一种无结晶体管的电阻测试方法
【专利摘要】本发明公开了一种无结晶体管的电阻测试方法，包括：制作由多个无结晶体管串连而成的有栅极结构和无栅极结构；这两组结构中多个无结晶体管的源级和漏极依次制作在两个相邻的接触台面上，且两个相邻接触台面之间通过导电通道连接，导电通道长度依次递增；其中，有栅极结构中，导电通道上覆盖有栅极，且每个栅极到源级和漏极的长度分别相等；通过测量无栅极结构相邻接触台面间的电流与电压值，确定两相邻接触台面的接触电阻；通过测量有栅极结构中无结晶体管的转移特性曲线对应的饱和电流，确定不同栅长对应的总电阻值，再利用差值法计算得到沟道电阻以及串联电阻。本发明测试方法简单可靠，精度较高，计算量小。
【专利说明】一种无结晶体管的电阻测试方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体【技术领域】，尤其涉及一种半导体晶体管的电阻测试方法。具体地，涉及到无结晶体管中导电通道的沟道电阻、串联电阻及源漏接触电阻的测量，利用了一种差值的思想和简单的数学计算，来实现对无结晶体管的沟道电阻、串联电阻及源漏接触电阻的测试。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的不断发展，半导体晶体管的尺寸越来越小，晶体管从传统的二维平面晶体管到多栅(两面栅、三面栅、围栅)结构的Fin(鳍形)晶体管，是为了降低尺寸减小所带来的短沟道效应，增加栅极控制能力。而随着尺寸的进一步减小，源极和漏极与沟道掺杂浓度的变化梯度越来越大，要在几纳米的范围内实现p-n结，这需要十分复杂的掺杂和退火工艺，增大了晶体管的制作难度和成本，限制了晶体管的进一步发展。无p-n结晶体管是一种源极、漏极和沟道均采用统一掺杂类型和浓度的晶体管，其大大简化了工艺难度，是未来晶体管的一个重要发展方向。
[0003]根据无结晶体管的特性，在不加栅压时，栅极下面的导电沟道需要自然耗尽，处于截止状态。为了实现这样的性能，无结晶体管的导电沟道不能太厚，因此，导电沟道一般采用纳米线和纳米带。
[0004]半导体器件尺寸的减小不仅带来制作技术上的难题，同时，在完成晶体管制作的基础上，要对器件的特性进行表征，测量技术上的难度也随之提高。对于无结晶体管来说，沟道电阻作为晶体管导电通道中栅极控制的导电通道的电阻，串联电阻是导电通道中除去沟道电阻部分的电阻，而源漏接触电阻则是源漏处金属与半导体的欧姆接触的电阻。首先，对传统的二维平面晶体管来说，为了测量沟道电阻，可以将电压探针放置到栅极的下面测量，但对于无结晶体管，导电通道都是纳米尺度，尺寸较小，且多采用多栅(两面栅、三面栅、围栅)结构，不容易将探针放置到栅极的下面，因而直接测量沟道电阻是比较困难的；另外，一般文献中串联电阻的测量方法的公式推导比较繁琐，常与迁移率的退化一起考虑，增加了复杂度。所以合适的电阻测量方法在无结晶体管的表征上是十分必要的。
【发明内容】
[0005](一 )要解决的技术问题
[0006]有鉴于此，为了精确提取无结晶体管中各部分电阻，本发明采用了一组特殊设计的无结晶体管和差值计算的方法，实现了对无结晶体管的各部分电阻测量，具体包括源漏欧姆接触电阻，沟道电阻和串联电阻。
[0007]( 二 )技术方案
[0008]为达到上述目的，本发明提供了一种无结晶体管的电阻测试方法，一种无结晶体管的电阻测试方法，其特征在于，所述测试方法包括:
[0009]步骤1、制作由多个无结晶体管串连而成的有栅极结构和无栅极结构；这两组结构中多个无结晶体管的源级和漏极依次制作在两个相邻的接触台面上，且两个相邻接触台面之间通过导电通道连接，导电通道长度依次递增；其中，有栅极结构中，导电通道上覆盖有栅极，且每个栅极到源级和漏极的长度分别相等；；
[0010]步骤2、通过测量无栅极结构相邻接触台面间的电流与电压值，确定两相邻接触台面的接触电阻；
[0011]步骤3、通过测量有栅极结构中无结晶体管的转移特性曲线对应的饱和电流，确定不同栅长对应的总电阻值，再利用差值法计算得到沟道电阻以及串联电阻。
