1.一种MEMS设备,包括:
基板;
第一弹性元件;以及
可移动质量块系统,所述可移动质量块系统包括:
悬挂质量块,所述悬挂质量块通过所述第一弹性元件弹性耦合到所述基板,所述悬挂质量块在第一平面中延伸并且受到沿与所述第一平面垂直的振动方向的扰动力;和
动态吸收器,所述动态吸收器包括阻尼质量块,所述阻尼质量块弹性耦合到所述悬挂质量块并且被配置为以其自然振荡频率共振,其中所述动态吸收器被配置为吸收由所述悬挂质量块展示的、由于所述扰动力所致的移动。
2.根据权利要求1所述的MEMS设备,其中所述扰动力是在所述振动方向上以所述阻尼质量块的所述自然振荡频率作用于所述悬挂质量块上的正交力。
3.根据权利要求2所述的MEMS设备,其中所述阻尼质量块通过第二弹性元件耦合到所述悬挂质量块,所述第一弹性元件和所述第二弹性元件被配置为使得所述悬挂质量块和所述阻尼质量块能够在所述振动方向上移动。
4.根据权利要求3所述的MEMS设备,其中所述阻尼质量块被所述悬挂质量块围绕。
5.根据权利要求4所述的MEMS设备,其中所述阻尼质量块和所述悬挂质量块形成在半导体材料的结构层中。
6.根据权利要求5所述的MEMS设备,其中所述结构层悬挂在所述基板之上,并且其中所述基板也由半导体材料组成。
7.根据权利要求1所述的MEMS设备,其中所述MEMS设备形成惯性传感器。
8.根据权利要求7所述的MEMS设备,包括第三弹性元件和通过所述第三弹性元件耦合到所述悬挂质量块的驱动结构,所述驱动结构被配置为生成驱动移动,所述驱动移动在与所述振动方向不同的驱动方向上,并且处于所述自然振荡频率。
9.根据权利要求7所述的MEMS设备,其中所述惯性传感器是陀螺仪。
10.根据权利要求9所述的MEMS设备,其中:
所述陀螺仪是双轴陀螺仪,所述悬挂质量块包括关于第一驱动轴和第二驱动轴对称地布置的第一对感测质量块和第二对感测质量块;
所述感测质量块关于中心轴来布置并且弹性耦合到中心锚固区域;
所述第一驱动轴和所述第二驱动轴彼此垂直,所述第一对感测质量块相对于所述第二驱动轴对称并且与所述第一驱动轴平行地被致动,所述第二对感测质量块相对于所述第一驱动轴对称并且与所述第二驱动轴平行地被致动;并且
所述第一对感测质量块和所述第二对感测质量块均围绕并且弹性耦合到相应的阻尼质量块。
11.根据权利要求10所述的MEMS设备,包括:
第四弹性元件和第五弹性元件;
弹性耦合到所述基板的第一驱动框架和第二驱动框架,所述第一驱动框架和所述第二驱动框架通过所述第四弹性元件弹性耦合到所述第一对感测质量块并且被配置为沿所述第一驱动轴传输驱动移动,所述第一驱动框架和所述第二驱动框架通过所述第五弹性元件弹性耦合到所述第二对感测质量块并且被配置为沿所述第二驱动轴传输驱动移动。
12.根据权利要求11所述的MEMS设备,其中所述第一驱动框架和所述第二驱动框架均包括至少一个静电驱动单元,所述至少一个静电驱动单元被配置为生成驱动移动,所述驱动移动用于相应的驱动框架,并且处于所述阻尼质量块中的每个阻尼质量块的相应的自然振荡频率,所述第一驱动框架和所述第二驱动框架中的每个驱动框架包括被配置为检测所述感测质量块的有效驱动频率的频率检测单元。
13.一种电子设备,包括:
控制器;
耦合到所述控制器的输入/输出设备;以及
耦合到所述控制器的MEMS设备,所述MEMS设备包括:
基板;
第一弹性元件和第二弹性元件;以及
可移动质量块系统,所述可移动质量块系统包括:
悬挂质量块,所述悬挂质量块通过所述第一弹性元件弹性耦合到所述基板,所述悬挂质量块在第一平面中延伸并且受到沿与所述第一平面垂直的振动方向的扰动力;和
阻尼质量块,所述阻尼质量块通过所述第二弹性元件弹性耦合到所述悬挂质量块,所述阻尼质量块被配置为以其自然频率共振,其中所述阻尼质量块被配置为吸收否则将作用于所述悬挂质量块上的至少一些扰动力。
14.根据权利要求13所述的电子设备,其中所述阻尼质量块位于所述悬挂质量块的开口中。
15.根据权利要求13所述的电子设备,其中所述MEMS设备包括驱动组件,所述驱动组件被配置为在第一平面中驱动所述悬挂质量块和所述阻尼质量块,其中以所述阻尼质量块的共振频率来驱动所述阻尼质量块。
16.根据权利要求13所述的电子设备,其中所述MEMS设备包括陀螺仪和加速度计中的至少一个。
17.根据权利要求13所述的电子设备,其中所述电子设备是平板计算机、膝上型计算机、便携式计算机、智能电话、可穿戴设备、消息收发设备、数字音乐播放器和数字照片或视频相机中的至少一个。
18.一种电子设备,包括:
控制器;
耦合到所述控制器的输入/输出设备;以及
耦合到所述控制器的MEMS设备,所述MEMS设备包括:
基板;
第一弹性元件和第二弹性元件;以及
可移动质量块系统,所述可移动质量块系统包括:
悬挂质量块,所述悬挂质量块通过所述第一弹性元件弹性耦合到所述基板并且受到沿振动方向的扰动力;以及
动态吸收器,所述动态吸收器包括多个阻尼质量块,所述多个阻尼质量块弹性耦合到所述悬挂质量块并且被配置为减少所述悬挂质量块由于所述扰动力所致的移动,其中:
所述悬挂质量块包括分别关于第一驱动轴和第二驱动轴对称地布置的第一对感测质量块和第二对感测质量块;
所述第一驱动轴和所述第二驱动轴彼此垂直,第一对的所述感测质量块相对于所述第二驱动轴对称并且与所述第一驱动轴平行地被致动,第二对的所述感测质量块相对于所述第一驱动轴对称并且与所述第二驱动轴平行地被致动;并且
所述第一对感测质量块和所述第二对感测质量块中的每个感测质量块围绕并且弹性耦合到所述多个阻尼质量块中的相应的阻尼质量块。
19.根据权利要求18所述的电子设备,其中所述第一对感测质量块和所述第二对感测质量块关于中心轴来布置并且弹性耦合到中心锚固区域。