测量系统、测量方法、机器人控制方法、机器人、机器人系统以及拾取装置与流程

文档序号:11689833阅读:209来源:国知局
测量系统、测量方法、机器人控制方法、机器人、机器人系统以及拾取装置与流程

本发明涉及测量系统、测量方法、机器人控制方法、机器人、机器人系统以及拾取装置。



背景技术:

作为以非接触的方式对物体的三维形状进行测量的方法,已知有使用投影仪以及照相机的移相法(例如,参照专利文献1)。

通常,在移相法中,将用亮度值的明暗表示正弦波的条纹图案从投影仪朝向测量对象物投影,并用照相机对该被投影的条纹图案进行拍摄。此时,投影的条纹图案的相位各错开π/2并进行四次投影,其每次都用照相机对被投影的条纹图案进行拍摄。对于由四次拍摄得到的四张拍摄图像的相同坐标处的亮度值而言,即使绝对值因该坐标处的测量对象物的表面状态、颜色等发生变化,相对值也仅变化条纹图案的相位差分。由此,能够减少受到环境光、测量对象物的表面状态等的影响的情况,并且求出该坐标处的条纹图案的相位值。

这里,对于相位值而言,首先,不是在拍摄图像中连续的值,而是根据条纹图案的条纹在-π~+π的范围内求出。而且,这样的相位值以成为拍摄图像中的连续的值的方式进行相位连结(相位连接)。例如,在专利文献1所记载的系统中,使用傅里叶变换进行相位连结。

专利文献1:日本特开2006-3212号公报

在专利文献1所记载的系统中,由于使用傅里叶变换进行相位连结,所以存在拍摄图像的解析需要较长时间这种问题。



技术实现要素:

本发明的目的在于,提供能够实现测量时间的缩短化的测量系统、测量方法以及机器人控制方法,另外,提供具备上述测量系统的机器人、机器人系统以及拾取装置。

这样的目的通过下述的技术方案实现。

本发明的测量系统的特征在于,具备:投影部,其切换具有条纹图案的第一图案光以及具有条纹的条数比上述第一图案光多的条纹图案的第二图案光来对测量对象物进行投影;

移相部,其对上述第一图案光以及上述第二图案光的各自的相位进行移位;

拍摄部,其具有多个像素,并分别对投影至上述测量对象物的上述第一图案光以及上述第二图案光进行拍摄;以及

解析部,其使上述第一图案光所具有的条纹和上述第二图案光所具有的条纹与多个上述像素对应,从而对上述拍摄部的拍摄结果进行解析。

根据这样的测量系统,使第一图案光所具有的条纹和第二图案光所具有的条纹与多个像素对应,由此,能够比较简单并且高精度地进行相位连接。因此,实现解析部的解析的高速化,其结果是,能够实现测量时间的缩短化。

在本发明的测量系统中,优选对上述解析部而言,将上述第一图案光所具有的条纹的条数设为c1、将上述第二图案光所具有的条纹的条数设为c2、将上述第二图案光所具有的条纹的编号设为f,其中f为大于或等于1且小于或等于c2的整数)、将上述第一图案光的相位值设为θ1,此时,使用f=[θ1/2π×c2/c1]的关系使上述第二图案光所具有的条纹的编号f依次与多个上述像素对应。

由此,能够比较简单地使第一图案光所具有的条纹和第二图案光所具有的条纹与多个像素对应。

在本发明的测量系统中,优选上述第一图案光和上述第二图案光中的至少一方相对于上述测量对象物的投影方向与上述拍摄部相对于上述测量对象物的拍摄方向在大于或等于20°且小于或等于40°的范围内交叉。

由此,能够扩大可测量的范围,并且进行高精度的测量。

在本发明的测量系统中,优选上述第一图案光所具有的条纹的条数为一条,

上述第二图案光所具有的条纹的条数处于大于或等于两条且小于或等于五十条的范围内。

由此,能够使用第一图案光的连续的相位信息,以成为将第二图案光的每条条纹的相位连续的值的方式进行相位连接。另外,将第二图案光所具有的条纹的条数设为小于或等于五十条,由此,第二图案光所具有的条纹的条数相对于投影部、拍摄部的像素数的平衡优异,其结果是,能够进行高精度的测量。