[0012](三)有益效果
[0013]本发明测试方法在结构上简单，利用结构的差异即可计算求得各部分电阻值，最小二乘法拟合和差值计算，计算量小，可利用多种数学工具方便计算，且当接触台面N较大时，从多组数据中提取的电阻精度较高。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本发明实施例中无结晶体管的电阻测试方法流程图；
[0015]图2为本发明实施例中没有覆盖栅极的多个无结晶体管串联而成的一组结构的示意图；
[0016]图3为本发明实施例中覆盖有栅极的多个无结晶体管串联而成的一组结构的示意图；
[0017]图4(a)和图4(b)为本发明实施例中无栅极结构和有栅极结构的测试线路图。【具体实施方式】
[0018]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。
[0019]图1示出了本发明提出的无结晶体管的电阻测试方法流程图。如图1所示，该方法包括:
[0020]步骤1、制作由多个无结晶体管串连而成的两组结构；每组结构中串联多个无结晶体管，每个无结晶体管的源级和漏极制作在两个接触台面上，接触台面之间由一条或多条平行的纳米线或纳米带连接；无结晶体管中连接源极和漏极的纳米线称为导电通道，每组结构中串联而成的多个无结晶体管的导电通道长度依次递增；其中一组结构中串联而成的多个无结晶体管的导电通道上覆盖有栅极，且栅极的栅长依次递增，使得栅极与两侧接触台面间距相同；
[0021]图2示出了本发明实施例中没有覆盖栅极的多个无结晶体管串联而成的一组结构的示意图。如图2所示,其示例性地示出了 4个接触台面1-4,该接触台面宽度为d,接触台面之间由3根纳米线连接，这3根纳米线为导电通道，导电通道长度依次递增，LI < L2<L3 ;相邻两个接触台面之间的纳米线导电通道数目相同，导电通道的截面宽度，高度一致，该实施例中为矩形，其形状可以为包括横截面相同的其他形状，如椭圆形，圆形，三角形，圆角矩形，梯形等；接触台面上制作了电极(对于没有覆盖栅极的结构，电极不区分源极和漏极，统称为电极)。为了消除测量探针及导线部分的电阻影响，在测量相邻电极之间纳米线导电通道的电流时，电极上除了连接施加的激励电压线路外，另外还连接有一条测试线路来检测电流。激励线路为一条串联了电压源的导线连接到两个电极上，测试电路为一条串联了电流计的导线连接到两个电极上。
[0022]可见，无栅极结构满足如下条件:
[0023]a.两个接触台面之间不制作栅极，台面按照源极和漏极工艺制作，各个接触台面完全相同；
[0024]b.相邻两个接触台面之间的导电通道长度依次递增，即相邻两个台面的间距依次递增。
[0025]图3示出了本发明实施例中覆盖有栅极的多个无结晶体管串联而成的一组结构的示意图。如图3所示，其示例性地示出了 4个接触台面，接触台面之间由3根纳米线连接，纳米线上覆盖有栅极G1-G3，构成了 3个相邻的晶体管:每个晶体管的导电通道数目即纳米线的数目相同，且纳米线的宽度，高度一致，包括横截面相同的其他形状，如椭圆形，圆形，三角形，圆角矩形，梯形等；每两个晶体管的栅长依次递增，Lgi < Lg2 < Lg3 ;两个晶体管中栅极到两端源极和漏极的导电通道长度La和Lek分别相同，如图3所示，每个栅极到源级的长度Leu = Lel2 = Lel3 = Le1j，每个棚极到漏极的长度Leri = Lee2 = Lee3 = Ler，而冋Iv晶体管中栅极到源级和漏极的长度La与Lek可以相等也可以不相等，图3示出的La Φ Lee ；晶体管的沟道材料相同，不同长度不影响电导率，载流子密度等，电子迁移率与沟道长度无关；可见，有栅极结构满足如下条件:
[0026]a.相邻两个接触台面之间制作栅极，台面按照源极和漏极工艺制作，各个台面完全相同，相邻两个台面与中间的栅极和导电通道共同组成一个无结晶体管，相邻两个晶体管共用一个源极/漏极台面；
