专利名称：探片器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体测试领域，特别是涉及一种探片器。
背景技术：
随着电子技术的发展，电子产品的电路设计越来越复杂，电路设计中常需要用对晶体管的半导体进行参数性能测试。在对晶体管等半导体进行测试时会出现半导体元件未接触到位的现象导致误测影响半导体元件的正常使用，造成浪费。一般的使用传统的弹片开关作为检测半导体元件接触到位，传统的弹片开关常通过传动装置的移动将弹片顶起或压下使电路导通或断开来判断半导体元件是否接触到位。传统的弹片开关在传动装置作用后回位时常会产生抖动，从而会产生干扰信号干扰电路，并且弹片和接触点接触时会打火从而产生氧化现象导致弹片与接触点之间的接触效果，接触不好会影响电路的正常运行。
实用新型内容基于此，有必要针对传统弹片回位时抖动和产生氧化后影响电路正常运行的问题，提供一种避免弹片抖动和防氧化的探片器。一种探片器，用于对硅片进行测试时探测硅片的位置，包括弹片、连接所述弹片的固定端将所述弹片固定在印刷电路板上的固定部和传送所述硅片位置并可使所述弹片的活动端移动的传动装置，还包括光电开关和连接所述弹片的活动端并可随所述弹片的活动端移动阻断所述光电开关的发射端与接收端之间信号传输的隔离部。在其中一个实施例中，还包括限制所述弹片运动空间的限位钉，所述限位钉位于所述隔离部相对于所述弹片的同侧。在其中一个实施例中，所述限位钉位置可调。在其中一个实施例中，所述传动装置为传动软线。在其中一个实施例中，所述弹片和所述隔离部一体成型。在其中一个实施例中，所述弹片和所述隔离部焊接或通过粘附剂粘接。在其中一个实施例中，所述固定部与所述弹片或与所述印刷电路板焊接或通过粘附剂粘接。在其中一个实施例中，所述隔离部为不透光隔离部。在其中一个实施例中，所述隔离部为阻光性隔离部或吸光性隔离部。在其中一个实施例中，所述隔离部为阻光性光亮铝板或吸光性黑色铝板。上述探片器，包括传动装置、弹片、固定部、光电开关和隔离部。弹片一端连接固定部另一端连接隔离部，固定部将弹片固定在印刷电路板上，隔离部位于光电开关发射端与接收端之间，随着弹片的移动隔离部能够阻断光电开关发射端和接收端之间信号的传输。传动装置连接硅片并传送硅片的位置，对硅片进行测试时，硅片被按压，传动装置使弹片活动端移动并使隔离部移动改变光电开关的信号输出状态，以表明硅片是否被按压到位。在测试时如果出现测试异常进行排查时，可以通过此探片器的光电开关的信号输出状态判断硅片测试时是否接触到位以进一步排查。通过使用隔离部改变光电开关的信号传输状态，弹片的抖动不会影响光电开关的信号输出，并且探片器的隔离部不与光电开关接触，避免了传统的弹片开关需要与固定触点接触使电路导通易产生接触不良和易产生抖动影响电路信号输出的弊端，保证了探片器信号输出的准确度。
图1为本实用新型探片器一实施例的结构示意图；图2为图1所示实施例的另一状态结构示意图。
具体实施方式
一种探片器，在对硅片进行测试按压硅片时判断硅片是否按压到位，并通过判断光电开关的信号的输出状态探测硅片的位置。隔离部不与光电开关的发射端和接收端接触，避免了传统弹片开关需要接触电路使电路导通或断开易抖动导致影响电路信号输出的弊端，并且隔离部不与电路接触不会产生传统弹片开关与电路接触时会打火从而产生氧化导致接触不好的现象，使用探片器判断硅片是否按压到位更加可靠。本实用新型探片器也可用于其他可通过隔断电路中光电信号的传输改变电路信号输出的电路。
