偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统及光配向照射装置制造方法

偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统及光配向照射装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统及光配向照射装置，用于高精度地测量偏振光的偏振特性。偏振测量方法包括：基于使检测侧偏振器转动的同时测得的依次透过了检测线栅偏振器及检测侧偏振器的光在各转动角度下的光的光量，求解表示所述检测侧偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及在基于该变化曲线确定透过了所述线栅偏振器的偏振光的偏振特性时，基于所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线；其中所述转动角度（θ）包含在包含所述变化曲线的构成一个极小点的转动角度（θ）＝（θa）且所述光量（I）为规定值以下的所述转动角度（θ）的范围（Ｗ）内。
【专利说明】偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统及光配向照射装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及偏振光的测量技术。
【背景技术】
[0002]以往，已知通过向配向膜或配向层(以下，称作“光配向膜”)照射偏振光来进行配向的被称作光配向的技术，该光配向被广泛应用于液晶显示面板的液晶显示元件所具有的液晶配向膜的配向等。
[0003]用于光配向的照射装置通常具有光源和偏振器，通过使光源的光通过偏振器来获得偏振光。近年来，为了对长带状的光配向膜进行光配向，已知一种照射装置，其通过将长度相当于光配向膜宽度的棒状灯作为光源，并将多个偏振器沿棒状灯的长轴方向排列来照射出线状的偏振光；并且提出了通过使带状的光配向膜的宽度方向与该照射装置的偏振光的照射区域延伸的方向一致并将该光配向膜沿长度方向输送来对带状的光配向膜进行均一光配向的技术(例如，参照专利文献I)。
[0004]作为对光配向的品质产生影响的偏振光的因素，已知消光比和偏振轴分布不均这两个因素。作为用于光配向的照射装置，能够高精度调整消光比和偏振轴分布不均非常重要。目前已提出各种测量所述消光比和偏振轴等偏振特性的技术(例如，参照专利文献2?专利文献4)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2004 - 163881号公报
[0008]专利文献2:日本特开2004 - 226209号公报
[0009]专利文献3:日本特开2005 - 227019号公报
[0010]专利文献4:日本特开2007 - 127567号公报

【发明内容】

[0011]本发明所要解决的问题
[0012]为了利用光配向来获得高品质的液晶配向膜，需要照射消光比高并且偏振轴精度调整误差在0.1°以内的偏振光。为了以误差0.1°以内的精度调整偏振轴，要求测量精度在误差0.01°以内。但在将放电灯作为光源的照射装置中，由于该放电灯的开灯功率的波动等引起光量发生波动(变动)，因此没有能够以满足这样的要求的精度测量偏振光的偏振特性的技术。
[0013]在以往的方法中，由于光量发生波动，因此需要通过多次反复地进行相同的测量取平均来反复提高精度，存在测量耗费时间的问题。
[0014]用于解决问题的手段
[0015]作为测量偏振轴的技术，提出了针对每个偏振器测量偏振轴的技术。该技术可使用以往的偏振测量技术。然而，在上述的方法中，由于射向偏振测量器的光线所取的角度较小，当光配向膜位于通过多个偏振器的偏振光被重叠照射的位置处的工作台上时，不能对光配向膜测量实际照射的光的偏振特性。
[0016]本发明是鉴于上述的情况而做出的，其目的在于提供能够高精度地测量偏振光的偏振特性的偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统以及光配向照射装置。
