一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法与流程

技术特征：

1.一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、单镜加工与检测

分别对主反射镜和第三反射镜进行加工直至各单镜全口径干涉检测面形的RMS值均优于1/10λ，λ为激光干涉仪工作波长；

步骤二、背板一体化设计和制作

根据设计参数，设计并加工用于固定主反射镜和第三反射镜的一体化背板；

步骤三、共基准装调与检测

将主反射镜和第三反射镜固定安装在一体化背板上，并对其进行共基准检测分别得到主反射镜和第三反射镜的面形；

步骤四、共基准离子束加工

基于共基准检测所得的主反射镜和第三反射镜的面形，将固定于一体化背板的主反射镜和第三反射镜根据设计要求进行离子束加工；

步骤五、共基准检测

对离子束加工后的主反射镜和第三反射镜进行共基准检测，直至满足设计要求，完成加工与检测。

2.如权利要求1所述的一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法，其特征在于，步骤三具体为：

步骤3.1、通过激光跟踪仪精确调整主三镜补偿器连接调整机构，使当主反射镜补偿器和第三反射镜补偿器均固定安装在主三镜补偿器连接调整机构后，主反射镜补偿器和第三反射镜补偿器二者中心的连线与光轴重合并且二者的相对位置关系满足设计参数；

步骤3.2、将主反射镜固定在一体化背板上，将主反射镜补偿器安装在主三镜补偿器连接调整机构上，根据设计参数利用激光跟踪仪精确调整激光干涉仪、主反射镜补偿器和主反射镜之间的相对位置，利用零位补偿光学检测对主反射镜进行干涉测量得到主反射镜的面形；

步骤3.3、固定主反射镜、激光干涉仪以及主三镜补偿器连接调整机构，移去主反射镜补偿器，将第三反射镜补偿器安装在主三镜补偿器连接调整机构上，将第三反射镜支撑面固定在一体化背板上，对第三反射镜进行干涉测量得到第三反射镜的面形，从而实现主三镜共基准检测。