以下结合附图和实施例对本实用新型进行进一步详细的说明。图1所示，一种探片器，用于判断需要进行测试的硅片(图未示)是否按压到位，包括弹片210、固定部220、隔离部230、光电开关240和传动装置250。固定部220连接弹片210的固定端，将弹片210固定在印刷电路板(图未不)上；隔尚部230连接弹片210的活动端，隔离部230设于光电开关240的发射端242和接收端244之间可随弹片210的活动端的移动阻断光电开关240的发射端242和接收端244之间的信号传输；传动装置250连接硅片，在硅片被按压时，传动装置250传动硅片的位置使弹片210的活动端移动，使弹片210产生弹性形变。参考图2，为传动装置250使弹片210产生弹性形变的状态示意图。在传动装置250的作用下随着弹片210活动端的移动，与弹片210活动端连接的隔离部230阻断光电开关240的发射端242和接收端244之间信号的传输；当硅片测试结束，硅片回位并带动传动装置250回位时，弹片210带动隔离部230同时回位，光电开关240的发射端242与接收端244之间信号传输恢复。当对硅片进行测试时，探片器对硅片的位置进行监测，如果测试出现异常需要进行排查时，可通过本探测器监测是否因硅片未传动到位导致测试异常。通过隔离部230与光电开关240的作用使得弹片210不必与电路直接接触即可改变电路信号输出状态，避免了传统探片器中需要弹片直接接触电路才能改变电路信号输出状态，弹片直接接触电路会造成弹片与接触触点接触时产生打火、氧化等现象，影响电路的接触性；传统的探片器，在弹片回位时会产生抖动，抖动也会导致弹片与接触触点产生打火、氧化等现象，影响电路信号输出的稳定性。上述该探片器中弹片210未连接电路，即使在弹片210回位时产生抖动也不会影响电路的信号输出，保证电路输出信号的准确性和稳定性。[0025]具体的，上述传动装置250可为传动软线，传动软线设置于硅片表面，当对硅片进行按压操作时，传动软线随硅片位置的改变移动并将硅片的位置的改变传送至弹片210，并使弹片210产生弹性形变。在其他的实施例中，上述传动装置250也可为其他具有达到同样效果的装置。上述弹片210 —般采用超薄金属制成，具有弹性，在外力作用下产生可恢复的弹性变形，是一般开关的重要组成部分。上述固定部220 —般固定于印刷电路板(图未示)上相应的位置，固定部220与印刷电路板通过焊接或通过粘附剂粘接，固定部220与弹片210通过焊接或通过粘附剂粘接，通过粘附剂与所述印刷电路板或弹片210粘接可在需要时将固定部220拆除或进行位置改动，方便电路设计且可一个印刷电路板多次使用，节省成本。具体的，上述隔离部230与弹片210焊接或通过粘附剂粘接。一般的，光电开关240发射端242通过发射红外光给接收端244，隔离部230为不透光材质，保证能阻隔红外光信号，阻断发射端242与接收端244间信号的传输。隔离部230可通过反射红外光或者吸收红外光的方式阻断红外光信号的传输，具体的，隔离部230可为阻光性能良好的光亮铝板或吸光性能良好的黑色铝板。参考图2，当传动软线250在硅片作用下向上运动使弹片210产生向上的形变，隔离部230阻挡光电开关240的发射端242和接收端244。隔离部230为阻光性能良好的光亮铝板时，可将光电开关240的发射端242发射的红外光信号反射，导致光电开关240的接收端244无法接收信号，信号传输中断；隔离部230为吸性能良好的黑色铝板时，可将光电开关240的发射端242发射的红外光信号全部吸收导致光电开关240的接收端244无法接收信号，信号传输中断。上述隔离部230与弹片210也可一体成型，保证隔离部230与弹片210连接的稳固性，避免因隔离部230与弹片210之间因连接不稳固导致不能改变光电开关240的信号输出状态、影响探片器正常工作的问题。参考图2，上述传动装置250可为传动软线，将传动软线固定在硅片上，通过电路设置，在需要时通过控制硅片移动带动传动软线使弹片210产生弹性形变，改变光电开关240的信号传输状态。在其他的实施例中，传动装置250也可为具有相同作用能够使弹片210产生相应弹性形变的装置。进一步的，参考图2，该探片器还包括限位钉260，限位钉260位于隔离部230相对于弹片210的一侧。