技术总结
本发明提供具有以往之上的高精度和长期可靠性的力学量测量装置及使用其的压力传感器。在一个半导体基板(1)的主表面上具有由杂质扩散电阻体构成的第一惠斯通电桥(A)并利用第一惠斯通电桥(A)检测半导体基板(1)的主表面上正交的x轴方向产生的应变量与y轴方向产生的应变量的差的力学量测量装置中，在半导体基板(1)的主表面上具有检测x轴方向的应变量的第二惠斯通电桥(B)和检测y轴方向的应变量的第三惠斯通电桥(C)。
技术研发人员：宮嶋健太郎
受保护的技术使用者：日立汽车系统株式会社
文档号码：201580030863
技术研发日：2015.06.01
技术公布日：2017.02.22