在本发明的测量系统中,优选上述投影部为投影仪。

由此,能够切换条纹条数相互不同的第一图案光以及第二图案光并对测量对象物高精度地投影。

在本发明的测量系统中,优选上述投影部具有激光光源。

由此,能够实现可产生超精细的第一图案光以及第二图案光的投影部。其结果是,能够提高测量精度。

本发明的测量方法的特征在于,包括如下工序:将具有条纹图案的第一图案光相对于测量对象物每次错开π/2地至少进行四次投影,并且使用具有多个像素的拍摄部对每次投影至上述测量对象物的上述第一图案光进行拍摄的工序;

将具有条纹的条数比上述第一图案光多的条纹图案的第二图案光相对于上述测量对象物每次错开π/2地至少进行四次投影,并且使用上述拍摄部对每次投影至上述测量对象物的上述第二图案光进行拍摄的工序;以及

基于上述拍摄部的拍摄结果,使上述第一图案光所具有的条纹和上述第二图案光所具有的条纹与多个上述像素对应,并对上述拍摄部的拍摄结果进行解析的工序。

根据这样的测量方法,使第一图案光所具有的条纹和第二图案光所具有的条纹与多个像素对应,由此,能够比较简单并且高精度地进行相位连接。因此,能够实现解析的高速化。

本发明的机器人控制方法的特征在于,包括如下步骤:将具有条纹图案的第一图案光相对于测量对象物每次错开π/2地至少进行四次投影,并且使用具有多个像素的拍摄部对每次投影至上述测量对象物的上述第一图案光进行拍摄的步骤;

将具有条纹的条数比上述第一图案光多的条纹图案的第二图案光相对于上述测量对象物每次错开π/2地至少进行四次投影,并且使用上述拍摄部对每次投影至上述测量对象物的上述第二图案光进行拍摄的步骤;以及

基于上述拍摄部的拍摄结果,使上述第一图案光所具有的条纹和上述第二图案光所具有的条纹与多个上述像素对应,从而对上述拍摄部的拍摄结果进行解析的步骤。

根据这样的机器人控制方法,例如能够高速地进行测量对象物的解析,求出测量对象物的表面的坐标,并基于该坐标对测量对象物的形状、大小、姿势、位置等进行测量。因此,能够使用该测量结果高速并且高精度地进行各种动作。

本发明的机器人的特征在于,具备本发明的测量系统。

根据这样的机器人,例如能够高速地进行测量对象物的解析,求出测量对象物的表面的坐标,并基于该坐标对测量对象物的形状、大小、姿势、位置等进行测量。因此,能够使用该测量结果高速并且高精度地进行各种动作。

本发明的机器人系统的特征在于,具备本发明的测量系统。

根据这样的机器人系统,例如能够高速地进行测量对象物的解析,求出测量对象物的表面的坐标,并基于该坐标对测量对象物的形状、大小、姿势、位置等进行测量。因此,能够使用该测量结果高速并且高精度地进行各种动作。

本发明的拾取装置的特征在于,具备本发明的测量系统。

根据这样的拾取装置,例如能够高速地进行测量对象物的解析,求出测量对象物的表面的坐标,并基于该坐标对测量对象物的形状、大小、姿势、位置等进行测量。因此,能够使用该测量结果高速并且高精度地进行拾取动作。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的测量系统的简要结构的图。

图2是表示图1示出的测量系统所具备的投影部的第一图案光(一个周期图案)的位置与亮度的关系的图表。

图3是表示图1示出的测量系统所具备的投影部的第二图案光(分割为n份的条纹图案)的位置与亮度的关系的图表。

图4是表示图2示出的第一图案光的明暗状态的图。

图5是表示图3示出的第二图案光的明暗状态的图。

图6是用于对图1示出的测量系统的动作(测量方法)进行说明的流程图。

图7是表示四次的第一图案光的位置与亮度的关系的图表。

图8是表示某个相位的亮度与第一图案光的拍摄次数的关系的图表。

图9是表示第一图案光的位置与相位的关系的图表。

图10是表示第二图案光的位置与相位的关系的图表。

图11是表示本发明的机器人(拾取装置)的一个例子的立体图。

附图标记说明:

1…测量系统;2…测量装置;3…计算机;20…拍摄单元;21…基台;22…载物台;23…支承部件;24…支承部件;25…投影部;26…拍摄部;31…控制部;32…存储部;100…机器人(机器人系统);101…基台;102…机器人手臂;103…手;104…工件供给装置;105…工件收纳装置;221…移动机构;251…光源;261…拍摄元件;311…移相部;312…解析部;321…条纹图案存储部;322…拍摄结果存储部;f…条纹的编号;i1…亮度值;i2…亮度值;i3…亮度值;i4…亮度值;n…数;o…测量对象物;θ…相位值;θ1…相位值;θ2…相位值;θ3…绝对相位。

具体实施方式

以下,参照附图对本发明的测量系统、测量方法、机器人控制方法、机器人、机器人系统以及拾取装置所优选的实施方式进行说明。

图1是表示本发明的实施方式所涉及的测量系统的简要结构的图。图2是表示图1示出的测量系统所具备的投影部的第一图案光(一个周期图案)的位置与亮度的关系的图表。图3是表示图1示出的测量系统所具备的投影部的第二图案光(分割为n份的条纹图案)的位置与亮度的关系的图表。图4是表示图2示出的第一图案光的明暗状态的图。图5是表示图3示出的第二图案光的明暗状态的图。

此外,在图1中,为了便于说明,作为相互正交的三个轴而图示有x轴、y轴以及z轴。另外,将与x轴平行的方向称为“x轴方向”、将与y轴平行的方向称为“y轴方向”、将与z轴平行的方向称为“z轴方向”。另外,将图1中的上侧称为“上”、将下侧称为“下”。

图1示出的测量系统1是使用移相法对测量对象物o的表面的三维坐标(即三维形状)进行测量的系统。另外,测量系统1在测量对象物o的形状为已知的情况下,也能够基于被测量的三维坐标与测量对象物o的形状信息对测量对象物o的位置、姿势等进行测量。

该测量系统1具备对测量图案进行投影以及拍摄的测量装置2、以及控制测量装置2的计算机3。

测量装置

测量装置2具备基台21、载物台22、支承部件23、24、投影部25、以及拍摄部26。

基台21形成为沿着包括x轴以及y轴的平面亦即xy平面的板状。在该基台21的上表面设置有供测量对象物o载置的载物台22、支承投影部25的支承部件23、以及支承拍摄部26的支承部件24。

在载物台22的上表面形成有供测量对象物o载置的载置面。该载置面是与xy平面平行的面,且设定有测量范围。此外,也可以在载物台22的载置面设置有用于固定测量对象物o的例如吸引式的卡盘机构。在本实施方式中,载物台22具有能够将被载置的测量对象物o的位置沿z轴方向移动的移动机构221。

支承部件23、24立起设置于基台21上,支承部件23将投影部25相对于基台21进行支承,支承部件24将拍摄部26相对于基台21进行支承。

投影部25构成为包括光源251,具有基于图像数据驱动光源251,并将影像光投影至载物台22上的测量范围的功能。作为影像光,例如使用以亮度值的明暗表示正弦波的条纹图案(参照图4以及图5)。特别是,投影部25具有相对于测量对象物o,对具有条纹图案的第一图案光以及具有条纹的条数比第一图案光多的条纹图案的第二图案光进行切换并进行投影的功能。

如图2所示,第一图案光例如将测量范围(从图2中的位置0至10为止的范围)作为一个周期使亮度值沿着正弦波变化。如图4所示,对上述第一图案光而言,以在测量范围的一方向不存在相同的亮度值的方式连续地变化。这样,第一图案光所具有的条纹的条数为一条,由此,能够使用第一图案光的连续的相位信息,以成为将第二图案光的每条条纹的相位连续的值的方式进行相位连接。

另一方面,如图3所示,对第二图案光而言,分为将测定范围分割为n份(在图3中分割为五份)的区域,将各区域的范围作为一个周期使亮度值沿着正弦波变化。如图5所示,对上述第二图案光而言,以在测量范围的一方向且在将测量范围分割为n份的各区域不存在相同的亮度值的方式,使亮度值连续并且周期性地变化。

这里,第二图案光所具有的条纹的条数(分割测定范围的数n)优选处于两条以上五十条以下的范围内,更优选为五条以上五十条以下的范围内,进一步优选为十条以上四十条以下的范围内。由此,相对于投影部25、拍摄部26的像素数,第二图案光所具有的条纹的条数的平衡优异,其结果是,能够进行高精度的测量。

