使用磁隧道结的基于MLU的加速计的制作方法

文档序号:12185192阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于MLU的加速计(100),包括:

至少一个MLU单元(101-104),包括位于具有固定的第一磁化方向(231)的第一磁性层(23)与具有能够改变的第二磁化方向(211)的第二磁性层(21)之间的隧道势垒层(22);

检测质量(6),包括具有引起检测质量场(61)的检测质量磁化(60)的铁磁材料,所述检测质量(6)弹性地悬浮,以便能够在经受加速度向量时沿至少一个方向偏斜,所述检测质量(6)经由所述检测质量场(61)磁耦合到所述至少一个MLU单元(101-104);其特征在于所述基于MLU的加速计(100)还包括:

读取模块,配置用于确定所述至少一个MLU单元(101-104)的每个的磁阻,以便从所述检测质量(6)相对于所述至少一个MLU单元(101-104)的任一个的所述偏斜来确定加速度向量,

其中所述读取模块包括:用于将所述第二磁化(211)切换到高灵敏和线性状态的部件,在所述高灵敏和线性状态下,所述感测磁化211处于与所述存储磁化231平行和反平行之间的中间状态;以及用于确定所述感测磁化方向(211)与所述存储磁化方向(231)之间的对齐程度的部件。

2.如权利要求1所述的加速计(100),

其中,所述部件包括磁耦合到所述MLU单元(101-104)的场线(4),所述场线(4)配置用于传递引起偏置场(42)的偏置场电流(41)。

3.如权利要求1所述的加速计(100),

其中,所述读取模块还包括位线(3),所述位线配置用于经由所述位线(3)在所述MLU单元(101-104)中传递感测电流(32)。

4.如权利要求1或3中的任一项所述的加速计(100),包括位于所述检测质量6的每侧、沿x方向的多个MLU单元(101,104)以及位于所述检测质量6的每侧、沿y方向的多个MLU单元(102,103)。

5.如权利要求1或4中的任一项所述的加速计(100),还包括位于所述检测质量(6)顶部和之下的一个或多个MLU单元(101,104),使得能够感测沿z方向所定向的加速度向量。

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