振动模块以及陀螺仪的制作方法

文档序号:12711048阅读:来源:国知局
技术总结
一种陀螺仪,包括一振动模块,所述振动模块用于检测XY平面外的振动信号,所述振动模块在XY平面内包括相互垂直且相互连接的沿着X方向的第一悬臂梁和沿着Y方向第二悬臂梁,所述第一悬臂梁的末端连接第一质量块,所述第二悬臂梁的末端连接第二质量块,至少一个质量块与对应的悬臂梁之间的连接结构中包括折叠梁,所述折叠梁的设置方向与设置所述折叠梁的悬臂梁的轴向垂直。

技术研发人员:裘进;郭慧芳
受保护的技术使用者:上海矽睿科技有限公司
文档号码:201510916581
技术研发日:2015.12.10
技术公布日:2017.06.20

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