技术特征：
技术总结
本发明提供了一种基于静电感应原理的非接触式MEMS自激励静电场探测系统及其探测方法。该系统包括静电传感器、放大电路、滤波电路、微控制器、显示装置；静电传感器包括自驱动单元和静电感应探针组成，其中自驱动单元为一并行放置的图形化压电驱动薄膜和图形化压电感应薄膜构成的自驱动自反馈模块，静电感应探针为一图形化金属电极层，静电感应探针与后端放大电路相连，微控制器用于处理电信号并控制显示装置输出测量结果。相比现有旋叶式静电探测系统的大体积、现有振动式探测系统的低敏感度、低精度，本发明具有自激励、灵敏度高、集成度高、线性度高、体积微小等特点；可广泛应用于静电探测和静电防护等领域中。
技术研发人员：冯跃;于泽杰;韩炎晖;唐绪松
受保护的技术使用者：北京理工大学
技术研发日：2016.12.02
技术公布日：2017.11.07