[0027]b.各个晶体管的导电通道和栅长依次递增，使得不同晶体管中栅极到两端源极和漏极的导电通道的长度La和Lek对应一致，Lel与Lek可以相等也可以不相等。
[0028]另外，无栅极结构和有栅结构可以串在一起；两组结构的导电通道材料不限于硅，包括II1-V族半导体材料；有栅极结构的栅极材料包括多晶硅和金属。
[0029]为了消除测量探针及导线部分的电阻影响，在测量单个晶体管的转移特性曲线时，源极和漏极除了施加激励电压线路外，另外有一条单独的测试线路来检测漏极电流；激励线路为一条串联了电压源的导线连接到源极和漏极，测试电路为一条串联了电流计的导线连接到源极和漏极，栅极和接地之间串联了一个可调范围的电压源。测量时，各个晶体管源漏电流方向一致，图3中晶体管左侧台面均为源极，右侧台面均为漏极。
[0030]步骤2、通过测量无栅极结构相邻台面间的电流与电压值，确定不同导电通道长度对应的总电阻值，再利用最小二乘方法计算出源漏台面的接触电阻值；
[0031]其中，台面接触电阻为接触台面欧姆接触的电阻；最小二乘法直线拟合是根据测量得到的导电通道长度与总电阻值得数据，描绘在χ-y直角坐标系中，拟合出的一条直线使得实验数据与拟合数据之间的平方和最小，使得拟合曲线最接近实验数据；利用最小二乘法拟合的直线在χ-y直角坐标系中y轴上的截距对应了导电通道长度为O时的总电阻值，即为两个接触台面的接触电阻值。
[0032]所述最小二乘法直线拟合是根据测量得到的导电通道长度与总电阻值的数据，在x-y直角坐标系中拟合出的一条直线使得实验数据与拟合数据之间的平方和最小。利用最小二乘法拟合的直线在x-y直角坐标系中y轴上的截距对应了导电通道长度为O时的总电阻值，即为两个接触台面的接触电阻值。
[0033]步骤3、通过测量有栅极结构无结晶体管的转移特性曲线对应的饱和电流，确定不同栅长对应的总电阻值，再利用差值法计算得到沟道电阻以及串联电阻。
[0034]其中，沟道电阻为晶体管饱和时，栅极下方沟道的电阻；串联电阻为导电通道中除去栅极下方沟道的其他电阻；无结晶体管转移曲线是施加一固定的源漏偏压，变化栅极电压，测量源漏电流的曲线，曲线在χ-y直角坐标系下，X轴对应栅极电压，y轴对应源漏电流；差值法为不同栅长晶体管总电阻相减，得到栅长与总电阻的关系，可求得单位栅长沟道电阻；串联电阻为无结晶体管中总电阻减去沟道电阻和接触电阻。接触电阻在步骤2中求出
[0035]图4示出了本发明中两组结构的测量线路图，图4(a)为无栅极结构的测试线路图，图4(b)为有柵极结构的测试线路图。图4(a)所示的接触台面I和2之间有长度为L的三根纳米线导电通道，接触台面上制作了电极，两电极之间用导线串联了一个电压源作为激励电路，再用另一根导线串联电流计作为测试线路；图4(b)所示的无结晶体管两个接触台面分别为源极S和漏极D，中间制作了栅极G，栅极到两侧源极和漏极的导电通道长度分别为La和Lek，源极和漏极之间用一根导线串联了一个电压源作为激励电路，提高源极和漏极的偏压，再用一根 导线串联电流计作为测试电路，测量漏极电流，栅极上施加激励电压，来控制导电沟道。
[0036]具体测试方法如下:
[0037]一、接触电阻的测量
[0038]通过测量无栅极结构的电流和电压关系，计算得到总电阻值，总电阻包括台面上的接触电阻和导电通道电阻。至少测量两组不同导电通道长度的数据，总电阻值的不同取决于导电通道的不同长度，而导电通道电阻值与导电通道长度成正比，于是可得到简单的方程组，对应总电阻关系。利用最小二乘法直线拟合，即可求出接触电阻值。具体如下:
[0039]根据图1所示的无栅极结构，测量两个相邻台面之间的电流电压关系，电压除以电流计算得到总电阻。总电阻关系为:
[0040]Rt = Rc+Rl+Rc
[0041]Rt为总电阻，Rc为接触电阻，Rl为导电通道电阻。
[0042]此时，对于相邻两个台面之间测得的总电阻，其差异来自于不同长度的导电通道部分，而导电通道部分的电阻大小与长度成正比。对于两个不同的相邻台面之间得到的电阻关系式:
