放置基板时，基板未能够被某一基板托架所支撑，此时基板未 被支撑的部分可能会发生向下形变，则对位校正装置对基板的位置进行调整时，会将基板 向该未支撑基板的基板托架一侧推，则基板发生向下形变的部分可能会受到基板托架的顶 阻而损坏。实用新型内容[0004]本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种基板托架及基板检测装置，可保证 基板被每一个基板托架所支撑，可减小基板由于对位校正装置的调整而损坏的可能性，间 接地增大对位校正装置的修正能力。[0005]为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案[0006]一种基板托架，包括[0007]托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固 定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所 述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一 侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰 形通孔；[0008]滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部 件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通 孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。[0009]所述基板托架还包括[0010]用于支撑基板的支撑部件，所述支撑部件设置于所述滑动部件上。[0011]所述支撑部件具有螺纹，所述滑动部件具有第一螺孔，所述支撑部件的螺纹与所 述滑动部件的第一螺孔相配合。[0012]所述滑动部件具有用于与具有螺纹的固定装置配合紧固所述支撑部件的第二螺 孔。[0013]所述支撑部件设置于所述滑动部件上，所述支撑部件内设置有部分突出的滚珠，所述滚珠的突出部分与基板接触。[0014]所述第一通孔为腰形通孔。[0015]一种基板检测装置，包括上述基板托架。[0016]在本实用新型实施例的技术方案中，提供了一种基板托架，该基板托架具有托架本体和滑动部件，托架本体具有向基板检测装置中心延伸的延伸部，使得基板可以尽可能的通过一次放置就可放置在每一个托架本体的延伸部上，降低了对位校正装置调节基板位置时损坏基板的可能性。进一步的，滑动部件可相对于托架本体移动，当托架本体的延伸部的长度不够时，可通过调节滑动部件与所述延伸部的相对位置调节托架本体向基板检测装置中心延伸的长度，保证了基板可放置在每一个托架本体上，进一步降低了对位校正装置调节基板位置时损坏基板的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。
[0017]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0018]图1为本实用新型实施例中的基板托架的结构示意图一；[0019]图2为本实用新型实施例中的基板托架的结构示意图二 ；[0020]图3为本实用新型实施例中的基板托架的结构示意图三。[0021]附图标记说明[0022]I一托架主体； 11—固定部； 111一第一通孔；[0023]12—连接部；13—延伸部；131—腰形通孔；[0024] 2—滑动部件；21—第二通孔； 22—第一螺孔[0025]23—第二螺孔； 3—支撑部件；31—滚珠。
具体实施方式
[0026]实施例一[0027]本实用新型实施例提供一种基板托架 ，如图1所示，该基板托架包括[0028]托架本体1，所述托架本体I包括均为平板状结构的固定部11、连接部12和延伸部13，所述固定部11具有第一通孔111，通过所述第一通孔111及螺钉将所述托架本体I固定于基板检测装置上，所述固定部11位于所述连接部12的一侧，与所述连接部12垂直；所述延伸部13位于所述连接部12的另一侧，向与所述固定部11所在之处相反的方向延伸， 与所述连接部13垂直，并且所述延伸部13具有腰形通孔131 ；[0029]所述托架本体I的延伸部13向与所述固定部11所在之处相反的方向延伸，即延伸部13向基板检测装置的中心延伸，使得基板可以尽可能的通过一次放置就可放置在每一个托架本体I的延伸部13上，降低了对位校正装置调节基板位置时损坏基板的可能性。[0030]进一步的，由于通常检测基板是利用各种光学原理进行检测，故而，为了防止用于支撑基板的延伸部13遮挡太多的光线，延伸部13的宽度较小，通常仅为几个毫米，减小了所遮挡的区域，进而减少了对基板检测结果的干扰。[0031]更进一步的,所述托架本体I的固定部11与连接部12垂直、连接部12与延伸部 13垂直，该结构有利于托架本体I的安装、调整。[0032]虽然，所述托架本体I具有向基板检测装置的中心延伸的延伸部13，但当放置基 板时将基板的位置放得过于偏斜，使得某一托架本体I的延伸部13的长度不足以支撑甚至 接触到基板，为了减小这一情况出现的可能性，如图1所示，所述基板托架还包括[0033]滑动部件2，所述滑动部件2为平板状结构，所述滑动部件2具有第二通孔21，所 述滑动部件2与所述托架本体I的延伸部13通过依次穿过所述第二通孔21、所述托架本体 I的延伸部13的腰形通孔131的螺钉相配合，以使得所述滑动部件2可相对于所述托架本 体I移动。[0034]基板直接搭放在滑动部件2的平面上，由于滑动部件2可相对于所述托架本体I 移动，使得基板托架上用于支撑所述基板的部分的长度可变，进一步减小了基板无法被各 基板托架支撑的可能性，另外，若所要检测的基板的规格发生变化时，通过调整滑动部件2 与相对于所述延伸部13的位置，使得该基板托架可以顺利支撑起各个规格的基板，拓宽了 该基板托架的适用范围。[0035]需要说明的是，基板托架的延伸部13与滑动部件2的相对位置可在利用基板检测 装置检测基板前调整好，也可在检测基板的过程中进行相应的调整操作。