这样的投影部25例如是液晶投影仪、激光投影仪等投影仪。由此,能够对条纹条数相互不同的第一图案光以及第二图案光进行切换并相对于测量对象物o高精度地投影。

例如,在投影部25为液晶投影仪的情况下,投影部25具有基于图像数据被驱动的液晶面板,将来自光源251的光经由液晶面板投影至测量对象物o。另外,在投影部25为激光投影仪的情况下,投影部25具有光扫描器,将来自光源251的光基于图像数据进行强度调制,用光扫描器进行扫描并向测量对象物o投影。这里,在光源251为将向纵向以及横向中的一方的方向延伸的线状的激光射出的激光光源的情况下,将来自光源251的激光光束用光扫描器沿纵向以及横向中的另一方的方向扫描即可。另外,在光源251为射出点状的激光的激光光源的情况下,将来自光源251的激光光束用光扫描器沿纵向以及横向双方二维地进行扫描即可。此外,也可以在光源251与测量对象物o之间配置有透镜。通过该透镜能够调整投影部25的投影范围。这样,投影部25所具有的光源251为激光光源,由此,能够实现可产生超精细的第一图案光以及第二图案光的投影部25。其结果是,能够提高测量精度。

另外,投影部25的像素数根据测量对象物o的大小、形状、需要的测量精度等而被决定,并未被特别限定,但从测量精度的观点来看,优选为100万像素以上。

另外,投影部25的影像光的射出方向相对于载物台22的载置面的法线方向倾斜。由此,能够对测量对象物o的三维形状高精度地进行测量。该倾斜角度优选为20°以上40°以下的范围内,更优选为25°以上35°以下的范围内。由此,能够扩大可测量的范围,并且对测量对象物o的三维形状进行高精度地测量。若上述倾斜角度过小,则虽然能够测量的范围扩大,但是高度方向上的测量精度变低,另一方面,若上述倾斜角度过大,则虽然提高高度方向上的测量精度,但是能够测量的范围变窄。

拍摄部26构成为包括具有多个像素的拍摄元件261,具有使用拍摄元件261对载物台22上的测量范围进行拍摄的功能。由此,拍摄部26对投影至测量对象物o的第一图案光以及第二图案光分别进行拍摄。

另外,拍摄部26的像素数根据测量对象物o的大小、形状、需要的测量精度等而被决定,并未被特别限定,但优选为大于或等于投影部25的像素数,具体而言,优选为100万像素以上1000万像素以下的范围内,更优选为150万像素以上500万像素以下的范围内。由此,能够将测量精度维持较高,并且减少计算机3处的拍摄部26的拍摄结果的解析中的负载。

拍摄部26的拍摄方向相对于载物台22的载置面的法线方向平行。由此,能够大范围地对测量对象物o的三维形状进行测量。这里,相对于测量对象物o的拍摄部26的拍摄方向与相对于测量对象物o的第一图案光以及第二图案光中的至少一方的投影方向,优选在20°以上40°以下的范围内交叉,更优选在25°以上35°以下的范围内交叉。由此,能够扩大可测量的范围,进行高精度的测量。

作为这样的拍摄元件261并未被特别限定,但例如可举出ccd(chargecoupleddevices:电荷耦合元件)、cmos(complementarymetaloxidesemiconductor:互补金属氧化物半导体)等。上述拍摄元件261将被拍摄的图像变换为每个像素的电信号并输出。

如以上那样构成的测量装置2被计算机3控制。

计算机

如图1所示,计算机3与上述的测量装置2的投影部25以及拍摄部26分别电连接,具有根据测量程序来控制测量装置2的功能。该计算机3具备控制部31、以及存储部32。

控制部31具有根据存储于存储部32的测量程序来控制投影部25以及拍摄部26的驱动的功能。更具体而言,控制部31具有基于存储于存储部32的图像数据对投影部25的驱动进行控制的功能。由此,投影部25能够进行基于图像数据的影像光的投影。

特别是,控制部31具有:移相部311,其对投影部25投影至测量对象物o的第一图案光以及第二图案光的各自的相位进行移动;以及解析部312,其使第一图案光所具有的条纹和第二图案光所具有的条纹与拍摄部26的多个像素对应,从而对拍摄部26的拍摄结果进行解析。

