具有改进的可编程性和灵敏度的基于MLU的磁性传感器的制作方法

文档序号:11449093阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本公开涉及用于感测外部磁场的磁性传感器设备(100),其包括多个MLU单元(1),每个MLU单元(1)包括磁性隧道结(2),所述磁性隧道结(2)包括具有可自由地在外部磁场中定向的感测磁化(210)的感测层(21)、具有存储磁化(230)的存储层(23),以及在感测层(21)和存储层(23)之间的隧道势垒层(22);磁性传感器设备(100)还包括应力诱导设备(6),其被配置用于在磁性隧道结(2)上施加各向异性机械应力从而诱导感测层(21)和存储层(23)中的至少一个上的应力诱导的磁各向异性(271、272);并且由应力诱导设备诱导的应力诱导的磁各向异性(271、272)基本上对应于感测层(21)和存储层(23)中的所述至少一个的净磁各向异性(280)。磁性传感器设备可以被容易地编程并且具有改进的灵敏度。

技术研发人员:S.班迪伊拉
受保护的技术使用者:克罗科斯科技公司
技术研发日:2015.12.23
技术公布日:2017.08.29
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