弹片210 —般采用具有弹性的金属材质制成，弹片210长期使用可能会影响其形变后恢复原状的能力，如果传动装置250使弹片210产生过度形变也会影响弹片210的恢复能力。探片器使用时，如果弹片210恢复性不好，在传动装置250随着硅片回位使弹片210也随之回位后，可能会产生隔离部230仍阻断光电开关240的发射端242和接收端244之间的信号传输的现象。通过设置限位钉260，在传动装置250回位后，即使弹片210恢复性能不好，弹片210也会在限位钉260的作用下带动与之连接的隔离部230回位，使光电开关240恢复信号传输。限位钉260还能够限制弹片210的运动空间，当弹片210在传动装置250的作用下产生形变时，限位钉260影响弹片210的形变轨迹但不影响隔离部230阻断光电开关240的发射端242和接收端244之间信号的传输；当传动装置250回位，弹片210也跟随回位时，通过设计和安装弹片210、隔离部230与光电开关240的位置，保证隔离部230与光电开关240的发射端242和接收端244在足够远的范围，弹片210产生的抖动一般不会导致隔离部230影响光电开关240的信号输出状态，即使弹片210产生较大抖动时，通过限位钉260的作用，限制弹片210的抖动范围在隔离部230不影响光电开关240的信号输出状态范围内，进一步确保光电开关240信号输出不受弹片210抖动的影响。上述限位钉260位置可调，根据弹片210的材质不同进行不同位置的设定，保证光电开关240的信号输出状态不受弹片210抖动的影响。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种探片器，用于对硅片进行测试时探测硅片的位置，包括弹片、连接所述弹片的固定端将所述弹片固定在印刷电路板上的固定部和传送所述硅片位置并可使所述弹片的活动端移动的传动装置，其特征在于，还包括光电开关和连接所述弹片的活动端并可随所述弹片的活动端移动阻断所述光电开关的发射端与接收端之间信号传输的隔离部。
2.根据权利要求1所述的探片器，其特征在于，还包括限制所述弹片运动空间的限位钉，所述限位钉位于所述隔离部相对于所述弹片的同侧。
3.根据权利要求2所述的探片器，其特征在于，所述限位钉位置可调。
4.根据权利要求1所述的探片器，其特征在于，所述传动装置为传动软线。
5.根据权利要求1所述的探片器，其特征在于，所述弹片和所述隔离部一体成型。
6.根据权利要求1所述的探片器，其特征在于，所述弹片和所述隔离部焊接或通过粘附剂粘接。
7.根据权利要求1所述的探片器，其特征在于，所述固定部与所述弹片或与所述印刷电路板焊接或通过粘附剂粘接。
8.根据权利要求1所述的探片器，其特征在于，所述隔离部为不透光隔离部。
9.根据权利要求8所述的探片器，其特征在于，所述隔离部为阻光性隔离部或吸光性隔离部。
10.根据权利要求9所述的探片器，其特征在于，所述隔离部为阻光性光亮铝板或吸光性黑色铝板。
专利摘要本实用新型公开了一种探片器，包括传动装置、弹片、固定部、光电开关和隔离部。传动装置连接硅片并传送硅片的位置，对硅片进行测试时，硅片被按压，传动装置使弹片活动端移动并使隔离部移动改变光电开关的信号输出状态，以表明硅片是否被按压到位。通过使用隔离部改变光电开关的信号传输状态，弹片的抖动不会影响光电开关的信号输出，并且探片器的隔离部不与光电开关接触，避免了传统的弹片开关需要与固定触点接触使电路导通易产生接触不良和易产生抖动影响电路信号输出的弊端，保证了探片器信号输出的准确度。
文档编号G01R31/26GK202975256SQ20122069863
公开日2013年6月5日 申请日期2012年12月17日 优先权日2012年12月17日
发明者余廷义, 陈文建 申请人:深圳深爱半导体股份有限公司