一种气压砂轮表面接触形貌观测系统的制作方法

文档序号:12464721阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气压砂轮表面接触形貌观测系统,其特征在于:包括工作平台(1)、三维显微镜(2)、显示器(4)和观测调整装置(3),所述三维显微镜(2)和显示器(4)均设置在所述工作平台(1)上,所述三维显微镜(2)和显示器(4)电连接,所述三维显微镜(2)包括底座和显微镜本体,所述观测调整装置(3)设置在三维显微镜(2)的底座上;所述观测调整装置(3)包括总体Z轴升降台(31)、三维力传感器(33)、安装架(32)、Z轴旋转台(34)、相对Z轴升降台(35)、X轴旋转台(36)和气压砂轮座(38),所述安装架(32)为有底板(321)、三块侧板(322)、上盖板(324)组成的一个单侧开口的盒体,所述安装架(32)的上盖板(324)上开有圆孔,所述圆孔内设置有观测玻璃(323),所述观测玻璃(323)设置在三维显微镜(2)的显微镜本体的正下方,所述观测玻璃(323)的正下方从上至下依次设置有气压砂轮座(38)、X轴旋转台(36)、相对Z轴升降台(35)、Z轴旋转台(34)、三维力传感器(33)和总体Z轴升降台(31),所述气压砂轮座(38)、X轴旋转台(36)、相对Z轴升降台(35)、Z轴旋转台(34)和三维力传感器(33)均设置在安装架(32)内且从上至下依次连接,三维力传感器(33)固定在所述安装架(32)的底板(321)上,所述安装架(32)固定在所述总体Z轴升降台(31)上,总体Z轴升降台(31)设置在三维显微镜(2)的底座上。

2.根据权利要求1所述的一种气压砂轮表面接触形貌观测系统,其特征在于:所述观测玻璃(323)与上盖板(324)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种气压砂轮表面接触形貌观测系统,其特征在于:所述气压砂轮座(38)上设有用于安装不同尺寸气压砂轮的不同直径的多个凸台。

4.根据权利要求1所述的一种气压砂轮表面接触形貌观测系统,其特征在于:所述气压砂轮座(38)的侧面打有气孔,所述侧板(322)上开有气管孔,通过穿过气管孔和气孔的气管(37)将气体送入待观测的气压砂轮(39)中。

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