[0017]为了实现上述目的，本发明提供一种偏振测量方法，其特征在于，包括:第一步骤，基于使第二偏振器转动的同时测得的依次透过了第一偏振器及所述第二偏振器的光的各转动角度下的光的光量，求解表示所述第二偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及第二步骤，基于在所述第一步骤中求解出的变化曲线确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性，在所述第一步骤中，基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含所述变化曲线的一个极小点且所述光量为规定值以下。
[0018]另外，本发明的特征在于，在上述偏振测量方法中，包括:第三步骤，基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含与所述第一步骤不同的一个极小点且所述光量为规定值以下；第四步骤，基于在所述第三步骤中求解出的变化曲线来确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性；以及第五步骤，基于在所述第二步骤和第四步骤中分别确定的所述偏振特性的平均，确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性。
[0019]另外，本发明的特征在于，在上述偏振测量方法中，所述规定值为所述光量的最大值的大约20%的光量。
[0020]另外，本发明的特征在于，在上述偏振测量方法中，基于与所述变化曲线表示的光量的最大值相对应的转动角度来确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振轴，和/或基于所述变化曲线表示的最大值和最小值或者所述第二偏振器转动到基于所述变化曲线确定的偏振光的偏振轴的转动角度、以及与该偏振轴正交的转动角度的各转动角度时测量到的光量，确定透过了所述第一偏振器的偏振光的消光比。
[0021]另外，为了实现上述目的，本发明提供一种偏振测量装置，其特征在于，包括:变化曲线计算单元，所述变化曲线计算单元基于使第二偏振器转动的同时测得的依次透过了第一偏振器及所述第二偏振器的光在各转动角度下的光的光量，求解表不所述第二偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及偏振特性确定单元，所述偏振特性确定单元基于所述变化曲线确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性，所述变化曲线计算单元基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含所述变化曲线的一个极小点且所述光量为规定值以下。
[0022]另外，为了实现上述目的，本发明提供一种偏振测量系统，其特征在于，包括:检测部，所述检测部具有第二偏振器，径第一偏振器偏振的偏振光入射到所述第二偏振器，所述检测部使所述第二偏振器转动的同时检测透过所述第二偏振器的光的光量；以及偏振测量装置，所述偏振测量装置基于所述检测部的检测结果确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性，所述检测部具有:第一光圈，所述第一光圈获取包含倾斜入射成分的所述光并使所述光入射到所述第二偏振器；扩散单元，所述扩散单元扩散透过了所述第二偏振器的光；第二光圈，所述第二光圈使被所述扩散单元扩散的光的一部分通过；以及接收传感器，所述接收传感器接收通过了所述第二光圈的光并检测所述光量，所述偏振测量装置包括:变化曲线计算单元，所述变化曲线计算单元基于所述第二偏振器的各转动角度下的光的光量，求解表示所述第二偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及偏振特性确定单元，所述偏振特性确定单元基于所述变化曲线确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性，所述变化曲线计算单元基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含所述变化曲线的一个极小点且所述光量为规定值以下。