[0036]在本实施例的技术方案中，提供了一种基板托架，该基板托架具有托架本体和滑 动部件，托架本体具有向基板检测装置中心延伸的延伸部，使得基板可以尽可能的通过一 次放置就可放置在每一个托架本体的延伸部上，降低了对位校正装置调节基板位置时损坏 基板的可能性。进一步的，滑动部件可相对于托架本体移动，当托架本体的延伸部的长度不 够时，可通过调节滑动部件与所述延伸部的相对位置调节托架本体向基板检测装置中心延 伸的长度，保证了基板可放置在每一个托架本体上，进一步降低了对位校正装置调节基板 位置时损坏基板的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。[0037]实施例二[0038]在实施例一的基础上，如图2所示，本实用新型实施例所提供的基板托架还包括[0039]用于支撑基板的支撑部件3，所述支撑部件3具有螺纹。[0040]为了与所述支撑部件3相配合，进一步的，所述滑动部件2具有第一螺孔22，所述 支撑部件3的螺纹与所述滑动部件2的第一螺孔22相配合。[0041]在滑动部件2上设置支撑部件3，使得基板托架的整体的高度可调，当基板由于放 置不稳而产生基板高度上的偏斜时，可通过调整所述基板托架的支撑部件3与滑动部件2 的相对高度来改变所述基板托架的整体高度，使得基板维持近乎水平的位置，便于对位校 正装置的调整以及基板检测装置的检测。[0042]为了防止所述支撑部件3的螺纹和所述滑动部件2的第一螺孔22内的螺纹的螺 接不严密，使得所述支撑部件3和所述滑动部件2在设置好配合位置后发生微小的相对移 动(尤其是水平方向的)，影响基板的检测结果甚至损坏基板，进一步的，所述滑动部件2具 有用于与螺钉配合紧固所述支撑部件3的第二螺孔23。螺钉拧进第二螺孔23中，其前端和 第二螺孔23的内侧壁共同作用抵紧滑动部件，大大减小了所述支撑部件3和所述滑动部件 2在设置好配合位置后发生相对移动的可能性。[0043]由于所述支撑部件3的顶端直接与基板接触，为了减少所述支撑部件3的顶端对基板表面的刮蹭所导致的对基板的破坏，所述支撑部件3内设置有部分突出的滚珠31，所 述滚珠31的突出部分与基板接触。[0044]则将基板与基板托架之间的滑动摩擦变为滚动摩擦，大大减小了基板的表面被基 板托架所破坏的可能性。[0045]具体地，如图3所示，为整个基板托架组装完成后的结构示意图。[0046]进一步的，所述第一通孔111为腰形通孔，便于调节所述基板托架位于基板检测 装置上的位置。[0047]需要说明的是，基板托架的支撑部件3与滑动部件2的相对位置可在利用基板检 测装置检测基板前调整好，也可在检测基板的过程中进行相应的调整操作。[0048]实施例三[0049]本实用新型实施例提供一种基板检测装置，包括如实施例一及实施例二中所述的 基板托架。[0050]将基板放置于该基板检测装置上，具体为放置于该基板检测装置上的各基板托架 上后，该基板检测装置的对位校正装置通过推、拉等方式将基板的位置校正，之后，该基板 检测装置将基板固定于基板检测装置上，即可移动基板检测装置上的光学装置对基板各处 进行检测。[0051]具体地，基板检测装置将基板固定是通过位于基板下方的真空吸附装置对基板进 行真空吸附来固定基板。[0052]以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限 于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化 或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权 利要求的保护范围为准。
权利要求1.一种基板托架，其特征在于，包括 托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰形通孔； 滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。
2.根据权利要求1所述的基板托架，其特征在于，还包括 用于支撑基板的支撑部件，所述支撑部件设置于所述滑动部件上。
3.根据权利要求2所述的基板托架，其特征在于，所述支撑部件具有螺纹，所述滑动部件具有第一螺孔，所述支撑部件的螺纹与所述滑动部件的第一螺孔相配合。
4.根据权利要求3所述的基板托架，其特征在于， 所述滑动部件具有用于与具有螺纹的固定装置配合紧固所述支撑部件的第二螺孔。
5.根据权利要求4所述的基板托架，其特征在于， 所述支撑部件设置于所述滑动部件上，所述支撑部件内设置有部分突出的滚珠，所述滚珠的突出部分与基板接触。
6.根据权利要求1所述的基板托架，其特征在于， 所述第一通孔为腰形通孔。
7.一种基板检测装置，其特征在于，包括如权利要求1-6所述的基板托架。
专利摘要本实用新型实施例公开了一种基板托架及基板检测装置，涉及机械领域，可保证基板被每一个基板托架所支撑，可减小基板由于对位校正装置的调整而损坏的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。该基板托架包括托架本体，托架本体包括固定部、连接部和延伸部，固定部具有第一通孔，通过第一通孔及螺钉将托架本体固定于基板检测装置上，固定部位于连接部的一侧，与连接部垂直；延伸部位于连接部的另一侧，向与固定部所在之处相反的方向延伸，与连接部垂直，并且延伸部具有腰形通孔；滑动部件，滑动部件为平板状结构，滑动部件具有第二通孔，滑动部件与托架本体的延伸部通过依次穿过第二通孔、托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合。
文档编号G01M11/00GK202868258SQ20122058487
公开日2013年4月10日 申请日期2012年11月7日 优先权日2012年11月7日
发明者王德永, 程贯杰, 陈健, 朴祥秀 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司