移相部311适当地读入存储于存储部32的图像数据,根据需要对图像数据进行图像处理,使投影部25投影至测量对象物o的第一图案光以及第二图案光的相位移动。另外,解析部312使第一图案光所具有的条纹和第二图案光所具有的条纹与拍摄部26的多个像素对应,从而对拍摄部26的拍摄结果进行解析。然后,对于解析部312而言,作为解析结果,例如求出测量对象物o的形状、大小等。此外,针对移相部311以及解析部312的作用,与测量系统1的动作的说明一起在后面进行详述。

在存储部32存储有由控制部31实施的测量装置2的控制所必需的测量程序。特别是,存储部32具有存储拍摄部26的拍摄结果的拍摄结果存储部322、以及存储与投影部25所投影的条纹图案相关的图像数据的条纹图案存储部321。

以上,对测量系统1的结构简单地进行了说明。对上述测量系统1而言,按照以下的方式进行测量对象物o的三维形状的测量。

图6是用于对图1示出的测量系统的动作(测量方法)进行说明的流程图。图7是表示四次的第一图案光的位置与亮度的关系的图表。图8是表示某个相位的亮度与第一图案光的拍摄次数的关系的图表。图9是表示第一图案光的位置与相位的关系的图表。图10是表示第二图案光的位置与相位的关系的图表。

如图6所示,在使用了测量系统1的测量方法中,具有:[1]将第一图案光向测量对象物o投影并进行拍摄的第一投影拍摄工序(步骤s1);[2]将第二图案光向测量对象物o投影并进行拍摄的第二投影拍摄工序(步骤s2);以及[3]对这些拍摄结果进行解析的解析工序(步骤s3)。这样的各工序(步骤)通过使计算机3执行上述的存储于存储部32的测量程序来进行。以下,对各工序依次进行说明。

[1]第一投影拍摄工序(步骤s1)

首先,对测量对象物o,使用投影部25将上述的第一图案光错开π/2并进行四次投影,并且使用拍摄部26对每次投影至测量对象物o的第一图案光进行拍摄。

例如,在第一次的投影中,按照由图7中实线示出的那样的相位将第一图案光各错开π/2并对测量对象物o进行投影,在第二次的投影中,按照在图7中由虚线示出的那样的相位将第一图案光各错开π/2并对测量对象物o进行投影,在第三次的投影中,按照由图7中单点划线示出的那样的相位将第一图案光各错开π/2并对测量对象物o进行投影,在第四次的投影中,按照由图7中的双点划线示出的那样的相位将第一图案光各错开π/2并对测量对象物o进行投影。此外,第一图案光的投影·拍摄的次数并不限定于四次,例如也可以是八次、十六次那样的四的倍数。

[2]第二投影拍摄工序(步骤s2)

接下来,相对于测量对象物o,使用投影部25将上述的第二图案光各错开π/2并至少进行四次投影,并且使用拍摄部26对每次投影至测量对象物o的第二图案光进行拍摄。

[3]解析工序(步骤s3)

其后,解析部312基于拍摄部26的拍摄结果,使第二图案光所具有的条纹与拍摄部26的多个像素对应,从而对拍摄部26的拍摄结果进行解析。

在进行该解析时,首先,按照以下的方式求出拍摄图像的各像素的相位值θ、即进行相位恢复。

在上述的[1]第一投影拍摄工序以及[2]第二投影拍摄工序的每一个中,如图8所示,对于由四次拍摄得到的四张拍摄图像的相同像素处的亮度值i1、i2、i3、i4而言,即使绝对值因该像素处的测量对象物的表面状态、颜色等发生变化,相对值也仅变化条纹图案的相位差分。

因此,拍摄图像的各像素的相位值θ能够由下述式(1)求出。由此,能够减少受到环境光、测量对象物的表面状态等的影响的情况,并且求出拍摄图像的各像素处的条纹图案的相位值θ。此外,图8中,a为投影光的最大强度(振幅),b为由环境光的影响导致的亮度值的变动量。

【式1】

使用该式(1),分别求出[1]第一投影拍摄工序中得到的四张拍摄图像(拍摄了的第一图案光)的各像素的相位值θ1、以及[2]第二投影拍摄工序中得到的四张拍摄图像(拍摄了的第二图案光)的各像素的相位值θ2。

