技术总结
MEMS设备具有通过第一弹性元件弹性地承载悬挂质量块的支撑区域。调谐动态吸收器弹性耦合到悬挂质量块，并且被配置为使以动态吸收器的自然振荡频率作用于悬挂质量块上的正交力减幅。调谐动态吸收器由通过第二弹性元件耦合到悬挂质量块的阻尼质量块形成。在实施例中，悬挂质量块和阻尼质量块形成在例如半导体材料的同一结构层中，并且阻尼质量块被悬挂质量块围绕。
技术研发人员：L·G·法罗尼;C·瓦尔扎希纳;R·卡尔米纳蒂;A·托齐奥
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2015.06.30
技术公布日：2019.04.09