基于氦气分离膜的压力产品总漏率测试方法与流程

文档序号:12173559阅读:来源:国知局

技术特征:

1.基于氦气分离膜的压力产品总漏率测试系统,主要包括容纳压力产品的检漏收集室、氦气分离膜窗口、真空泵、氦质谱检漏仪和标定系统,收集所容纳的压力产品泄漏出来的示漏气体的检漏收集室室壁上设置有氦气分离膜窗口,氦气分离膜窗口通过管路经真空泵阀门与真空泵连通,氦质谱检漏仪经检漏仪阀门对氦气分离膜窗口分离出来的氦气量进行测试,给出压力产品的总漏率测量值,与检漏收集室连通的标定系统由经标准计量过的流量计、稳压室和压力表组成,标定系统向收集室中充入已知恒定流量示漏气体氦气的流量,检漏仪通过恒定流量示漏气体流量反应值来标定最终状态下压力产品的总漏率;其中,氦气分离膜窗口用于从收集室中收集示漏气体氦气,仅允许氦气和氢气通过,对氦气起到富集作用。

2.如权利要求1所述的测试系统,其中,氦气分离膜窗口主要包括氦气分离膜通道以及顺次设置在通道内部的前防护网、前过滤网、氦气分离膜、后过滤网、后防护网,前防护网用于保护前过滤网和氦气分离膜;前过滤网用于过滤来自收集室的气体,氦气分离膜用于从大气环境中分离示漏气体氦气;后过滤网用于过滤从真空抽气系统泄漏到氦气分离膜的气体;后防护网用于保护氦气分离膜面向测试室的通道,前防护网、前过滤网、后防护网、后过滤网共同为氦气分离膜提供应力支撑。

3.如权利要求1所述的测试系统,其中,氦气分离膜窗口真空密封设置在收集室室壁上并通过真空接口与真空泵连通的管路连通。

4.如权利要求1所述的测试系统,其中,真空泵用于为检漏仪提供真空环境,分流一部分氦气。

5.如权利要求1-4任一项所述的测试系统,其中,标定系统由经标准计量过的流量计、稳压室和压力表组成,稳压室设置有压力表,且稳压室一侧经过稳压室阀门与气源连接,另一侧经过流量计阀门、流量计与收集室连 通。

6.如权利要求1-4任一项所述的测试系统,其中,氦气分离膜使氢气和氦气能轻易通过,但空气中的二氧化碳、氧气、氮气、一氧化碳和甲烷却无法通过。

7.如权利要求1-4任一项所述的测试系统,其中,氦气分离膜由石英、氧化石墨烯的材料制成。

8.一种利用权利要求1-7任一项所述系统进行压力产品总漏率测试的方法,包括如下步骤:

1)将压力产品放入所述系统的收集室前,打开真空泵,使用真空泵对氦气分离膜窗口和管道进行抽真空,保证氦气分离膜分离器面向测试室的部分处于真空状态,待检漏仪和收集室之间形成稳定的示漏气体流,测量收集室内部氦气本底初值I0

2)将压力产品放入收集室,密封收集室,混合收集室中的示漏气体,待压力产品泄漏处与检漏仪之间形成稳定示漏气体流,即检漏仪反应值由上升变为稳定状态,即测量压力产品的总漏率的反应值终值I1

3)从气源向稳压室中送入一定量的氦气,记录稳压室上压力表的数值,通过流量计向收集室中流入稳定流量的氦气,待检漏仪与收集室中标定系统出口之间建立稳定的流量Q0,即检漏仪从终值升高到稳定的样值,记录检漏仪的反应值I2

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4)通过公式(1)得到压力产品的总漏率Q。

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