具有高吸收效率和信噪比的悬置测辐射热膜的检测装置的制作方法

文档序号:11514830阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及具有高吸收效率和信噪比的悬置测辐射热膜的检测装置。该装置包括:包括读出电路的衬底;基本探测器阵列,每个探测器包括在衬底上方悬置并且通过至少两个电导体连接到读出电路的膜,膜包括分别连接到两个电导体的两个导电电极和电连接两个电极的换能器材料的体积,其中,读出电路被配置为将电刺激施加在膜的两个电极之间并且形成电信号作为对施加的响应。所述体积包括:第一换能器材料的体积,其电连接膜的两个电极并且形成使每个电极至少部分地容纳在其中的封闭外壳的壁;以及第二换能器材料的体积,其电连接两个电极并且容纳在外壳中,第二材料的电阻率小于第一材料的电阻率;且两个换能器材料具有负的电阻率热系数TCR。

技术研发人员:塞巴斯蒂安·科蒂亚尔;米歇尔·维兰
受保护的技术使用者:优利斯公司
技术研发日:2016.11.29
技术公布日:2017.08.18
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