内圆锥角激光干涉测量装置及方法与流程

技术特征：

1.一种内圆锥角激光干涉测量装置，其特征在于，激光器(1)与分光镜(2)同光轴排列，分光镜(2)与光轴夹角为45°；显微镜CCD(3)位于分光镜(2)的反射光轴上，显微镜CCD(3)接计算机(4)。

2.根据权利要求1所述的内圆锥角激光干涉测量装置，其特征在于，激光器(1)输出波长λ为532nm。

3.根据权利要求1所述的内圆锥角激光干涉测量装置，其特征在于，分光镜(2)的入射反射镜面镀有激光器(1)输出波长λ的透过率为50％的膜系，分光镜(2)的透射镜面镀有激光器(1)输出波长λ的透过率大于99.5％的膜系。

4.根据权利要求1所述的内圆锥角激光干涉测量装置，其特征在于，分光镜(2)的反射光轴与显微镜CCD(3)感光面(s)的夹角θ设定为76.98°。

5.根据权利要求1所述的内圆锥角激光干涉测量装置，其特征在于，显微镜CCD(3)的技术参数包括：1000万像素、5000倍放大率、1/2.3"尺寸、有效像素3664×2748(10M)、像元尺寸1.67μm×1.67μm。

6.一种内圆锥角激光干涉测量方法，其特征在于，激光器(1)发出的一束激光被分光镜(2)分光为两束，透射分光镜(2)沿原方向传播的一束为测量光(m)，被分光镜(2)反射沿与原方向垂直的方向传播的一束为参考光(r)，测量光(m)的光轴和参考光(r)的光轴相交于激光器(1)发出的激光在分光镜(2)上的入射点，由相交的测量光(m)的光轴和参考光(r)的光轴确定的平面与待测内圆锥器件(5)的圆锥面的任意一个子午面重合，测量光(m)被圆锥面两次反射后与参考光(r)交汇，沿参考光(r)光轴将显微镜CCD(3)感光面(s)的位置调整到测量光(m)与参考光(r)的交汇处，显微镜CCD(3)将测量光(m)与参考光(r)交汇后产生的干涉条纹图像(i)发送给计算机(4)，由计算机(4)分析得到干涉条纹间距(d)，再根据公式得出待测内圆锥器件(5)的圆锥面的内圆锥角(β)，式中：λ为激光器(1)发出的激光的波长，θ为参考光(r)与显微镜CCD(3)感光面(s)的夹角。

7.根据权利要求6所述的内圆锥角激光干涉测量方法，其特征在于，设定参考光(r)与显微镜CCD(3)的感光面(s)的夹角(θ)为76.98°，内圆锥角(β)的最大测量范围为90～135°。