[0043]Rn = RC+RL1+RC = 2^+L^
[0044]Rt2 = Rc+RL2+Rc = 2RC+L2a
[0045]a为单位长度导电通道的电阻值。
[0046]解二元方程即可得到接触电阻R。。另外，为了提高计算精度，可以测量多组相邻台面的电流电压关系，求得多组总电阻。可以作X轴为导电通道长度L，Y轴为总电阻Rt的线性关系图，用最小二乘法进行拟合，拟合直线在Y轴上的截距即为接触电阻，含义为当纳米线长度为O时的电阻，即为两个接触电阻的大小，再除以2，得到一个接触电阻的值。
[0047]二、沟道电阻和串联电阻的测量
[0048]得到接触电阻后，测量有柵极结构中晶体管的转移特性曲线的饱和电流，计算得到总电阻值，此时总电阻值包括台面上的接触电阻、沟道电阻和串联电阻。至少测量两组不同栅长的晶体管数据，总电阻值的不同取决于栅长不同引起的沟道电阻的差异，假设沟道电阻与栅长有正比关系，于是可得到简单的方程组，利用差值的方法，计算得到单位长度的沟道电阻值，进而得到总的沟道电阻值，进一步得到串联电阻值。具体如下:
[0049]根据源极和漏极加上一定的电压Vds，通过变化栅极电压Ves的值来控制晶体管的状态，测量晶体管的漏极电流，得到转移特性曲线。转移特性曲线横坐标是栅极电压Ves，纵坐标是漏极电流Ids。
[0050]在得到接触电阻的基础上，在图2结构中测量转移特性曲线。将得到的转移特性曲线进行处理，取饱和电流值Ids (sat)，计算得到总电阻RT，，即为
Vds/Ids (sat)。
此时，总电阻
关系如下:
[0051 ] Rt = Rc+Rsl+R0+Rse+Rc
[0052]Rt为总电阻，Rc为接触电阻，Rsl为栅极左边导电通道串联电阻，Rse为栅极右边导电通道串联电阻，R0为沟道电阻。
[0053]此时，对于不同的晶体管，总电阻的差异来自于不同栅长引起的沟道电阻的不同。对于两个不同栅长的晶体管，有如下关系式:
[0054]Rn — Rc+Rsu+Rcii+Rski+Rc
[0055]Rt2 — Rc+Rsl2+Ro2+Rsr2+Rc
[0056]其中，Rsli和Rsl2相等，RSri和RSr2相等，两式相减，
[0057]Rn_RT2 — Rq「Rq2 — Rq (Lg「LG2)
[0058]R0为单位长度沟道电阻，Lgi, Lg2分别为两个晶体管的栅长。
[0059]依据此方法，可以计算出单位长度沟道电阻，进而得到每个晶体管的沟道电阻，再用总电阻减去沟道电阻和接触电阻，可以得到串联电阻。
[0060]以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种无结晶体管的电阻测试方法，其特征在于，所述测试方法包括: 步骤1、制作由多个无结晶体管串连而成的有栅极结构和无栅极结构；这两组结构中多个无结晶体管的源级和漏极依次制作在两个相邻的接触台面上，且两个相邻接触台面之间通过导电通道连接，导电通道长度依次递增；其中，有栅极结构中，导电通道上覆盖有栅极，且每个栅极到源级和漏极的长度分别相等； 步骤2、通过测量无栅极结构相邻接触台面间的电流与电压值，确定两相邻接触台面的接触电阻； 步骤3、通过测量有栅极结构中无结晶体管的转移特性曲线对应的饱和电流，确定不同栅长对应的总电阻值，再利用差值法计算得到沟道电阻以及串联电阻。
2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述两组结构中的导电通道是一根或者多根平行的纳米线或纳米带。
3.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述两组结构中接触台面的数量至少为3，且相邻两个接触台面之间的导电通道截面的宽度和高度相等，其形状包括横截面相同的矩形、椭圆形、圆形、三角形、圆角矩形、梯形。
