一种图像传感器件低频传递函数测试装置及其测试方法与流程

技术特征：

1.一种图像传感器件低频传递函数测试装置，其特征在于，包括顺序设置的积分球(1)、光学靶标(3)、平行光管(4)和光学透射镜头(5)，光学透射镜头(5)处设置有控制驱动板(7)，控制驱动板(7)与图像采集处理模块(8)连接；

所述光学靶标(3)上设置有若干互相平行的靶标条纹(12)，靶标条纹(12)的宽度为其中f₀为低频靶标的频率。

2.根据权利要求1所述的图像传感器件低频传递函数测试装置，其特征在于，所述积分球(1)与低频靶标(3)之间设置有滤光片(2)。

3.一种图像传感器件低频传递函数的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，将低频靶标的像透射待测传感器件上，其中低频靶标上的像为若干互相平行的靶标条纹，靶标条纹的宽度为其中f₀为低频靶标的频率；

步骤2，通过图像采集模块和常规极限频率传递函数测试方法计算出第一调制传递函数值MTF_SEN；

步骤3，通过转换算法得到第二调制传递函数值MTF_{SEN_L}，其中P_max为低频靶标接近奈奎斯特空间频率的最高奇次谐波数；MTF_ilens为待测传感器在该特定奇次谐波上的调制传递函数值。

4.根据权利要求3所述的图像传感器件低频传递函数的测试方法，其特征在于，所述步骤1中低频靶标的频率其中p为像元尺寸；P_max为接近奈奎斯特空间频率的最高奇次谐波数；F2为光学透射镜头的焦距；F1为平行光管焦距。

5.根据权利要求3所述的图像传感器件低频传递函数的测试方法，其特征在于，所述步骤1中低频靶标光栅对焦成像在待测传感器件的光敏面上。

6.根据权利要求3所述的图像传感器件低频传递函数的测试方法，其特征在于，所述步骤1中待测传感器件成像的明条纹的输出为待测传感器件最大相应输出值的50％。

7.根据权利要求3所述的图像传感器件低频传递函数的测试方法，其特征在于，所述步骤1中待测传感器件成像的暗条纹的输出为待测传感器件最大相应输出值的15％。