基于MEMS的LIDAR的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种系统，用于测量如空气中颗粒这样的颗粒的速度。本发明具体涉及具有微机电系统(MEMS)的激光雷达(LIDAR)系统。

技术研发人员：J·K·延森;P·J·罗德里戈;C·彼泽森;扈琪
受保护的技术使用者：文达光电股份有限公司
技术研发日：2015.12.21
技术公布日：2017.09.26