[0023]另外，为了实现上述目的，本发明的特征在于，在包括向载置在工作台上的工件表面的配向膜照射偏振光的偏振器单元的光配向照射装置中，所述偏振器单元包括横向排列的多个单位偏振器单元，所述单位偏振器单元分别包括偏振器，并包括检测通过了所述多个偏振器的偏振光被重叠照射的所述工作台相应位置上的光的偏振特性的检测单元。
[0024]另外，本发明的特征在于，在所述光配向照射装置中，所述检测单元包括被设置为能够在所述单位偏振器单元的排列方向上移动的检测部。另外，该检测部也可以能够向工作台移动方向移动。
[0025]另外，本发明的特征在于，在上述光配向照射装置中，所述检测单元包括:检测部，所述检测部具有测量用偏振器，并使所述测量用偏振器转动的同时检测透过所述测量用偏振器的光的光量；以及偏振测量装置，所述偏振测量装置基于所述检测部的检测结果确定所述工作台相应位置上的光的偏振特性，所述检测部具有:光圈，所述光圈被配置在所述工作台相应位置上，获取通过了所述多个偏振器的偏振光重叠后的光并使所述光向所述测量用偏振器入射；扩散单元，所述扩散单元扩散透过了所述测量用偏振器的光；以及接收传感器，所述接收传感器接收被所述扩散单元扩散的光并检测所述光量，所述偏振测量装置包括:变化曲线计算单元，所述变化曲线计算单元基于所述测量用偏振器的各转动角度下的光的光量，求解表示所述测量用偏振器转动时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及偏振特性确定单元，所述偏振特性确定单元基于所述变化曲线确定所述工作台相应位置上的照射光的偏振特性。
[0026]发明效果
[0027]本发明的结构为:在基于使第二偏振器转动的同时测得的依次透过了第一偏振器及第二偏振器的光的各转动角度下的光的光量，求解表不第二偏振器转动时的光量的周期性变化的变化曲线时，基于转动角度的如下范围内包含的转动角度下的光量，求解变化曲线，所述转动角度的该范围内包含变化曲线的一个极小点且光量为规定值以下。
[0028]由此，与极大点附近的光量的检测值相比，基于检测值中包含的噪声成分较小的检测值求解变化曲线，因此变化曲线的精度提高。并且，通过基于该变化曲线求解偏振特性,能够高精度地求解偏振特性。
[0029]另外，由于仅测量极小点附近的光量即可，因此能够以很少的测量次数进行高精度的测量。
[0030]另外，本发明的结构为:检测通过了多个偏振器的偏振光被重叠照射的所述工作台相当位置处的光的偏振特性。
[0031]由此，能够检测向配置在工作台上的工件表面的配向膜实际照射的偏振光的偏振特性，因此能够使实际的照射光中的偏振特性不会过分不足，并且能够高精度地测量。【专利附图】

【附图说明】
[0032]图1是示出本发明的第一实施方式涉及的偏振测量系统的结构并示出光配向装置的图。
[0033]图2是示出偏振测量系统的结构并示出光配向装置的俯视图的图。
[0034]图3是示出检测部的结构的示意图。
[0035]图4是检测光的变化曲线的示意图。
[0036]图5是对检测光的光量进行检测的转动角度的范围的说明图。
[0037]图6是检测光的光量的检测的具体例的说明图。
[0038]图7是示出偏振测量系统的测量动作的流程图。
[0039]图8是示出检测部的结构的外观立体图。
[0040]图9是检测部的剖视图。
[0041]图10是示出本发明的第二实施方式涉及的光配向装置的结构的图。
[0042]图11是示出照射位置和相对照射光量的关系的图表。
[0043]图12是从短轴侧示出偏振器单元和检测部的关系的说明图。
[0044]图13是示出偏振器单元的结构的图，图13的(A)是俯视图，图13的(B )是侧剖视图。
[0045]图14是示出偏振轴调整装置的示意图。
【具体实施方式】
[0046]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0047]第一实施方式
[0048]图1是示出本实施方式涉及的偏振测量系统I的结构并示出光配向装置2的示意图。
[0049]在图1中，光配向装置(光配向照射装置)2为向板状或带状的光配向对象物(工件)的光配向膜照射偏振光从而进行光配向的照射装置，偏振测量系统(检测单元)I是测量光配向装置2的照射光的偏振特性的系统。作为偏振特性，对偏振光的偏振轴以及消光比进行测量。
[0050]光配向装置2包括工作台输送架台3、照射器设置架台4、以及载置光配向对象物的工作台(台)5。
