技术特征：
技术总结
本发明涉及一种光谱光束轮廓计量系统，其同时检测在大波长范围及大入射角AOI范围内的测量信号。一方面，多波长照明光束在由高数值孔径物镜投射到样品上之前被重新塑形成窄线形状的光束。在与所述样品相互作用之后，收集到的光行进通过波长色散元件，所述波长色散元件沿着二维检测器的一个方向投射所述AOI范围且沿着二维检测器的另一方向投射波长分量。因此，在所述检测器中的每一像素处检测到的所述测量信号各自表示特定AOI及特定波长的散射测量信号。另一方面，运用超光谱检测器同时检测在大波长范围、AOI范围及方位角范围内的测量信号。
技术研发人员：J·付;N·沙皮恩
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：2015.12.05
技术公布日：2017.08.01