1.一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器,其特征在于:包括:单模光纤(1),空芯光纤(2),实芯光纤(3);其中,实芯光纤(3)由质量块(4)和悬臂梁(5)组成;
单模光纤(1)、空芯光纤(2)和实芯光纤(3)顺序熔接;所述实芯光纤(3)的质量块(4)为圆柱体,该圆柱体的直径小于空芯光纤(2)的内径;空芯光纤(2)和实芯光纤(3)通过悬臂梁(5)固定连接;所述质量块(4)和悬臂梁(5)是通过用飞秒激光从实芯光纤端面烧蚀形成的。
2.如权利要求1所述的一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器,其特征在于:所述空芯光纤(2)的长度为30μm-1000μm,外径与单模光纤(1)外径相同,内径为10μm-100μm;所述实芯光纤(3)长度为20μm-200μm。
3.加工如权利要求1所述的一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器的方法,其特征在于:具体步骤如下:
步骤一、单模光纤(1)和空芯光纤(2)熔接;
步骤二、切除多余的空芯光纤(2);
步骤三、空芯光纤(2)和实芯光纤(3)熔接;
步骤四、切除多余的实芯光纤(3);
步骤五、飞秒激光烧蚀实芯光纤(3);
步骤六、端面粗糙化处理。
4.如权利要求1或2所述的一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器,其特征在于:工作过程为:探测光由单模光纤(1)导入,在单模光纤与空芯光纤的熔接面(6)形成第一次菲涅尔反射,在空芯光纤与实芯光纤的熔接面(7)形成第二次菲尼尔反射,两次反射形成双光束干涉,反射光通过单模光纤(1)导出至解调仪;当所述传感器受到平行于光纤轴向方向的振动时,质量块(4)带动悬臂梁(5)产生微弯,从而改变干涉仪的光程差,从而形成干涉型光纤振动传感器。