4.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述无栅极结构满足如下条件: a.相邻两个接触台面之间的导电通道上不制作栅极，接触台面按照源极和漏极工艺制作，各个接触台面完全相同； b.相邻两个接触台面之间的导电通道长度依次递增，即相邻两个台面的间距依次递士豳>曰ο
5.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述有栅极结构满足如下条件: a.相邻两个接触台面之间的导电通道上制作栅极，接触台面按照源极和漏极工艺制作，各个台面完全相同，相邻两个接触台面与中间的栅极和导电通道共同组成一个无结晶体管，相邻两个晶体管共用一个源极/漏极接触台面； b.各个无结晶体管的导电通道和栅长依次递增，使得不同晶体管中栅极到两端源极和漏极的导电通道的长度L和对应一致，而同一无结晶体管中栅极到两端源级和漏极的导电通道长度可以相等或不等。
6.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述无栅极结构和有栅结构可以串在一起；两组结构的导电通道材料包括硅和II1-V族半导体材料。
7.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述有栅极结构的栅极材料包括多晶娃和金属。
8.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述台面接触电阻为接触台面欧姆接触的电阻。
9.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述步骤2中，、通过测量无栅极结构相邻接触台面间的电流与电压值，先确定不同导电通道长度的总电阻，然后通过最小二乘法直线拟合计算台面接触电阻；所述最小二乘法直线拟合是指根据测量得到的导电通道长度与总电阻值的数据，在χ-y直角坐标系中拟合出的一条直线使得实验数据与拟合数据之间的平方和最小，该条直线上导电通道长度为O时对应的总电阻值即为两个接触台面的接触电阻值。
10.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述步骤3中，沟道电阻为晶体管饱和时，栅极下方沟道的电阻；串联电阻为导电通道中除去栅极下方沟道的其他电阻。
11.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述步骤3中，无结晶体管转移曲线是通过施加一固定的源漏偏压、变化栅极电压后，测量源漏电流的曲线。
12.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述步骤3中，差值法为不同栅长晶体管总电阻相减，得到栅长与总电阻的关系后，获得单位栅长沟道电阻。
13.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述步骤3中，串联电阻为无结晶体管中总电阻减去沟道电阻和接触电阻。
14.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述步骤2和3中，为了消除测量探针及导线部分的电阻影响，两组结构的每一个源极接触台面和漏极接触台面上除了施加的激励电压线外，另外还有一条单独的测试线路来检测漏极电流。
15.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述步骤3中，测量时有柵极结构的接触台面之间电流方向一致。
【文档编号】G01R27/14GK103575998SQ201310511410
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年10月25日 优先权日:2013年10月25日
【发明者】王昊, 韩伟华, 马刘红, 杨富华 申请人:中国科学院半导体研究所