技术总结
本发明公开了一种集成式带通滤波器及其制造方法和光谱仪。本发明的集成式带通滤波器包括一金属层或一主要为金属的层，金属层中形成贯通的微米或纳米孔阵列，通过金属微米或纳米孔的光的特征波长λ近似满足以下公式：λ≈nD。这里，n是金属孔中填充材料的折射系数，D是金属孔的直径或宽度。本发明的集成式带通滤波器中每个金属孔都是一个带通滤波器，通过改变金属孔的大小，可以将大量选通波长不同的微型带通滤波器，通过一次加工的办法大规模集成在很小的芯片上。另外本发明的工艺制造方法与CMOS工艺兼容，成本低，并且比较容易制备金属孔，特别是孔内侧壁平滑且孔径均匀的金属孔。
技术研发人员：但亚平
受保护的技术使用者：扬中市恒海电子科技有限公司
文档号码：201610814317
技术研发日：2016.09.09
技术公布日：2017.02.22