技术总结
本发明公开一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法，一、分别对主反射镜和第三反射镜进行加工直至各单镜全口径干涉检测面形的RMS值均优于1/10λ，λ为激光干涉仪工作波长；二、根据设计参数，设计并加工用于固定主反射镜和第三反射镜的一体化背板；三、将主反射镜和第三反射镜固定安装在一体化背板上，并对其进行共基准检测分别得到主反射镜和第三反射镜的面形；四、基于共基准检测所得的主反射镜和第三反射镜的面形，将固定于一体化背板的主反射镜和第三反射镜根据设计要求进行离子束加工；五、对离子束加工后的主反射镜和第三反射镜进行共基准检测，直至满足设计要求。本发明避免了离轴三反非球面光学系统繁琐的装调过程。
技术研发人员：张学军;王孝坤;薛栋林;郑立功;张峰
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
文档号码：201610623679
技术研发日：2016.08.02
技术公布日：2016.12.14