用于感测流体介质压力的传感器的制作方法

文档序号:12783820阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于感测流体介质压力的传感器(10),所述传感器包括用于感测流体介质压力的传感器元件(12)、用于将流体介质输送至所述传感器元件(12)的输入通道(24)和用于处理所述传感器元件(12)的信号的控制和/或分析电路(26),

其特征在于,

所述控制和/或分析电路(26)布置在所述传感器元件(12)上。

2.根据权利要求1所述的传感器(10),其中,所述控制和/或分析电路(26)直接布置在所述述传感器元件(12)上。

3.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10),其中,所述控制和/或分析电路(26)如此布置在所述述传感器元件(12)上,使得所述控制和/或分析电路(26)与所述传感器元件(12)包围空腔(28)。

4.根据权利要求3所述的传感器(10),其中,所述控制和/或分析电路(26)在面向所述传感器元件(12)的正面(30)上具有凹部(32),其中,所述凹部(32)由所述传感器元件(12)封闭,以便形成所述空腔(28)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10),其中,所述控制和/或分析电路(26)布置在所述传感器元件(12)的背离所述输入通道(24)的背面(16)上。

6.根据权利要求5所述的传感器(10),其中,所述传感器元件(12)和所述控制和/或分析电路(26)沿纵向延伸方向(34)布置,其中,所述控制和/或分析电路(26)的垂直于所述纵向延伸方向(34)的横截面(36)小于所述传感器元件(12)的垂直于所述纵向延伸方向(34)的横截面(38)。

7.根据权利要求6所述的传感器(10),其中,所述控制和/或分析电路(26)与所述传感器元件(12)电连接。

8.根据权利要求7所述的传感器(10),其中,在所述传感器元件(12)的背面(16)上布置有至少一个连接触点(40),其中,所述控制和/或分析电路(26)与所述连接触点(40)借助于至少一个键合线(42)电连接。

9.根据权利要求8所述的传感器(10),其中,所述连接触点(40)关于所述纵向延伸方向(34)而言位于所述控制和/或分析电路(26)旁边。

10.根据前述权利要求中任一项所述的传感器,其中,所述传感器元件(12)是硅芯片。

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