[0051]照射器设置架台4是在工作台输送架台3的宽度方向(与下述的直动机构的直动方向X垂直的方向)上被横架在距工作台输送架台3规定距离的上侧位置上的门体，照射器设置架台4的两根柱被固定在工作台输送架台3上。照射器设置架台4内置照射器6，照射器6向正下方照射偏振光。此外，为了分离伴随着工作台5的移动的振动和由照射器6的冷却引起的振动，也可以将照射器设置架台4与该工作台输送架台3分体设置而不将照射器设置架台4固定在工作台输送架台3上。工作台输送架台3和照射器设置架台4可以具有防震结构。
[0052]在工作台输送架台3中内设有以沿着直动方向X在工作台输送架台3的面上经过照射器6的正下方的方式输送工作台5的直动机构(未图不)。在光配向对象物的光配向时，通过直动机构，载置在工作台5上的光配向对象物与工作台5—起被运送并经过照射器6的正下方，光配向对象物在经过照射器6的正下方时暴露于偏振光，由此光配向膜被配向。
[0053]照射器6包括作为光源的灯7、反射镜8、偏振器单元10，并将收集的偏振光向正下方照射。
[0054]灯7是放电灯，并使用至少以与光配向对象物的宽度同等以上的宽度延伸的直管型(棒状)的紫外线灯。反射镜8是剖面为椭圆形且沿灯7的纵向方向延伸的圆柱凹面反射镜，反射镜8聚集灯7的光之后向偏振器单元10照射。
[0055]偏振器单元10被配置在反射镜8和光配向对象物之间，使向光配向对象物照射的光偏振。通过使该偏振光向光配向对象物的光配向膜照射，该光配向膜被配向。
[0056]图2是示出偏振测量系统I并示出光配向装置2的俯视图的图。此外，在图2中，为了使对偏振器单元10的构成的理解变得容易，在照射器设置架台4中仅示出了偏振器单元10。
[0057]如图2所示，偏振器单元10包括多个单位偏振器单元(第一偏振器)12以及将这些单位偏振器单元12横排地排列成一列的框架14。框架14是对各单位偏振器单元12进行连接配置的板状的框体。单位偏振器单元12包括形成为大体矩形板状的线栅偏振器(偏振器)16。
[0058]在本实施方式中，各单位偏振器单元12以使线栅偏振器16的线方向A与上述工作台5的直动方向X平行的方式支撑线栅偏振器16,并且以使与该线方向A正交的方向与线栅偏振器16的排列方向B —致的方式被设置。
[0059]线栅偏振器16是直线偏光器的一种。如上所述，灯7为棒状，由此，各种角度的光入射到线栅偏振器16中，但利用线栅偏振器16，即使是倾斜入射的光，也能够进行直线偏振而使该光透过。
[0060]线栅偏振器16以将它的法线方向作为转动轴并在面内转动从而能够对偏振轴Cl的方向进行微调整的方式被单位偏振器单元12支撑。对于所有的单位偏振器单元12，线栅偏振器16的偏振轴Cl以与规定的照射基准方向对齐的方式被进行微调整，由此获得在偏振器单元10的长轴方向的全长上偏振轴Cl被高精度地对齐的偏振光，从而能够实现高品质的光配向。
[0061]偏振测量系统I如图1所示，包括偏振测量装置20以及测量单元30。测量单元30包括检测偏振光的检测部31，偏振测量装置20基于检测部31对偏振光的检测结果来测量该偏振光的偏振轴以及消光比。
[0062]测量单元30如图2所示包括沿直线引导检测部31的线性导向部32。在测量偏振光时，线性导向部32与上述工作台5的行进方向侧的侧面5A连结并向偏振器单元10的正下方移动，或者线性导向部32以位于偏振器单元10的正下方的方式被设置在工作台输送架台3上。然后，沿线性导向部32移动检测部31或者使检测部31自推进以使其位于微调整对象的线栅偏振器16的正下方，并在该位置下利用检测部31检测透过了该线栅偏振器16的偏振光，由此测量照射光的偏振特性。
[0063]图3是示出检测部31结构的示意图。
[0064]检测部31包括检测侧偏振器(第2偏振器、测量用偏振器)33和接收传感器34。
[0065]检测侧偏振器33是具有偏振轴C2的板状(在图示例中为圆盘状)的光检测用的直线偏振器，也称作检测元件。在该检测侧偏振器33中，透过线栅偏振器16并被进行直线偏振的偏振光F入射到其中，并对该偏振光F进行直线偏振。关于检测侧偏振器33，只要是直线偏振器，则可以使用任意的偏振器，例如也可以使用线栅偏振器。
[0066]接收传感器34接收在检测侧偏振器33的偏振轴C2上被进行了直线偏振的检测光G，并将表示光量I的检测信号35向偏振测量装置20输出。
