一种非球面元件的应力双折射量的测量方法与流程

文档序号:16151932发布日期:2018-12-05 17:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种非球面元件的应力双折射量的测量方法,其特征在于:所述测量方法包括:

确定非球面元件上的测试点和光源的初始位置以及根据当前测试点与非球面元件光轴的角度得到所述光源的偏转角;

根据非球面元件的尺寸,当前测试点的位置和当前测试点到光源的距离得到所述光源的位移距离;

调整所述非球面元件与测试台的同心度;

根据所述光源的偏转角和所述光源的位移距离将所述光源移动对应的位置;

根据当前测试点的位置确定所述应力双折射设备的探测器的位置;

根据所述探测器的位置将所述探测器移动对应的位置;

通过探测器得到当前测试点的应力双折射量;

通过旋转所述测试台将所述非球面元件转动到同一圆周上的多个指定角度对应测试点上,并通过探测器得到同一圆周上的多个指定角度对应测试点的多个应力双折射量;

进入确定非球面元件上的测试点和光源的初始位置,根据当前测试点与光源光轴的角度得到所述光源的偏转角的步骤,直到所有的测试点测量完毕。

2.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述光源的初始位置为:位移量为0mm,偏转角度为0°。

3.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述应力双折射设备测试非球面元件时采用极坐标的方式,其中非球面元件的中心点为基准点,中心点水平向右的矢量为极轴。

4.根据权利要求3所述的测量方法,其特征在于:所述确定非球面元件上的测试点的步骤,具体为:

在非球面元件的径向方向上从非球面元件的中心开始选择单位间隔为第一预设距离的N个测试点,其中N为大于等于1的正整数。

5.根据权利要求4所述的测量方法,其特征在于:所述在非球面元件的径向方向上从非球面元件的中心开始选择单位间隔为第一预设距离的N个测试点,具体为:

每个第一预设距离在同一圆周上具有角度为0°、90°、180°和270°的四个测试点。

6.根据权利要求5所述的测量方法,其特征在于:同一圆周上的多个指定角度对应测试点,具体为:

当当前测试点是角度为0°、90°、180°和270°的四个测试点之一时,同一圆周上的多个指定角度对应测试点是角度为0°、90°、180°和270°的四个角度的其余三者。

7.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述非球面元件与所述测试台的同心度小于或等于0.1mm。

8.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述根据当前测试点与非球面元件的光轴角度得到所述光源的偏转角,具体为:

光线在非球面元件的内部沿光轴方向传播,计算光在空气中的入射角;

所述光源偏转角等于当前测试点的法线与非球面元件光轴的夹角减去光在空气中的入射角。

9.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述根据当前测试点的位置确定所述应力双折射设备的探测器的位置,具体为:

将应力双折射设备的探测器移动到当前测试点的正下方。

10.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述非球面元件为双面抛光元件和毛面涂匹配液的元件。

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