专利名称：能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种探针卡，具体涉及一种能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡。
背景技术：
大规模集成电路，特别是嵌入式存储器类产品，在测试过程中往往需要对其擦写的高电压进行测试，甚至要根据该测试的结果进行修调。现有的测试仪内部会配置特性测试模块，专门对该类参数进行测试。但是该类特性测试模块往往由于各种原因，如能够测量的最高电压可能比芯片待测的电压低，无法进行测量；或者尽管能够测量的最高电压可以比芯片待测的电压高，但是由于该特性测试模块的测量通道较少，无法满足同测的需要，因而只能进行串行测试，这就大大延长了测试时间，提高了测试成本。如
图1所示的测试仪有2个高压测试通道，如需对4个芯片进行测试，只能分两次串行进行测试，先测试上面2个芯片，再测试下面2个芯片。而对于某些低端测试仪，因为没有配置高压测试通道，只有用于测量小于8V的多个低压测试通道，所以不能直接对该类芯片进行测试。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡，它可以利用测试仪的低压测试通道直接对高压芯片进行测量。为解决上述技术问题，本实用新型能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡的技术解决方案为:包括探针卡基板，探针卡基板上并列设置有多路分压电路；每路分压电路包括两个相互串联的分压电阻，第一分压电阻的一端接地，第一分压电阻与第二分压电阻之间引出测试信号线，测试信号线连接测试仪的低压测试通道；第二分压电阻的另一端通过输入信号线连接探针，探针连接芯片的电压测试管脚；输入信号线上设置有测试开关；第二分压电阻的另一端还通过校准电压信号线连接测试仪的稳压电流源；校准电压信号线上设置有校准开关。所述两个分压电阻的电阻值分别为IOMΩ。所述分压电路的数量与被测芯片的个数相同。 所述测试信号线上设置有测试通道开关。本实用新型可以达到的技术效果是:本实用新型在对高压芯片进行测试时，不要求测试仪必须配置高压测试通道，而是利用测试仪自带的16个低压测试通道实现对16个高压芯片的同时测试。本实用新型能够对芯片输出的高压进行分压测量，从而降低芯片测试对测试仪能力的要求，同时使测试仪的测试效率得到提升。以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明:图1是现有技术利用测试仪的高压测试通道测量芯片的示意图；图2是本实用新型能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡的示意图；图3是本实用新型的分压电路的示意图；图4是本实用新型的分压电路形成测试回路的示意图。
具体实施方式
如图2所示，本实用新型能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡，包括探针卡基板10，探针卡基板10上并列设置有多路分压电路，分压电路的数量与被测芯片的个数相同；如有16个芯片需要同时测试，则设置16路分压电路；如图3所示，每路分压电路包括两个相互串联的分压电阻R1、R2，第一分压电阻Rl的一端接地，第一分压电阻Rl与第二分压电阻R2之间引出测试信号线L2，测试信号线L2用于连接测试仪的低压测试通道；测试信号线L2上设置有测试通道开关P2 ；第二分压电阻R2的另一端通过输入信号线LI连接探针；输入信号线LI上设置有测试开关Pl ;探针用于连接芯片的电压测试管脚；第二分压电阻R2的另一端还通过校准电压信号线L3连接测试仪的稳压电流源；校准电压信号线L3上设置有校准开关P3。两个分压电阻Rl、R2的电阻值优选为IOM Ω。本实用新型的操作方法如下:由于Rl+ (R1+R2)的值会随温度等特性而不断变化，因此在每次测量之前，需要先对测量结果进行校准，以保证测量的精度；将测试开关Pl断开，将校准开关P3和测试通道开关P2连通，此时分压电路形成校准回路；对校准回路中测试信号线L2上的电压Vm理进行测量，由于测试仪的稳压电流源Vrefa是已知的定值，根据以下公式:Vma=Rl+ (R1+R2) XVrefa从而可以计算出Rl+ (R1+R2)的值；将校准开关P3断开，将测试开关Pl和测试通道开关P2连通，此时分压电路形成测试回路，如图4所示，可以对芯片进行正式测试；对测试回路中测试信号线L2上的电压￥!1^进行测量，根据以下公式:Vm 实=Rl + (R1+R2) X Vref 实
从而可以计算出Vref实的值。本实用新型同样适用于测试仪的负载板。
权利要求1.一种能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡，其特征在于:包括探针卡基板，探针卡基板上并列设置有多路分压电路；每路分压电路包括两个相互串联的分压电阻，第一分压电阻的一端接地，第一分压电阻与第二分压电阻之间引出测试信号线，测试信号线连接测试仪的低压测试通道； 第二分压电阻的另一端通过输入信号线连接探针，探针连接芯片的电压测试管脚；输入信号线上设置有测试开关； 第二分压电阻的另一端还通过校准电压信号线连接测试仪的稳压电流源；校准电压信号线上设置有校准开关。
2.根据权利要求1所述的能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡，其特征在于:所述两个分压电阻的电阻值分别为10ΜΩ。
3.根据权利要求1所述的能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡，其特征在于:所述分压电路的数量与被测芯片的个数相同。
4.根据权利要求1所述的能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡，其特征在于:所述测试信号线上设置有测试通道开关。
专利摘要本实用新型公开了一种能够用低压测试通道测量高压芯片的探针卡，包括探针卡基板，探针卡基板上并列设置有多路分压电路；每路分压电路包括两个相互串联的分压电阻，第一分压电阻的一端接地，第一分压电阻与第二分压电阻之间引出测试信号线，测试信号线连接测试仪的低压测试通道；第二分压电阻的另一端通过输入信号线连接探针，探针连接芯片的电压测试管脚；输入信号线上设置有测试开关；第二分压电阻的另一端还通过校准电压信号线连接测试仪的稳压电流源；校准电压信号线上设置有校准开关。本实用新型能够对芯片输出的高压进行分压测量，从而降低芯片测试对测试仪能力的要求，同时使测试仪的测试效率得到提升。
文档编号G01R31/28GK202994857SQ20122059712
公开日2013年6月12日 申请日期2012年11月13日 优先权日2012年11月13日
发明者辛吉升, 桑浚之, 谢晋春 申请人:上海华虹Nec电子有限公司