[0067]在检测部31中，检测侧偏振器33以将它的法线方向S作为转动轴并至少在I转中旋转自如的方式被设置。检测侧偏振器33的转动由相对于基准位置PO的转动角度Θ限定。在本实施方式中，基准位置PO被设定在偏振轴C2的方向与上述线栅偏振器16的照射基准方向一致的位置上。即，在将检测部31设置在线性导向部32上并使检测侧偏振器33与基准位置PO对齐时，检测侧偏振器33的偏振轴C2处于面向照射基准方向的状态。
[0068]偏振测量装置20是基于检测侧偏振器33进行I转旋转时的检测光G的光量的周期性变化来测量偏振光F的偏振轴和消光比的装置。具体而言，偏振测量装置20如图2所示，包括旋转驱动控制部21、输入部22、变化曲线计算部23、偏振特性确定部24、以及偏振特性输出部25。此外，偏振测量装置20还能够通过使例如个人计算机执行实现图2所示的各部分的计算机可读取的程序来实施。
[0069]旋转驱动控制部21控制检测部31的检测侧偏振器33的旋转。具体而言，检测部31包括使检测侧偏振器33旋转的旋转式致动器，旋转驱动控制部21控制旋转式致动器并使检测侧偏振器33旋转，由此使检测侧偏振器33的偏振轴C2与规定的转动角度Θ的方向一致。此时的转动角度Θ被输出至变化曲线计算部23。
[0070]输入部22是接收检测光G的光量I的检测值的输入的单元，检测部31的检测信号35被输入至该输入部22中。输入部22从该检测信号35中获取检测光G的光量I的检测值并将其输出至变化曲线计算部23。
[0071]变化曲线计算部23基于检测光G的光量I的检测值来计算表示使检测侧偏振器33进行I转旋转时的检测光G的光量I的周期性变化的变化曲线Q。详细而言，如上面的图3所示，检测光G是灯7的发射光E依次通过作为直线偏振器的线栅偏振器16、以及检测侧偏振器33而得到的光。
[0072]因此，如图4所示，随着检测侧偏振器33的旋转而生成的检测光G的光量I的变化曲线Q理想地是I周期为n [rad] (=180° )的由下式(I)所示的余弦波形(所谓的马吕斯法则(Low of Malus)):在检测侧偏振器33的偏振轴C2与线栅偏振器16的偏振轴Cl平行的情况下(在本实施方式中转动角度Θ = 0°、180° (极大点))为最大光量Imax (极大值)、在偏振轴C2与偏振轴Cl正交的情况下(在本实施方式中转动角度Θ =90°、270°
(极小点))为最小光量Imin (极小值)。
[0073]变化曲线
【权利要求】
1.一种偏振测量方法，其特征在于，包括: 第一步骤，基于使第二偏振器转动的同时测得的依次透过了第一偏振器及所述第二偏振器的光在各转动角度下的光的光量，求解表示所述第二偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及 第二步骤，基于在所述第一步骤中求解出的变化曲线确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性， 在所述第一步骤中，基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含所述变化曲线的一个极小点且所述光量为规定值以下。
2.如权利要求1所述的偏振测量方法，其特征在于，包括: 第三步骤，基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含与所述第一步骤不同的一个极小点且所述光量为规定值以下； 第四步骤，基于在所述第三步骤中求解出的变化曲线来确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性；以及 第五步骤，基于在所述第二步骤和第四步骤中分别确定的所述偏振特性的平均，确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性。
3.如权利要求1或2所述的偏振测量方法，其特征在于，所述规定值为所述光量的最大值的大约20%的光量。
4.如权利要求3所述的偏振测量方法，其特征在于， 基于与所述变化曲线表示的光量的最大值相对应的转动角度来确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振轴，和/或基于所述变化曲线表示的最大值和最小值来确定透过了所述第一偏振器的偏振光的消光比。