按照以上的方式求出第一图案光的相位值θ1以及第二图案光的相位值θ2。

这里,如图9所示,相位值θ1是在拍摄了第一图案光的拍摄图像中连续的值,在-π~+π的范围中求出。与此相对的,如图10所示,相位值θ2不是在拍摄了第二图案光的拍摄图像中连续的值,而是根据条纹图案的每条条纹在-π~+π的范围中求出。第二图案光的每条条纹的相位值θ2能够根据相位值θ1知道属于第二图案光的第几条条纹。因此,使用相位值θ1进行相位连结(相位连接),以使相位值θ2成为拍摄图像中的连续的值(绝对相位)。

在进行相位连结时,首先,解析部312将第一图案光所具有的条纹的条数设为c1、将第二图案光所具有的条纹的条数设为c2、将第二图案光所具有的条纹的编号设为f(f为1以上c2以下的整数)、将第一图案光的相位值设为θ1,此时,使用f=[θ1/2π×c2/c1]的关系使第二图案光所具有的条纹的编号f依次对应于拍摄部26的多个像素。由此,能够比较简单地使第一图案光所具有的条纹和第二图案光所具有的条纹与多个像素对应。

例如,在c1为1、c2为5的情况下,第二图案光的第一条条纹与第一图案光的相位值大于或等于0π且小于0.4π的范围(图9示出的a的范围)对应,第二图案光的第二条条纹与第一图案光的相位值大于或等于0.4π且小于0.8π的范围(图9示出的b的范围)对应,第二图案光的第三条条纹与第一图案光的相位值大于或等于0.8π且小于1.2π的范围(图9示出的c的范围)对应,第二图案光的第四条条纹与第一图案光的相位值大于或等于1.2π且小于1.6π的范围(图9示出的d的范围)对应,第二图案光的第五条条纹与第一图案光的相位值大于或等于1.6π且小于2π的范围(图9示出的e的范围)对应。

这样,求出拍摄了的第二图案光的像素所属的条纹的编号f。然后,使用以下的式(2)求出拍摄了第二图案光的各像素的绝对相位θ3。

【式2】

θ3=θ2+2π*f(2)

按照以上的方式求出相位值θ2在拍摄图像中的连续的值亦即绝对相位θ3并进行相位连接。

对这样求出的各像素的绝对相位θ3乘以校准值而得到高度信息。由此,能够得到测量对象物o的三维形状信息(表面的坐标信息)。

根据以上说明的那样的测量方法,使第一图案光所具有的条纹和第二图案光所具有的条纹与多个像素对应,由此,能够比较简单并且高精度地进行相位连接。因此,能够实现解析的高速化。

机器人(拾取装置)

接下来,对本发明的机器人、机器人系统以及拾取装置的一个例子进行说明。

图11是表示本发明的机器人(拾取装置)的一个例子的立体图。

图11示出的机器人100具有基台101、设置于基台101上的机器人手臂102、设置于机器人手臂102的末端部的手103和拍摄单元20、以及计算机3,该机器人100是用手103把持并使机器人手臂102动作从而将载置于工件供给装置104上的工件(测量对象物o)向工件收纳装置105上输送的拾取装置。这里,拍摄单元20具备上述的投影部25以及拍摄部26,机器人100具备测量系统1。

在该机器人100中,在将工件(测量对象物o)从工件供给装置104上向工件收纳装置105上输送时,通过测量系统1对以不排列的状态载置于工件供给装置104上的工件(测量对象物o)的位置以及姿势进行测量,并基于该测量结果使机器人手臂102以及手103动作,由此,用手103准确地把持工件,并且使工件以所希望的位置和姿势载置并排列在工件收纳装置105上。

根据以上那样的机器人100,例如,能够高速地进行测量对象物o的解析,求出测量对象物o的表面的坐标,并基于该坐标对测量对象物o的形状、大小、姿势、位置等进行测量。因此,能够使用该测量结果高速并且高精度地进行各种动作(例如拾取动作)。

此外,在图11中,拍摄单元20的设置地方并不限定于机器人手臂102的末端部,例如可以是机器人手臂102的末端部以外的部分,也可以设置在机器人手臂102以外的地方(例如天花板、壁等)。

另外,在图11中,也可以作为将机器人与测量系统1组合了的机器人系统100。

以上,基于图示的实施方式对本发明的测量系统、测量方法、机器人控制方法、机器人、机器人系统以及拾取装置进行了说明,但本发明并不限定于此。例如,本发明能够将实施方式所记载的各部的结构替换为具有相同的功能的任意的结构的部件,另外,也能够附加其他任意的结构。

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