微型光纤光栅光谱仪的制作方法

文档序号:12589563阅读:来源:国知局

技术特征:

1.微型光纤光栅光谱仪,包括计算机、电源、测量系统、半导体制冷片(TEC),所述的测量系统包括基座、光纤、聚焦光学元件、线阵CCD,所述的测量系统放在所述的TEC上,所述的TEC控制温度在-5℃-100℃之间可调,所述的计算机和所述的线阵CCD分别与所述的电源相连,所述的线阵CCD通过所述的USB接口与所述的计算机相连;其特征是所述的光纤固定在所述的基座上,所述的光纤端面用飞秒激光器或聚焦离子束在不破坏光纤的基础上雕刻500nm-1000nm的光栅,所述的光纤经过所述的聚焦光学元件聚焦后连接至所述的线阵CCD。

2.根据权利要求1所述的微型光纤光栅光谱仪,其特征是所述的聚焦光学元件焦距为20mm。

3.根据权利要求1所述的微型光纤光栅光谱仪,其特征是所述的光纤端面为沟槽型端面或线型端面。

4.根据权利要求1所述的微型光纤光栅光谱仪,其特征是被测光波长范围在100nm-1μm。

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