5.如权利要求1或2所述的偏振测量方法，其特征在于， 基于与所述变化曲线表示的光量的最大值相对应的转动角度来确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振轴，和/或基于所述变化曲线表示的最大值和最小值来确定透过了所述第一偏振器的偏振光的消光比。
6.一种偏振测量装置，其特征在于，包括: 变化曲线计算单元，所述变化曲线计算单元基于使第二偏振器转动的同时测得的依次透过了第一偏振器及所述第二偏振器的光在各转动角度下的光的光量，求解表示所述第二偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及 偏振特性确定单元，所述偏振特性确定单元基于所述变化曲线确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性， 所述变化曲线计算单元基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含所述变化曲线的一个极小点且所述光量为规定值以下。
7.一种偏振测量系统，其特征在于，包括: 检测部，所述检测部具有第二偏振器，经第一偏振器偏振的偏振光入射到所述第二偏振器，所述检测部使所述第二偏振器转动的同时检测透过所述第二偏振器的光的光量；以及 偏振测量装置，所述偏振测量装置基于所述检测部的检测结果确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性， 所述检测部具有: 光圈，所述光圈获取包含倾斜入射成分的所述光并使所述光入射到所述第二偏振器； 扩散单元，所述扩散单元扩散透过了所述第二偏振器的光；以及 接收传感器，所述接收传感器接收被所述扩散单元扩散的光并检测所述光量， 所述偏振测量装置包括: 变化曲线计算单元，所述变化曲线计算单元基于所述第二偏振器的各转动角度下的光的光量，求解表示所述第二偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及 偏振特性确定单元，所述偏振特性确定单元基于所述变化曲线确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性， 所述变化曲线计算单元基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含所述变化曲线的一个极小点且所述光量为规定值以下。
8.—种光配向照射装置，所述光配向照射装置包括向载置在工作台上的工件表面的配向膜照射偏振光的偏振器单元，其特征在于， 所述偏振器单元包括横向排列的多个单位偏振器单元，所述单位偏振器单元分别包括偏振器，并包括检测单元，该检测单元检测通过了所述多个偏振器的偏振光被重叠照射的所述工作台相应位置上的光的偏振特性。
9.如权利要求8所述的光配向`照射装置，其特征在于，所述检测单元包括检测部，该检测部被设置为能够在所述单位偏振器单元的排列方向上移动。
10.如权利要求8或9所述的光配向照射装置，其特征在于， 所述检测单元包括: 检测部，所述检测部具有测量用偏振器，并使所述测量用偏振器转动的同时检测透过所述测量用偏振器的光的光量；以及 偏振测量装置，所述偏振测量装置基于所述检测部的检测结果确定所述工作台相应位置上的光的偏振特性， 所述检测部具有: 光圈，所述光圈被配置在所述工作台相应位置上，获取通过了所述多个偏振器的偏振光重叠后的光并使所述光向所述测量用偏振器入射； 扩散单元，所述扩散单元扩散透过了所述测量用偏振器的光；以及 接收传感器，所述接收传感器接收被所述扩散单元扩散的光并检测所述光量， 所述偏振测量装置包括: 变化曲线计算单元，所述变化曲线计算单元基于所述测量用偏振器的各转动角度下的光的光量，求解表示所述测量用偏振器转动时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及偏振特性确定单元，所述偏振特性确定单元基于所述变化曲线确定所述工作台相应位置上的照射光的偏振特性。
【文档编号】G01J4/00GK103575400SQ201310303088
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年7月18日 优先权日:2012年7月18日
【发明者】石飞裕和, 川锅保文, 齐藤行正, 浅见英一 申请人:岩崎电气株式会社